JP2008206000A - 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 - Google Patents
圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】圧電振動片10は、振動部16と、この振動部16よりも厚さを薄くした支持部18とを備えた圧電素板12を有している。この振動部16は、圧電素板12を伝搬する厚み滑り振動の主変位方向に対して圧電素板12の面内に垂直な方向に位置するいずれか一方の圧電素板12の端部12bに設けてある。すなわち厚み滑り振動の主変位方向に沿っている振動部16のいずれか1つの側面と、支持部18のいずれか1つの側面が同一面を形成している。そして振動部16の主面には励振電極20が設けてあり、支持部18の長辺に隣接してマウント電極22が設けてある。この励振電極20とマウント電極22は、接続電極24によって導通している。
【選択図】図1
Description
本発明は、小型化された圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法を提供することを目的とする。
励振電極を設ければ、振動部に接続電極を設ける必要がなく、接続電極を形成するときの不良の発生を防止できる。そして支持部の主面に励振電極を設ければ、振動部を厚くして、圧電振動片の発振周波数を低くすることもできる。
前述した水晶素板は、水晶の結晶軸のうちX軸とZ’軸とで形成される平面を有するとともに、水晶の結晶軸のうちY’軸が厚さ方向となっているATカット水晶素板であり、Y’軸とZ’軸とで形成されるY’Z’面に平行な振動部の側面に励振電極とマウント電極を導通する接続電極を設けるとともに、Y’Z’面に平行な支持部の側面にマウント電極を引き回したことを特徴としている。水晶は、結晶構造の異方性によって結晶軸毎にエッチングレートが異なっている。そして水晶素板をウエットエッチングすると、Y’Z’面には尖った部分が生じない。このためY’Z’面に平行な振動部の側面に接続電極を設け、またY’Z’面に平行な支持部の側面にマウント電極を引き回せば、これらの電極に断線等の不具合が生じることを防止できる。
ものである。なおZ’軸およびY’軸は、Z軸およびY軸をθ回転させたことにより新たに設定した軸である。そして圧電素板12としてATカット水晶素板14を用いると、図1(A)に示す場合では、図面の左右方向がZ’軸になり、奥行き方向がX軸になる。なお本発明は、ATカット水晶素板14に限定されるものではない。
W/2とする。
の主面に対して垂直な方向に配置した光源を用いて転写を行い、圧電素板12の前記側面12aに塗布した第3のレジストには、光源を傾けて前記側面12aに対して垂直方向に近づくように斜め方向から転写を行う。これにより圧電素板12の前記側面12aに塗布した第3のレジストも感光する。この後に現像を行うと、所望の各電極の形状に倣った第3のレジストが得られる。そして、金属膜上に残った第3のレジストをマスクとして利用して、このマスクの開口部分に露出した金属膜をエッチングする。この後、第3のレジストを除去すると、各電極20,22,24が圧電素板12の表面に得られる。なお圧電素板12の前記側面12aに塗布した第3のレジストに対して斜め露光をしているので、圧電素板12の前記側面12a上の金属膜が確実に除去されており、圧電素板12の上面と下面に設けた励振電極20b,20a同士が導通することはない。
るので、この開口部分に露出している金属膜を除去すればよい。このように励振電極20の縁部20cを圧電素板12の前記端部12bから離しておけば、振動部16の側面と支持部18の側面とが同一面を形成している圧電素板12の側面12aを露光装置で斜め露光することなく、圧電素板12の上面と下面に設けた励振電極20同士の短絡を防止できる。また斜め露光を行う工程を省くことができるので、製造工程と露光装置を簡略化することができる。
なお第2の実施形態の圧電振動片10は、励振電極20以外の他の構成部分が第1の実施形態の圧電振動片10と同構成になっている。
このような圧電振動片10では、励振電極30に電気信号を供給すれば厚み滑り振動を励振して、振動部16に振動エネルギを閉じ込めることができる。
なお第3の実施形態の圧電振動片10は、励振電極30以外の他の構成部分が第1の実施形態の圧電振動片10と同構成になっている。
トエッチングすることによって尖った部分34が生じる。このためATカット水晶素板14のXY’面に接続電極24やマウント電極22を引き回しても、尖った部分34で断線するおそれがある。これに対し図7(B)に示すように、ATカット水晶素板14のY’Z’面に沿う側面には、図7(A)と比較して、尖った部分が存在しない。このため圧電素板12としてATカット水晶素板14を用いる場合は、図6に示すように、振動部16の側面に設ける接続電極24と、支持部18の側面に設けるマウント電極22を、圧電素板12のY’Z’面に設ければ断線することがない。この場合、マウント電極22を支持部18の角部に設けておけばよい。
なお第4の実施形態の圧電振動片10は、接続電極24やマウント電極22以外の他の構成部分が前述した実施形態の圧電振動片10と同構成になっている。
Claims (7)
- 振動部と、前記振動部よりも厚さを薄くした支持部とを備えた圧電素板を有し、
前記振動部は、前記圧電素板を伝搬する厚み滑り振動の主変位方向に対して前記圧電素板面内に垂直な方向に位置するいずれか一方の前記圧電素板の端部に設けた、
ことを特徴とする圧電振動片。 - 前記振動部の主面に励振電極を設け、または前記支持部の主面における前記振動部の縁部に沿って励振電極を設けたことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片。
- 前記振動部を設けている前記圧電素板の端部側に位置する前記励振電極の縁部は、前記振動部を設けている前記圧電素板の端部から離れていることを特徴とする請求項2に記載の圧電振動片。
- 前記圧電素板は、水晶素板であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電振動片。
- 前記水晶素板は、水晶の結晶軸のうちX軸とZ’軸とで形成される平面を有するとともに、水晶の結晶軸のうちY’軸が厚さ方向となっているATカット水晶素板であり、
前記Y’軸と前記Z’軸とで形成されるY’Z’面に平行な前記振動部の側面に励振電極とマウント電極を導通する接続電極を設けるとともに、前記Y’Z’面に平行な前記支持部の側面に前記マウント電極を引き回した、
ことを特徴とする請求項4に記載の圧電振動片。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の圧電振動片をパッケージに収容したことを特徴とする圧電デバイス。
- 振動部と、前記振動部よりも厚さを薄くした支持部とを備えた圧電素板を形成し、
前記圧電素板に励振される厚み滑り振動の主変位方向に対して前記圧電素板面内に垂直な方向に位置するいずれか一方の前記圧電素板の端部に前記振動部を配置したメサ型の前記圧電素板に励振電極をフォトリソグラフィ技術により形成するに際して、
前記圧電素板の表面に設けた金属膜上のレジストを前記励振電極の形状に合わせて露光するとともに、前記圧電素板の主面に垂直な方向に対して斜めに傾けた方向から前記圧電素板の側面を露光する、
ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
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