JP5136154B2 - 音叉型圧電振動片の周波数調整方法 - Google Patents
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Description
本実施例にかかる音叉型水晶振動子1(本発明でいう圧電振動デバイスであり、以下、以下、水晶振動子という)には、図1に示すように、フォトリソグラフィ法で成形された音叉型水晶振動片3(本発明でいう音叉型圧電振動片であり、以下、水晶振動片という)と、この水晶振動片3を保持するベース2と、ベース2に保持した水晶振動片3を気密封止するための蓋(図示省略)と、が設けられている。
水晶振動片3は、異方性材料の水晶片である水晶素板(図示省略)から、ウェットエッチング形成された水晶Z板である。そのため、この水晶振動片3は量産に好適である。
1枚の水晶ウエハ6(以下、ウエハという)に、フォトリソグラフィ等の工法により、図3に示すように複数の水晶振動片3がマトリックス状に形成されている。具体的に、ウエハ6上には各水晶振動片3は、基部31と2本の脚部32,33が成形されている。
31 基部
32,33 脚部
34 側面
35 主面
37 先端部
5 金属膜
52 金メッキ
6 ウエハ
Claims (4)
- 音叉型圧電振動片を複数形成したウエハにおいて発振周波数の調整を行う音叉型圧電振動片の周波数調整方法において、
音叉型圧電振動片は、基部と、基部から突出した複数の脚部とを設け、
音叉型水晶振動片の脚部の先端部の側面に金属膜を形成して、複数の音叉型圧電振動片を形成したウエハにおける発振周波数のシフト調整を行うシフト調整工程と、
音叉型水晶振動片の脚部の先端部の主面に金属膜を形成し、形成した金属膜を金属膜除去手段により所望の量だけ除去して、ウエハにおける複数の音叉型圧電振動片の発振周波数のバラツキを調整するバラツキ調整工程と、を有することを特徴とする音叉型圧電振動片の周波数調整方法。 - 請求項1に記載の音叉型圧電振動片の周波数調整方法において、
前記シフト調整工程において形成する金属膜について、少なくともその一部を、音叉型圧電振動片の先端部の側面に形成した金属膜の形成領域のうち、脚部の突出方向の長さ寸法の中央を基準として形成することを特徴とする音叉型圧電振動片の周波数調整方法。 - 請求項1に記載の音叉型圧電振動片の周波数調整方法において、
前記シフト調整工程において形成する金属膜について、少なくともその一部が、音叉型圧電振動片の先端部の側面に形成した金属膜の形成領域のうち、脚部の突出方向の長さ寸法の中央を基準として、突出方向に沿って脚部の先端部方向側と基部方向側に同じ寸法だけ長さを有することを特徴とする音叉型圧電振動片の周波数調整方法。 - 請求項1乃至3のうちいずれか1つに記載の音叉型圧電振動片の周波数調整方法において、
前記バラツキ調整工程において形成する金属膜について、金属膜を、主面の平面視外周縁以外の平面視中央部分に形成することを特徴とする音叉型圧電振動片の周波数調整方法。
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