JP2013078044A - 圧電振動子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基部と、基部より延出する脚とを有する圧電振動片であり、脚は、表面と裏面と第一の側面と第二の側面とを有する角柱状で、表面側の長さが裏面側の長さよりも短く、先端に斜面を有しており、脚の表面、裏面、第一の側面、第二の側面に脚を振動させる励振電極が形成され、脚の裏面と第一の側面と第二の側面に共振周波数を調製する調整膜が形成された圧電振動子の製造方法であって、脚の表面側からレーザーを照射し、調整膜を除去することで圧電振動片の共振周波数を調整する圧電振動子の製造方法とする。
【選択図】 図5
Description
つりあいを実現している。
ΔF/F(T)=A3×(T−T0)^3+A1(T−T0)+A0
と表わされる。A3は、3次曲線の鋭さを表し、A1は一次の傾きを表す。T0は、変曲点温度である。頂点温度が存在するときの頂点温度Zは、
Z= T0−√(−A1/3/A3)という関係となる。
2、3、4 脚
5、6 接続電極
7、8、9 表面電極
10、11、12 裏面電極
13、14、15 側面電極
16、19、22 斜めの端面
25、26、27 調整膜
100 3脚捩りモード圧電振動子
101 セラミックパッケージ
102 導電性接着材
103 イオンガン
104 金属のリッド
105 金すずのロウ材
200 3脚捩りモード圧電振動子
201 パッケージ
202 導電性接着材
204 リッド
205 金すずのロウ材
Claims (5)
- 基部と、基部より延出する脚とを有する圧電振動片であり、
前記脚は、表面と裏面と第一の側面と第二の側面とを有する角柱状で、表面側の長さが裏面側の長さよりも短く、先端に斜面を有しており、
前記脚の表面、裏面、第一の側面、第二の側面に前記脚を振動させる励振電極が形成され、
前記脚の裏面と第一の側面と第二の側面に共振周波数を調製する調整膜が形成され、
前記圧電振動片が収納容器内に気密封止されたことを特徴とする圧電振動子。 - 前記圧電振動片は、捩りモードで振動することを特徴とする請求項1記載の圧電振動子。
- 前記圧電振動片は、3本の脚を有することを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動子。
- 前記圧電振動片は、水晶からなり、
前記基部の幅方向を水晶の結晶軸のX軸とし、前記脚の延出方向を水晶の結晶軸のY軸と一致させた状態から、結晶軸のX軸を中心に回転し、Y軸より31度〜36度の範囲にあることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の圧電振動子。 - 基部と、基部より延出する脚とを有する圧電振動片であり、
前記脚は、表面と裏面と第一の側面と第二の側面とを有する角柱状で、表面側の長さが裏面側の長さよりも短く、先端に斜面を有しており、
前記脚の表面、裏面、第一の側面、第二の側面に前記脚を振動させる励振電極が形成され、
前記脚の裏面と第一の側面と第二の側面に共振周波数を調製する調整膜が形成された圧電振動子の製造方法であって、
前記脚の表面側からレーザーを照射し、前記調整膜を除去することで前記圧電振動片の共振周波数を調整することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
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- 2011-09-30 JP JP2011217687A patent/JP5864189B2/ja active Active
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