JP5877746B2 - 圧電振動片およびその製造方法 - Google Patents
圧電振動片およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5877746B2 JP5877746B2 JP2012073697A JP2012073697A JP5877746B2 JP 5877746 B2 JP5877746 B2 JP 5877746B2 JP 2012073697 A JP2012073697 A JP 2012073697A JP 2012073697 A JP2012073697 A JP 2012073697A JP 5877746 B2 JP5877746 B2 JP 5877746B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating piece
- piezoelectric vibrating
- connecting portion
- piezoelectric
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 41
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 11
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 42
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 19
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
2 水晶振動片
2a 基端部
3 連結部
4 枠部
5 切り込み
5a 切断線
10 エッチング残渣
10a 切り込み
11 水晶ウエハ
12 水晶振動片
12a 基端部
13 連結部
13a 溝
14 エッチング残渣
15 枠部
16 凹部
20 パッケージ
21 ベース
22 空所
23 接続端子
25 導電性接着剤
26 蓋
Claims (6)
- 圧電材料からなるウエハをフォトエッチングすることにより、圧電振動片の外形を有する圧電振動子片と、前記圧電振動子片を支持するための枠部と、前記圧電振動子片の基端部と前記枠部とが連結する連結部とを形成し、前記連結部を切断することにより前記圧電振動片を前記枠部から切り離した圧電振動片の製造方法において、前記圧電振動片の基端部と前記枠部とは直線状の連結部で連結され、かつ、前記圧電振動片の基端部と前記連結部との接続部分の幅方向両端のそれぞれの隅部は凹部を設け、前記ウエハをフォトエッチング後、エッチング残渣部の大きさが最小、または前記エッチング残渣部が発生していない部分を通る線上にて前記連結部を切断したことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
- 前記連結部の切断線上にあたる前記圧電振動片表面の少なくとも一部に溝が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記溝は、前記連結部の表裏両主面に設けられることを特徴とする請求項2に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記溝が、前記ウエハをハーフエッチングすることにより形成されることを特徴とする請求項2または3に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記圧電材料が水晶であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の圧電振動片の製造方法。
- 請求項1から5までのいずれかに記載の前記圧電振動片を、気密性パッケージに収容する工程と、前記気密性パッケージの開口部を蓋部材とで接合する工程とを有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012073697A JP5877746B2 (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 圧電振動片およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012073697A JP5877746B2 (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 圧電振動片およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013207509A JP2013207509A (ja) | 2013-10-07 |
JP5877746B2 true JP5877746B2 (ja) | 2016-03-08 |
Family
ID=49526205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012073697A Active JP5877746B2 (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 圧電振動片およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5877746B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5804026B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2015-11-04 | 株式会社大真空 | 圧電ウェハ及び圧電振動片 |
CN105684309B (zh) | 2013-11-13 | 2018-11-16 | 株式会社大真空 | 压电晶片、压电振动片及压电振子 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5375077U (ja) * | 1976-11-26 | 1978-06-22 | ||
JPH0370421U (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-15 | ||
JP3442487B2 (ja) * | 1994-06-30 | 2003-09-02 | キンセキ株式会社 | 水晶振動子の製造方法 |
JP4120312B2 (ja) * | 2001-10-16 | 2008-07-16 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片及びその加工方法 |
JP2005318080A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片の製造方法 |
JP5302776B2 (ja) * | 2009-05-29 | 2013-10-02 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶片集合基板 |
JP5465992B2 (ja) * | 2009-12-11 | 2014-04-09 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 水晶振動子、電子部品および水晶振動子の製造方法 |
JP5451427B2 (ja) * | 2010-01-29 | 2014-03-26 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ及び音叉型屈曲水晶振動素子ウエハの製造方法及び音叉型屈曲水晶振動素子の製造方法。 |
-
2012
- 2012-03-28 JP JP2012073697A patent/JP5877746B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013207509A (ja) | 2013-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4301200B2 (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
CN109314502B (zh) | 水晶振动元件、水晶振子以及水晶振动元件的制造方法 | |
JP5796355B2 (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器 | |
JP2004343541A (ja) | 音叉型圧電振動片および音叉型圧電振動子 | |
JP5520618B2 (ja) | 音叉型屈曲水晶振動素子 | |
JP4569450B2 (ja) | Atカット水晶片の集合体、atカット水晶デバイス、及びatカット水晶デバイスの製造方法 | |
JP4207873B2 (ja) | 圧電振動片および圧電デバイス | |
JP4636093B2 (ja) | 振動片、振動子、発振器及び振動片の製造方法 | |
JP5088664B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法 | |
JP5929244B2 (ja) | 厚みすべり振動型水晶片、電極付きの厚みすべり振動型水晶片、水晶振動板、水晶振動子および水晶発振器 | |
JP2011045119A (ja) | 圧電振動片及びその加工方法 | |
JP5877746B2 (ja) | 圧電振動片およびその製造方法 | |
JP5251369B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法 | |
WO2018042994A1 (ja) | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス | |
US9159902B2 (en) | Resonator | |
JP2016032195A (ja) | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、及び圧電デバイス | |
JP5465041B2 (ja) | 音叉型屈曲水晶振動素子 | |
JP2007173906A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイスの製造方法 | |
JP4900489B2 (ja) | 音叉型圧電振動子 | |
JP2010062795A (ja) | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電デバイス、および圧電デバイスの製造方法 | |
JP4508204B2 (ja) | 音叉型圧電振動子 | |
JP2008042431A (ja) | 圧電振動子及びその製造方法 | |
JP4784699B2 (ja) | Atカット水晶振動子 | |
JP4864581B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JP6525766B2 (ja) | 水晶振動素子集合ウエハ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151026 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160114 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5877746 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |