JP5864189B2 - 圧電振動子およびその製造方法 - Google Patents
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つりあいを実現している。
ΔF/F(T)=A3×(T−T0)^3+A1(T−T0)+A0
と表わされる。A3は、3次曲線の鋭さを表し、A1は一次の傾きを表す。T0は、変曲点温度である。頂点温度が存在するときの頂点温度Zは、
Z= T0−√(−A1/3/A3)という関係となる。
2、3、4 脚
5、6 接続電極
7、8、9 表面電極
10、11、12 裏面電極
13、14、15 側面電極
16、19、22 斜めの端面
25、26、27 調整膜
100 3脚捩りモード圧電振動子
101 セラミックパッケージ
102 導電性接着材
103 イオンガン
104 金属のリッド
105 金すずのロウ材
200 3脚捩りモード圧電振動子
201 パッケージ
202 導電性接着材
204 リッド
205 金すずのロウ材
Claims (5)
- 基部と、基部より延出する脚とを有する圧電振動片であり、前記脚は、互いに対向する第一の主面と前記第一の主面の脚長さより長い第二の主面と前記第一の主面と前記第二の主面とを接続する第一の側面と第二の側面と、前記脚の先端に設けられ、前記第一の主面と前記第二の主面とを接続する斜面とを有しており、前記脚の少なくとも前記第二の主面に共振周波数を調整する調整膜が形成された圧電振動子の製造方法であって、前記第一の主面側から前記斜面を介してレーザービームを入射させ、前記レーザービームにより前記第二の主面の前記調整膜を除去して前記圧電振動片の共振周波数を調整し、前記圧電振動片が収納容器内に気密封止されたことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
- 前記圧電振動片は、捩りモードで振動することを特徴とする請求項1記載の圧電振動子の製造方法。
- 前記圧電振動片は、3本の脚を有することを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動子の製造方法。
- 前記圧電振動片は、水晶からなり、前記基部の幅方向を水晶の結晶軸のX軸とし、前記脚の延出方向を水晶の結晶軸のY軸と一致させた状態から、結晶軸のX軸を中心に回転し、Y軸より31度〜36度の範囲にあることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の圧電振動子の製造方法。
- 基部と、基部より延出する脚とを有する圧電振動片であり、前記脚は、互いに対向する第一の主面と前記第一の主面の脚長さより長い第二の主面と前記第一の主面と前記第二の主面とを接続する第一の側面と第二の側面と、前記脚の先端に設けられ、前記第一の主面と前記第二の主面とを接続する斜面とを有しており、前記脚の少なくとも前記第二の主面に共振周波数を調整する調整膜が形成された圧電振動子の製造方法であって、前記第一の主面側から前記斜面を介してレーザービームを入射させ、前記レーザービームにより前記第二の主面の前記調整膜を除去して前記圧電振動片の共振周波数を調整することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011217687A JP5864189B2 (ja) | 2011-09-30 | 2011-09-30 | 圧電振動子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011217687A JP5864189B2 (ja) | 2011-09-30 | 2011-09-30 | 圧電振動子およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013078044A JP2013078044A (ja) | 2013-04-25 |
JP5864189B2 true JP5864189B2 (ja) | 2016-02-17 |
Family
ID=48481191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011217687A Active JP5864189B2 (ja) | 2011-09-30 | 2011-09-30 | 圧電振動子およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5864189B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015008353A (ja) | 2013-06-24 | 2015-01-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動デバイス、電子機器、移動体、および振動素子の製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5753128A (en) * | 1980-09-17 | 1982-03-30 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuning fork type quartz vibrator |
JP2002118441A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-04-19 | Citizen Watch Co Ltd | 捩り振動子 |
JP2005184229A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-07-07 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイス用パッケージおよび圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
WO2006114936A1 (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Daishinku Corporation | 圧電振動片及び圧電振動デバイス |
JP4687993B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2011-05-25 | 株式会社大真空 | 圧電振動片、圧電振動子、および圧電振動片の周波数調整方法 |
JP5136154B2 (ja) * | 2008-03-27 | 2013-02-06 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片の周波数調整方法 |
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2011
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Publication number | Publication date |
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JP2013078044A (ja) | 2013-04-25 |
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