JP4508204B2 - 音叉型圧電振動子 - Google Patents
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Description
これにより、前記音叉型圧電振動片が変形することなく、また周波数特性の変化
を防止する技術である。
このパッケージ12に音叉型圧電振動片20を実装するときは、短辺部30および長辺部32に設けられた前記接続電極とパッケージ側マウント電極18a、18bとを導電性接着剤42により接合する。
また、音叉型圧電振動片20は、前記従来の音叉型圧電振動片に比べて外形寸法が小さいので、一枚の圧電ウエハから取れる音叉型圧電振動片20の数を多くすることができる。図3に音叉型圧電振動片20の取れ数を説明する図を示す。図3(a)は従来の四方を枠部で囲繞した音叉型圧電振動片の圧電ウエハ上のパターンを示し、図3(b)はL型の支持部28を有する音叉型圧電振動片20の圧電ウエハ上のパターンを示す。このような音叉型圧電振動片20を等間隔にパターン形成し、前記従来の音叉型圧電振動片の取れ数を100とした場合、支持部28を有する音叉型圧電振動片20の取れ数は145となる。これにより、1枚の圧電ウエハから、従来よりも45%多く音叉型圧電振動片20を取ることができる。
音叉型圧電振動片70aの圧電振動片本体73は基部71の一端から延びる振動腕部72からなり、支持部74は基部71の他端に沿う短辺部75と、この短辺部75の両端から圧電振動片本体73の長手方向に沿う長辺部76とからなる。(図7(a))。また、音叉型圧電振動片70bは圧電振動片本体73および支持部77からなり、支持部77は基部71の前記他端に沿う短辺部78と、この短辺部78の両端から圧電振動片本体73の長手方向の沿う長辺部79とからなる。この長辺部79は圧電振動片本体73の長辺の長さよりも短くしてあり、例えば圧電振動片本体73の半分程度の長さである。(図7(b))。この音叉型圧電振動片70a、70bをパッケージに実装するときは、短辺部75、78の下面、および2本の長辺部76、79先端下面を導電性接着剤によりパッケージに接合すれば、パッケージの底面に対してより水平を保って実装することができる。
………パッケージ側マウント電極、20………音叉型圧電振動片、22………基
部、24………振動腕部、26………圧電振動片本体、28………支持部、30
………短辺部、32………長辺部、34………切込み溝。
Claims (2)
- 音叉型圧電振動片をパッケージに収納してなる音叉型圧電振動子であって、
前記音叉型圧電振動片は、
基部と前記基部の一端から第1方向に延びてなる第1および第2の振動腕部とを有する圧電振動片本体と、
前記基部に接続された接続部と、
前記接続部を介して前記圧電振動片本体に接続され、かつ、前記第1方向に延びて、かつ、前記圧電振動片本体を挟む位置に設けられている第1および第2支持部とを有し、
前記第1および第2支持部の一端が、前記基部の他端よりも前記第1方向の反対方向に突出しており、前記第1のおよび第2の支持部の両端下面の4箇所に、前記パッケージに接合されるマウント部が形成され、
前記パッケージは、
前記音叉型圧電振動片の前記マウント部が接合されるパッケージ側マウント電極と真空封止に使われる封止孔とを有するパッケージベース部と、
このパッケージベース部に封止部を介して接合された蓋体と、
前記音叉型圧電振動片の前記マウント部を前記パッケージ側マウント電極に接合する導電性接着剤とを有し、
前記パッケージベース部の真空封止される内側において、前記封止孔がある領域と、前記圧電振動片本体の下方の領域と、前記パッケージ側マウント電極が形成された領域とが同一面で構成されていることを特徴とする音叉型圧電振動子。 - 前記第1および第2支持部は、前記圧電振動片本体の長辺の長さよりも短いことを特徴とする請求項1に記載の音叉型圧電振動子。
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