JP5088664B2 - 圧電振動片の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧電振動片の製造方法に関するものである。

圧電振動片には、これが搭載される電子機器の小型化に伴って、小型化の要求がある。このため、特許文献１に開示された水晶振動子は、水晶片の縁部の表裏を曲率Ｒで変化させて、水晶片の厚さが端部に向かって徐々に薄くなるようにした漸減部を備えている。これにより特許文献１では、水晶片の短手方向と長手方向の見かけ上の長さが共に長くなるため、水晶片の四辺端部で振動が存在しないようにして、振動エネルギの損失を抑制し、水晶振動子の小型化を図れるとしている。
特開２００３−１７４３５３号公報（４頁、図２）

ところが近年では、圧電振動片に対して、更なる小型化が要求されている。そして圧電振動片を更に小型化した場合には、ＣＩ値の劣化等を防止すべく、振動エネルギの閉じ込め効果がより必要になっている。

また圧電振動片は、その寸法精度が悪いと、例えば周波数温度特性にバラツキが生じる。このため圧電振動片には、寸法にバラツキが生じないような加工方法が必要になる。ところが前述した水晶片の縁部を曲率Ｒで変化させた場合、水晶片の個体差を少なくするには、水晶片毎に同じ曲率に設定しなければならず、容易に加工ができないおそれがある。
本発明は、小型化された圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る圧電振動片は、振動部と、振動部よりも厚さを薄くした支持部とを備えた圧電素板を有し、振動部は、圧電素板を伝搬する厚み滑り振動の主変位方向に対して圧電素板面内に垂直な方向に位置するいずれか一方の圧電素板の端部に設けたことを特徴としている。

本発明に係る圧電振動片は、振動部の１つの側面と、支持部の１つの側面とが同一面内にあるようにしている。このような形状としても振動部に厚み滑り振動のエネルギを閉じ込めることができる。このため振動部の四方に支持部がないので、すなわち振動部の三方に支持部があるので、圧電振動片の平面サイズを小型化することができる。また圧電振動片は、振動部を用いて振動エネルギを閉じ込めるようにしたので、フォトリソグラフィ技術およびエッチング工程を用いて製造でき、寸法精度を高くすることができる。よって圧電振動片に個体差が生じるのを防止できる。

なお圧電振動片は、振動部の側面と支持部の側面とを一致させた端部において、振動のエネルギが最大となるようにすることもできる。このようにしても振動のエネルギを振動部に閉じ込めることができるので、圧電振動片の平面サイズを小型化することができる。

また本発明に係る圧電振動片は、振動部の主面に励振電極を設け、または支持部の主面における振動部の縁部に沿って励振電極を設けたことを特徴としている。これにより励振電極に電気信号を供給すると厚み滑り振動を励振することができる。また支持部の主面に
励振電極を設ければ、振動部に接続電極を設ける必要がなく、接続電極を形成するときの不良の発生を防止できる。そして支持部の主面に励振電極を設ければ、振動部を厚くして、圧電振動片の発振周波数を低くすることもできる。

また振動部を設けている圧電素板の端部側に位置する励振電極の縁部は、振動部を設けている圧電素板の端部から離れていることを特徴としている。これにより圧電素板の端部に励振電極が接することがないので、圧電素板の上面に設けた励振電極と下面に設けた励振電極が側面を介して導通するのを防止できる。そして圧電素板の側面を露光装置で斜め露光する工程が不要になるので、製造工程および露光装置を簡略化できる。

前述した圧電素板は、水晶素板であることを特徴としている。これにより周波数温度特性等の圧電振動片の様々な特性を向上することができる。
前述した水晶素板は、水晶の結晶軸のうちＸ軸とＺ’軸とで形成される平面を有するとともに、水晶の結晶軸のうちＹ’軸が厚さ方向となっているＡＴカット水晶素板であり、Ｙ’軸とＺ’軸とで形成されるＹ’Ｚ’面に平行な振動部の側面に励振電極とマウント電極を導通する接続電極を設けるとともに、Ｙ’Ｚ’面に平行な支持部の側面にマウント電極を引き回したことを特徴としている。水晶は、結晶構造の異方性によって結晶軸毎にエッチングレートが異なっている。そして水晶素板をウエットエッチングすると、Ｙ’Ｚ’面には尖った部分が生じない。このためＹ’Ｚ’面に平行な振動部の側面に接続電極を設け、またＹ’Ｚ’面に平行な支持部の側面にマウント電極を引き回せば、これらの電極に断線等の不具合が生じることを防止できる。

また本発明に係る圧電デバイスは、前述した圧電振動片をパッケージに収容したことを特徴としている。これにより圧電デバイスの平面サイズを小型化することができる。

また本発明に係る圧電振動片の製造方法は、振動部と、振動部よりも厚さを薄くした支持部とを備えた圧電素板を形成し、圧電素板に励振される厚み滑り振動の主変位方向に対して圧電素板面内に垂直な方向に位置するいずれか一方の圧電素板の端部に振動部を配置したメサ型の圧電素板に励振電極をフォトリソグラフィ技術により形成するに際して、圧電素板の表面に設けた金属膜上のレジストを励振電極の形状に合わせて露光するとともに、圧電素板の主面に垂直な方向に対して斜めに傾けた方向から圧電素板の側面を露光することを特徴としている。

圧電素板の側面に塗布してあるレジストを斜め露光できるので、圧電素板の側面に成膜した励振電極の形成に用いる金属を確実に除去できる。このため振動部を圧電素板の端部側に寄せた構成であっても、圧電素板の上面に設けた励振電極と下面に設けた励振電極が側面を介して導通するのを防止できる。そして圧電素板の側面を露光装置で斜め露光する工程が不要になるので、製造工程および露光装置を簡略化できる。

以下に、本発明に係る圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法の実施形態について説明する。まず第１の実施形態について説明する。図１は第１の実施形態に係る圧電振動片の説明図である。ここで図１（Ａ）は斜視図、図１（Ｂ）は平面図、図１（Ｃ）は底面図である。図２はＡＴカット水晶素板の説明図である。

圧電振動片１０は圧電素板１２を有している。この圧電素板１２は、主振動として厚み滑り振動を生じるものである。具体的な一例としては、圧電素板１２としてＡＴカット水晶素板１４を用いることができる。水晶の結晶軸は、図２に示すように、Ｘ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光軸）によって定義される。ＡＴカット水晶素板１４は、Ｙ軸に垂直なＸＺ面で切り出される水晶Ｙ板をＸ軸回りにθ＝約３５°回転して得られる
ものである。なおＺ’軸およびＹ’軸は、Ｚ軸およびＹ軸をθ回転させたことにより新たに設定した軸である。そして圧電素板１２としてＡＴカット水晶素板１４を用いると、図１（Ａ）に示す場合では、図面の左右方向がＺ’軸になり、奥行き方向がＸ軸になる。なお本発明は、ＡＴカット水晶素板１４に限定されるものではない。

圧電素板１２は、その一部の厚さが、他の部分に比べて厚くなっている。すなわち圧電振動片１０は振動部１６と、この振動部１６よりも厚さを薄くした支持部１８とを有している。この振動部１６は、圧電素板１２を伝搬する厚み滑り振動の主変位方向に対して圧電素板１２の面内に垂直な方向に位置するいずれか一方の圧電素板１２の端部に設けてある。そして図１に示す場合、厚み滑り振動の主変位方向は、図１（Ａ）に矢印Ａで示すようにＸ軸に沿う方向となっている。このため振動部１６は、主変位方向に対して圧電素板１２の面内に垂直な方向となるＺ’軸方向における、圧電素板１２のいずれか一方の端部に設けてある。すなわち振動部１６は、圧電素板１２の＋Ｚ’方向の端部および圧電素板１２の−Ｚ’方向の端部のいずれか一方に設けてある。また振動部１６は、圧電素板１２において、Ｘ軸方向の中央部に設けてある。これにより振動部１６のいずれか１つの側面は、圧電素板１２の側面１２ａを形成することになる。また振動部１６の他の３つの側面には、その厚さ方向の中央部に支持部１８が設けてある。これによって圧電素板１２は、両主面に肉厚部を設けたメサ型となる。

そして振動部１６の主面には、励振電極２０が設けてある。また支持部１８は、マウント電極２２を縁部に設けるとともに、このマウント電極２２と励振電極２０を導通する接続電極２４を設けている。なおマウント電極２２は、圧電素板１２の下面に１対設けてある。そして一方のマウント電極２２ａは、圧電素板１２の下面に設けた励振電極２０ａと接続電極２４ａを介して導通している。また他方のマウント電極２２ｂは、圧電素板１２の下面から側面を介して上面に引き回されており、この上面において接続電極２４ｂを介して励振電極２０ｂと導通している。

このようなメサ型の圧電振動片１０は、励振電極２０に電気信号を供給すると、振動部１６に厚み滑り振動を生じる。この振動のエネルギは、振動部１６に閉じ込められる。なお圧電振動片１０は、振動部１６の側面のうちの１つが支持部１８の側面と同一な面を形成しているが、振動のエネルギが振動部１６に閉じ込められることを確認できている。すなわち圧電振動片１０は、厚み滑り振動の主変位方向に対して垂直方向の位置にある振動部１６の端部（主変位方向に沿っている振動部１６の側面）に支持部１８を設けていない形態となっているが、厚み滑りエネルギ閉じ込めモードが存在している。なお振動部１６は、厚み滑り振動の主変位方向と同じ方向に位置する圧電素板１２の端部（主変位方向に対して垂直方向に沿っている圧電素板１２の側面）に設けてあると、すなわち図１に示す場合、＋Ｘ方向の圧電素板１２の端部または−Ｘ方向の圧電素板１２の端部に設けてあると、厚み滑りエネルギ閉じ込めモードが存在していなかった。

図３は圧電振動片の平面サイズを比較するための説明図である。ここで図３（Ａ）は本実施形態の圧電振動片の平面図および振動エネルギの説明図であり、図３（Ｂ）は平板の圧電素板を用いた従来の圧電振動片の平面図である。図３（Ａ）に示すように、本実施形態の圧電振動片１０は、振動部１６で生じた厚み滑り振動のエネルギＥが、振動部１６の端部と支持部１８の端部とによって形成される圧電素板１２の端部１２ｂにおいて最大となり、このエネルギＥが振動部１６に閉じ込められるように減衰していき、支持部１８においてエネルギＥが零になっている。なおマウント電極２２を設けてある箇所では、振動のエネルギＥが既に零になっている。このように振動部１６を圧電素板１２の前記端部１２ｂに寄せて配設するとともに、この振動部１６の幅を狭くして前記端部１２ｂにおいて振動エネルギＥが最大になるようにしているので、前記端部１２ｂからマウント電極２２までの振動に寄与する領域の幅を狭くすることができる。この振動に寄与する領域の幅を
Ｗ／２とする。

これに対し図３（Ｂ）に示すように、厚み滑り振動を励振する従来の圧電振動片１では、圧電素板２の幅方向の中央部が振動エネルギの最大となる箇所である。このため従来の圧電振動片１が厚み滑り振動を励振するには、前記中央部から幅方向にそれぞれＷ／２以上必要になる。すなわち従来の圧電振動片１の幅は、少なくともＷ必要になる。

そして本実施形態の圧電振動片１０では、マウント電極２２を圧電素板１２（支持部１８）の長辺に隣接して設けているので、図３（Ｂ）に示す従来の圧電振動片１に比べて、面積比で約２／３倍になっている。

そして圧電振動片１０は、フォトリソグラフィ技術を用いて形成することができる。すなわち、まず平板の圧電素板に、振動部１６の形状を形成するための第１のレジストを塗布し、この振動部１６の形状に倣ったフォトマスクを介して第１のレジストを露光する。この後現像をすると、所望の振動部１６の形状に倣った第１のレジストが得られる。そして更に、圧電振動片１０の形状を形成するための第２のレジストを塗布し、この圧電振動片１０の形状に倣ったフォトマスクを介して第２のレジストを露光する。この後現像をすると、所望の圧電振動片１０の形状に倣った第２のレジストが得られる。

まず第２のレジストをマスクとして利用して圧電素板をウエットエッチングし、圧電振動片１０の外形を形成する。この後、第２のレジストを除去した後、第１のレジストをマスクとして利用して圧電素板をウエットエッチングして支持部１８を薄くすることにより振動部１６を形成し、第１のレジストを除去すると、メサ型の圧電素板１２が得られる。

圧電振動片１０が水晶の場合には、まず平板の圧電素板に下地となるＣｒやＮｉ等を成膜した上でウエットエッチング時にレジストとしての効果のあるＡｕを成膜する。その後、振動部１６の形状に倣ったフォトマスクを介して第１のレジストを露光する。この後現像をすると、所望の振動部１６の形状に倣った第１のレジストが得られる。そして更に、圧電振動片１０の形状を形成するための第２のレジストを塗布し、この圧電振動片１０の形状に倣ったフォトマスクを介して第２のレジストを露光する。この後現像をすると、所望の圧電振動片１０の形状に倣った第２のレジストが得られる。まず第２のレジストをマスクとして利用してＣｒを下地としたＡｕをエッチングして圧電振動片１０の形状に倣ったＣｒを下地としたＡｕが得られる。圧電振動片１０の形状に倣った第２のレジストとＣｒを下地としたＡｕを水晶のウエットエッチング液に対するレジストとして水晶をウエットエッチングすると圧電振動片１０の外形形状を得る。その後、第２のレジストを除去して第１のレジストをマスクとして利用してＣｒを下地としたＡｕをエッチングして振動部１６の形状に倣った第１のレジストとＣｒを下地としたＡｕが得られる。振動部１６の形状に倣った第１のレジストとＣｒを下地としたＡｕを水晶のウエットエッチング液に対するレジストとして水晶を適量のウエットエッチングをすると振動部１６が得られ、第１のレジストとＣｒを下地としたＡｕを除去することでメサ形状の水晶圧電素板１２が得られる。但し、ここで述べた方法は唯一ではなく他の方法を用いてもよい。

そして励振電極２０、マウント電極２２および接続電極２４は、次のようにして形成することができる。まずメサ型に形成された圧電素板１２の表面に、前述した各電極の材料となる金属膜を形成し、この上に第３のレジストを塗布する。そして各電極の形状に倣ったフォトマスクを介して第３のレジストを露光する。このとき圧電素板１２の主面に塗布した第３のレジストには、この主面に垂直な方向に配置した露光装置の光源から光を照射している。また振動部１６の側面と支持部１８の側面とが同一面を形成している圧電素板１２の側面１２ａに塗布した第３のレジストには、露光装置の光源を斜めに傾けて光を照射している。すなわち圧電素板１２の主面に塗布した第３のレジストには、圧電素板１２
の主面に対して垂直な方向に配置した光源を用いて転写を行い、圧電素板１２の前記側面１２ａに塗布した第３のレジストには、光源を傾けて前記側面１２ａに対して垂直方向に近づくように斜め方向から転写を行う。これにより圧電素板１２の前記側面１２ａに塗布した第３のレジストも感光する。この後に現像を行うと、所望の各電極の形状に倣った第３のレジストが得られる。そして、金属膜上に残った第３のレジストをマスクとして利用して、このマスクの開口部分に露出した金属膜をエッチングする。この後、第３のレジストを除去すると、各電極２０，２２，２４が圧電素板１２の表面に得られる。なお圧電素板１２の前記側面１２ａに塗布した第３のレジストに対して斜め露光をしているので、圧電素板１２の前記側面１２ａ上の金属膜が確実に除去されており、圧電素板１２の上面と下面に設けた励振電極２０ｂ，２０ａ同士が導通することはない。

以上説明した圧電振動片１０によれば、支持部１８よりも肉厚にした振動部１６を設けているので、この振動部１６に厚み滑り振動のエネルギを閉じ込めることができる。この振動部１６は、厚み滑り振動の主変位方向に対して垂直な方向に位置する圧電素板１２のいずれか一方の端部に設けてある。すなわち振動部１６の１つの側面と、支持部１８の１つの側面とが同一面内にあるようにしている。このような形状としても振動部１６に厚み滑り振動のエネルギを閉じ込めることができる。よって圧電振動片１０の平面サイズを小型化することができる。また振動部１６の端部と支持部１８の端部とを一致させた圧電素板１２の端部１２ｂにおいて振動のエネルギが最大となるようにしているので、圧電振動片１０の平面サイズを小型化することができる。

また圧電振動片１０は、数ＭＨｚ〜十数ＭＨｚの低周波領域で発振するならば、振動部１６の外形の寸法が発振周波数に影響を与えることが少なく、前述した方法で製造することができる。なお圧電振動片１０を高周波領域で発振させるには、振動部１６の外形の寸法を高精度にしなければ目標とする周波数調整範囲から外れてしまうので、寸法精度の管理を厳密に行う必要がある。

また圧電素板１２の表面に設ける励振電極２０、マウント電極２２および接続電極２４を、フォトリソグラフィ技術を利用して形成する際に、圧電素板１２の前記側面１２ａに塗布したレジストを斜め露光しているので、前記側面１２ａに形成してある金属膜を確実に除去することができる。これにより圧電素板１２の外周部分に振動部１６を配置しても、圧電素板１２の上面と下面に設けた励振電極２０同士が導通するのを防止できる。

また圧電素板１２を形成するに際して、フォトリソグラフィ技術とウエットエッチングを利用しているので、寸法精度を高くして仕上げることができる。すなわち圧電素板１２毎の寸法のバラツキを、機械加工に比べて極めて小さくすることができる。よって、この圧電素板１２を利用して得た圧電振動片１０では、周波数温度特性を始めとする様々な特性の製品毎のバラツキを極めて小さくすることができる。

次に、第２の実施形態について説明する。図４は第２の実施形態に係る圧電振動片の説明図である。ここで図４（Ａ）は斜視図、図４（Ｂ）は平面図、図４（Ｃ）は底面図である。第２の実施形態の圧電振動片１０は、振動部１６の端部と支持部１８の端部とが一致している圧電素板１２の端部１２ｂから、励振電極２０の縁部２０ｃを離した形態である。すなわち振動部１６の主面において、圧電素板１２の前記端部１２ｂに隣接した部分には励振電極２０を設けてなく、他の部分（中央部分等）に励振電極２０を設けている。

このような励振電極２０は、第１の実施形態で説明した形態と同様にして形成することができる。すなわちメサ型の圧電素板１２の表面に形成した金属膜の上にレジストのマスクを形成するときに、圧電素板１２の前記端部１２ｂに隣接している振動部１６の表面のレジストを除去すればよい。これによりレジストを除去した部分はマスクの開口部分とな
るので、この開口部分に露出している金属膜を除去すればよい。このように励振電極２０の縁部２０ｃを圧電素板１２の前記端部１２ｂから離しておけば、振動部１６の側面と支持部１８の側面とが同一面を形成している圧電素板１２の側面１２ａを露光装置で斜め露光することなく、圧電素板１２の上面と下面に設けた励振電極２０同士の短絡を防止できる。また斜め露光を行う工程を省くことができるので、製造工程と露光装置を簡略化することができる。
なお第２の実施形態の圧電振動片１０は、励振電極２０以外の他の構成部分が第１の実施形態の圧電振動片１０と同構成になっている。

次に、第３の実施形態について説明する。図５は第３の実施形態に係る圧電振動片の説明図である。ここで図５（Ａ）は斜視図、図５（Ｂ）は平面図、図５（Ｃ）は底面図である。第３の実施形態の圧電振動片１０は、励振電極３０を振動部１６の主面ではなく、支持部１８の主面に設けている。また支持部１８の主面に設けた励振電極３０は、振動部１６の縁部に沿って設けてある。そして励振電極３０は、図５に示す場合、圧電素板１２の前記端部１２ｂから離れている。励振電極３０の縁部３０ａを圧電素板１２の前記端部１２ｂから離すことにより、第２の実施形態で説明したのと同様に、圧電素板１２の前記側面１２ａを露光装置で斜め露光することなく、圧電素板１２の上面と下面に設けた励振電極３０同士の短絡を防止できる。

また実施形態によっては、励振電極３０の縁部３０ａを圧電素板１２の前記端部１２ｂにまで設けてもよい。この場合、第１の実施形態で説明したのと同様に、圧電素板１２の前記側面１２ａを斜め露光して、この圧電素板１２の前記側面１２ａ上の金属膜を除去すれば、圧電素板１２の上面と下面に設けた励振電極３０同士の短絡を防止できる。
このような圧電振動片１０では、励振電極３０に電気信号を供給すれば厚み滑り振動を励振して、振動部１６に振動エネルギを閉じ込めることができる。

また振動部１６の厚さ、すなわち支持部１８の主面から振動部１６の主面までの距離が長くなると、振動部１６の側面に接続電極２４を引き回し難くなる。しかし本実施形態の圧電振動片１０では、振動部１６の外周部で駆動できるため、振動部１６が厚くなっても厚み滑り振動を励振して振動部１６に振動のエネルギを閉じ込めることができる。そして接続電極を振動部１６の側面に形成することがないので、接続電極２４を形成するときに断線等の不良が発生しなくなり、歩留まりを向上することができる。
なお第３の実施形態の圧電振動片１０は、励振電極３０以外の他の構成部分が第１の実施形態の圧電振動片１０と同構成になっている。

次に、第４の実施形態について説明する。図６は第４の実施形態に係る圧電振動片の説明図である。ここで図６（Ａ）は斜視図、図６（Ｂ）は平面図、図６（Ｃ）は底面図である。第４の実施形態の圧電振動片１０は、励振電極２０とマウント電極２２を導通する接続電極２４を設ける位置、および支持部１８の上面と下面のマウント電極２２を導通するために支持部１８の側面に設けるマウント電極２２の位置を設定したものである。

圧電素板１２には、第１の実施形態で説明したように水晶素板を用いることができる。この水晶は結晶構造の異方性を有しているので、結晶軸毎にウエットエッチングのレートが異なる。例えば、図２に示すＡＴカット水晶素板１４をウエットエッチングすると、このＡＴカット水晶素板１４を用いたメサ型の圧電素板１２の側面形状が図７に示すようになる。ここで図７（Ａ）はＹ’Ｚ’面でＡＴカット水晶素板１４を切断したときの断面図であり、図７（Ｂ）はＸＹ’面でＡＴカット水晶素板１４を切断したときの断面図である。

図７（Ａ）に示すように、ＡＴカット水晶素板１４のＸＹ’面に沿う側面には、ウエッ
トエッチングすることによって尖った部分３４が生じる。このためＡＴカット水晶素板１４のＸＹ’面に接続電極２４やマウント電極２２を引き回しても、尖った部分３４で断線するおそれがある。これに対し図７（Ｂ）に示すように、ＡＴカット水晶素板１４のＹ’Ｚ’面に沿う側面には、図７（Ａ）と比較して、尖った部分が存在しない。このため圧電素板１２としてＡＴカット水晶素板１４を用いる場合は、図６に示すように、振動部１６の側面に設ける接続電極２４と、支持部１８の側面に設けるマウント電極２２を、圧電素板１２のＹ’Ｚ’面に設ければ断線することがない。この場合、マウント電極２２を支持部１８の角部に設けておけばよい。
なお第４の実施形態の圧電振動片１０は、接続電極２４やマウント電極２２以外の他の構成部分が前述した実施形態の圧電振動片１０と同構成になっている。

次に、第５の実施形態について説明する。図８は圧電振動片をパッケージに収容した圧電振動デバイスの説明図である。圧電デバイス４０は、パッケージ４２を備えている。このパッケージ４２は、パッケージベース４４および蓋体５２を有している。パッケージベース４４は、上方に向けて開口した凹陥部４６を備えており、この凹陥部４６の底面に一対のパッケージ側マウント電極４８を備えている。またパッケージベース４４の裏面には外部端子４９が設けてあり、パッケージ側マウント電極４８と１対１に導通している。パッケージ側マウント電極４８の上には導電性接着剤５０を塗布しており、この導電性接着剤５０の上に圧電振動片１０を配設している。このときパッケージ側マウント電極４８と圧電振動片１０のマウント電極２２（図８には図示せず）とが、導電性接着剤５０を介して１対１に接続している。そしてパッケージベース４４の上面に蓋体５２が接合して、凹陥部４６を気密封止している。

このような圧電デバイス４０により、圧電振動片１０を電子機器に搭載することができる。そして圧電振動片１０が小型化されているので、圧電デバイス４０も小型化することができる。なお圧電デバイス４０は、前述したような圧電振動子ばかりでなく、圧電振動片１０とともに発振回路をパッケージ４２内に収容した圧電発振器にすることもできる。

なお前述した実施形態で説明した圧電振動片１０は、圧電素板１２の両主面に肉厚部を形成して振動部１６とした構造である。しかし本発明に係る圧電振動片１０は、圧電素板１２のいずれか一方の主面に肉厚部を形成して振動部１６としたプラノメサ型であってもよい。

第１の実施形態に係る圧電振動片の説明図である。 ＡＴカット水晶素板の説明図である。 圧電振動片の平面サイズを比較するための説明図である。 第２の実施形態に係る圧電振動片の説明図である。 第３の実施形態に係る圧電振動片の説明図である。 第４の実施形態に係る圧電振動片の説明図である。 ＡＴカット水晶素板の側面形状の説明図である。 圧電振動片をパッケージに収容した圧電振動デバイスの説明図である。

符号の説明

１０…圧電振動片、１２…圧電素板、１２ａ…圧電素板の側面、１２ｂ…圧電素板の端部、１４…ＡＴカット水晶素板、１６…振動部、１８…支持部、２０，３０…励振電極、２２…マウント電極、２４…接続電極、４０…圧電デバイス。

Claims (1)

1. 振動部及び前記振動部よりも厚みが薄い支持部を含み、前記振動部を平面視して、励振される厚み滑り振動の主変位方向に対して垂直な方向に位置する前記振動部の２つの端部のうち一方の端部が外形を構成し、且つ、前記振動部の前記一方の端部側の第１の側面と前記支持部の第２の側面とが同一面を形成している圧電素板と、
   前記圧電素板に設けられている励振電極と、
   を含む圧電振動片の製造方法であって、
   前記圧電素板の表面に金属膜とレジストとを順に積層し、フォトリソグラフィ技術により前記励振電極を形成する工程を含み、
   前記励振電極を形成する工程は、
   前記第１の側面と前記第２の側面とに前記レジストが塗布され、
   前記レジストを前記励振電極の形状に合わせて露光し、
   且つ、前記圧電素板の主面に垂直な方向に対して斜めに傾けた方向から光を照射して、前記第１の側面と前記第２の側面とに塗布されている前記レジストを露光する
   ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。

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