JP2002009577A - 圧電デバイス - Google Patents
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- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
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Abstract
るための圧電振動子の製造方法を提供すること。 【解決手段】 圧電振動片を搭載したベース1と、この
圧電振動片3を内部に収容するようにして、前記ベース
に固定される蓋体とでパッケージを形成するようにした
圧電デバイス11あって、前記パッケージの一部に所定
の内径を備えパッケージ内に開口した第1の穴21と、
これより大きな内径を備え外部に開口した第2の穴22
を備えた段付きの開口部を有し、前記第2の穴の底部で
ある段部と、この第2の穴の内周面には、それぞれ金属
被覆部24a,24bが設けられており、かつ前記開口
部8内に封止材9が適用されて封止されている。
Description
ケージに内蔵した圧電振動子等の圧電デバイスとその製
造方法の改良に関する。
イブ)、モバイルコンピュータ、あるいはICカード等
の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、あるいは
ページングシステム等の移動体通信機器において装置の
小型薄型化がめざましく、それらに用いられる圧電振動
子等の圧電デバイスも小型薄型化が要求されている。
面実装が可能な表面実装タイプの圧電デバイスが求めら
れている。
の圧電振動子を、圧電振動片に音叉型の水晶振動片10
1を用いた図7(a)、(b)の構造図で示される低中
周波水晶振動子を用いて説明する。
の代表的な32.768KHz及びICカードやページ
ャ等に用いられる数KHz〜数百KHzの周波数を有す
る水晶振動子である。
00は、圧電振動片として、水晶基板から音叉型に形成
され、その表面に駆動用の金属電極を形成された水晶振
動片101が、セラミックの積層基板で形成されたベー
ス102の台座部に導電性の接着剤104等でマウント
接合され、透明なガラス材またはセラミック材で形成さ
れた蓋体としてのリッド103により真空雰囲気中で封
止されたパッケージ105により構成されている。
される。
に、ベース102には、図において下面から上面に貫通
する貫通穴106が予め形成されている。そして、上述
のようにベース102上に水晶振動片101をマウント
接合し、蓋体103を被せて第1の封止を行う。
106に金属製の封止材109を適用し、この封止材1
09に対して、加熱ピン107を当接させ、加熱手段1
08により加熱する。これにより、封止材109を溶融
して、封止するようにしている。
は、加熱ピン107を封止材109に当接させているた
め、作業精度が必要とされる。
を搭載する機器が小型化していることにともない、圧電
振動子100も小さく形成する必要がある。しかしなが
ら、ベース102は、セラミックス製であり、焼き物で
あることから、貫通穴106を形成する箇所がある程度
ばらつき、0.2mm程度の位置ずれが生じてしまうこ
とがある。このような位置ずれは、加熱ピン107の当
接位置との位置ずれを生じてしまい、作業の自動化が困
難であった。
キが生じてしまい、封止材109の溶融状態にムラが発
生することがある。このため僅かな隙間が生じてリーク
が発生し、製品の性能に影響する場合がある。
するために、上述のような加熱ピン107を使用ぜず
に、例えば、貫通穴106に金属製の封止材を適用し、
この封止材にレーザ等の封止用ビームを照射して、溶融
させることで、貫通穴106を封止する方法も提案され
ている。
−312948号にでは、このような貫通穴の所定の箇
所に金属被覆部を形成して、球形の封止材を適用し、封
止用ビームにより封止材を溶融させるようにしている。
ば、このような穴構造に加えて、適用する封止材の形状
を偏平な円柱状のものとする等の点が開示されている。
た場合に、さらに発生する問題を説明するために、上記
貫通穴106の部分を拡大して示した説明図であり、理
解の便宜のため、図7の状態とは上下を逆に示してい
る。
6とこれより小径の穴117を連通させて構成されてお
り、その境界の段部に金属被覆部121を形成して、封
止材131を適用した状態を示している。
21を形成した分だけ、溶融された封止材131と好適
に密着して固化されると考えられる。
は、金属被覆部121がある段部とは密着するが、大径
の穴116の穴内周との密着性が不足して、中央部が盛
り上がり、このため、大径の穴116の穴内周近傍に空
間S1を生じてしまう。このため、大径の穴116の穴
内周との接合面積が不足し、このような箇所でリークを
生じやすいという問題がある。
21に加えて、小径の穴117の内周にも金属被覆部1
23を形成した場合を示している。
部の金属被覆部121に密着するだけでなく、小径の穴
117の内周の金属被覆部123の方向へ流れて密着す
る。しかしながら、この場合、溶融された封止材131
の流れがよいと、封止材131はパッケージ内に符号1
31aに示すようにはみ出してしまい。場合によって
は、パッケージ内部の圧電振動片101(図7参照)に
接触して、振動性能を損なう場合があるという欠点があ
った。
めになされたものであり、パッケージに形成した、大径
の穴と小径の穴とからなる段付き貫通穴に封止材を適用
して封止する構造でなる圧電デバイスにおいて、大径の
穴内に密着して、十分な接合面積を得ることで気密性に
すぐれ、かつ小径の穴からパッケージ内部に封止材が入
り込んで、振動性能を損なうことがない圧電デバイスと
その製造方法を提供することを目的とする。
の発明によれば、圧電振動片を搭載したベースと、この
圧電振動片を内部に収容するようにして、前記ベースに
固定される蓋体とでパッケージを形成するようにした圧
電デバイスあって、前記パッケージの一部に所定の内径
を備えパッケージ内に開口した第1の穴と、これより大
きな内径を備え外部に開口した第2の穴を備えた段付き
の開口部を有し、前記第2の穴の底部である段部と、こ
の第2の穴の内周面には、それぞれ金属被覆部が設けら
れており、かつ前記開口部内に封止材が適用されて封止
されている、圧電デバイスにより、達成される。
外部から金属製の封止材が適用されて、加熱溶融される
と、この開口部の第2の穴の底部と、穴内周面には金属
被覆部が存在することから、溶融金属は第2の穴の内部
に濡れ広がる。一方、第1の穴は、第2の穴より小径で
あり、金属被覆部も存在しないことから、溶融金属は第
1の穴内には容易に侵入しない。このため、溶融金属が
冷えると、封止材は第2の穴の内周面と段部とに好適に
接合し、十分な接合面積でこの第2の穴を塞ぐので、パ
ッケージと外部とは完全にシールされる。また、第1の
穴には、溶融金属が殆ど侵入しないから、パッケージ内
まで溶融金属が達することがなく、金属がパッケージ内
部の圧電振動片に付着するおそれは完全に回避される。
て、少なくとも、前記第2の穴は、外に向かって開く傾
斜面を備えることを特徴とする。
球形の封止材を適用する際に、その位置決めが容易とな
る。
て、前記第1の穴の穴径が0.3mm以下であることを
特徴とする。
が0.3mm以下である場合に、上述した封止材が溶融
した溶融金属が入り込むことを確実に防止されることが
確認されている。また、第1の穴の穴径の下限値は、封
止前にパッケージ内と外部との通気が行えるのに十分な
大きさである。
ずれかの構成において、前記ベースが2枚以上のセラミ
ック製の板体で形成され、前記蓋体が内部に前記圧電振
動片を収容する空間を備える金属製の蓋体であることを
特徴とする。
封止前においては、外部から電子ビームやレーザビーム
等を内部に導いて、圧電振動片を周波数調整するための
穴と、封止穴とを兼用することができる。
ずれかの構成において、前記ベースが上部が開口した箱
状であり、前記蓋体が前記ベースに載置されるガラス板
またはセラミック板でなることを特徴とする。
ずれかの構成において、前記金属製封止材が金(Au)
と錫(Sn)による合金であり、前記金属被覆部がニッ
ケルメッキによる下地層の上に金メッキを被覆して形成
されていることを特徴とする。
止材との両方に金成分が共通して含まれているので、封
止材の溶融金属と金属被覆部との濡れが良好となる。
れば、圧電振動片をベースにマウントする工程と、前記
ベースと蓋体とを位置決めし封止する工程と、前記ベー
ス又は蓋に設けられた開口部を用いて、前記圧電振動片
の一部をレーザー光又は電子ビームにより周波数調整す
る工程と、前記ベースの一部に形成され、所定の内径を
備えパッケージ内に開口した第1の穴と、これより大き
な内径を備え外部に開口した第2の穴とを備えた段付き
の開口部であって、この第2の穴の底部である段部と、
この第2の穴の内周面に予め金属被覆部が設けられた箇
所に金属製の封止材を配置し、外部からレーザー光又は
電子ビームによる封止用ビームによりこの封止材を加熱
することにより真空雰囲気中で真空封止する工程とを有
する、圧電デバイスの製造方法により、達成される。
用するレーザー光又は電子ビームと同じ設備を利用し
て、封止工程を行うことができる。しかも、封止材に対
しては、封止用ビームを照射して加熱溶融したので、短
時間での瞬間的な昇温を実現でき、確実な加熱温度を実
現できるので、封止性能も向上する。
に外部から金属製の封止材が適用されて、レーザー光又
は電子ビームにより加熱溶融されると、この開口部の第
2の穴の底部と、穴内周面には金属被覆部が存在するこ
とから、溶融金属は第2の穴の内部に濡れ広がる。一
方、第1の穴は、第2の穴より小径であり、金属被覆部
も存在しないことから、溶融金属は第1の穴内には容易
に侵入しない。このため、溶融金属が冷えると、封止材
は第2の穴の内周面と段部とに好適に接合し、十分な接
合面積でこの第2の穴を塞ぐので、パッケージと外部と
は完全にシールされる。また、第1の穴には、溶融金属
が殆ど侵入しないから、パッケージ内まで溶融金属が達
することがなく、金属がパッケージ内部の圧電振動片に
付着するおそれは完全に回避される。
ての圧電振動子の好ましい実施の形態を、圧電振動片に
音叉型の水晶振動片を用いた、時計用の32.768K
Hz水晶振動子を例として、図面を参照して説明する。
動子11の平面図、図1(b)は圧電振動子11の正面
図である。
ク基板1a,1bが積層されたベース1の表面に金属が
被覆され、その表面にNi及びAuメッキが施された電
極部2a、2bが間隔dを有して形成されている。
ば、セラミックグリーンシートを成形して焼結した酸化
アルミニウム質焼結体が使用される。
面に駆動用の金属電極が形成された圧電振動片としての
例えば音叉型の水晶振動片3の電極部4a、4bを、ア
ライメントしてマウントし、導電性の接着剤5で電気的
に接続固定している。
(蓋)6をベース1にアライメントして封止材7を用い
て、加熱手段としてのビームの照射手段,例えばレーザ
ー装置あるいは電子ビーム装置等により、あるいは加熱
炉等により、封止材7を溶かして第一の封止加工をす
る。これにより、水晶振動片3をベース1と蓋体6でな
るパッケージ15に封入している。
されているように、後述するパッケージの内部と、外部
を連通する開口部8が形成されている。この場合、開口
部8は、ベース1側に設けられており、例えばベース1
の上面から下面に貫通するように設けられている。
向けて、次の加工を行う工程が示されている。
より、ひとつの水晶基板から、同一の外形を備えるよう
に、各水晶振動素片が多数配列された状態で形成され
て、さらに、各水晶振動素片の表面に、Cr+Au等
(例えば、Cr膜の上にAu膜をスパッタ加工する)の
金属膜を電極として形成している。この金属膜の一部に
AuあるいはAg等の金属膜をさらに形成し、重み効果
により、水晶振動片の振動周波数を所望の振動周波数よ
りもある一定の量で低くしてある。
取られ、図1に示すベース1にマウントされ、蓋体6を
用いて封止される。このようにマウント、封止という加
工プロセスによる熱履歴や、それによる応力の発生、あ
るいは封止剤からでるアウトガス等の影響で、水晶振動
片3の共振周波数が変化してしまう。そのため封止後の
周波数調整が必要であり、その周波数調整は精度良く行
わなければならない。
して、周波数調整手段としての高温の光ビーム等を集束
させる手段,例えばレーザービーム発生装置あるいは電
子ビーム発生装置13により、音叉型の水晶振動片3の
一部の金属電極部分を蒸散させ、水晶振動片3全体の重
さを減じて、周波数調整を行う。
に図1(b)に示すような封止用の金属製等でなる封止
材としての小片9を搭載し、例えば第一の封止と同様に
レーザービーム発生装置あるいは電子ビーム発生装置等
により、封止材9を溶かして、真空雰囲気中で第二の封
止加工を行う。
ジの水晶振動子11が完成する。
する真空領域Sは、ベース1の単一層部12(上側の基
板1b)と金属製の絞り加工された蓋体6に囲まれてお
り、その気密性は非常に高いものとなる。つまり、真空
領域Sは、ベース1の単一層部12と金属製の絞り加工
された蓋体6とだけから仕切られているので、この真空
領域S内に例えばベースを構成する複数のセラミック基
板の継ぎ目等がなく、その分気密性を保持しやすい。
ース1に形成する開口部8について、図3(a)を参照
しながら詳細に説明する。
して、その開口部8付近を拡大して示した断面図であ
る。図示されているように、ベース1には、例えば内径
がL1である第1の穴21と、内径が第1の穴21より
も大きいL2である第2の穴22が段差部23を介して
連続して、貫通穴25を形成している。
bには第1の穴である貫通穴21が形成され、第1の基
板1aには、この貫通穴21より大きい第2の穴である
別の貫通穴22が形成されていて、両貫通穴21と22
の境界には、段差部23が形成されている。
属被覆部24aが、第2の穴22の底部である上記段差
部23には、金属被覆部24bが設けられている。
このような金属被覆部を設けないで、セラミック材料が
露出した状態とされている。
は、例えば、メタライズパターンの上にさらに金属材料
をメッキして形成される。そして、この金属被覆部24
a,24bは、封止材9の材料を含んだ金属材料を用い
るが、封止材9との濡れ性を良好とすることができるの
で好ましい。
ば、図示されているような球形の封止材を用いて、金
(Au)と錫(Sn)による合金を使用している。ま
た、金属被覆部24a,24bはタングステンメタライ
ズによる下地層の上に金メッキを被覆して形成されてい
る。封止材9の材料としては、この他に、Sn系金属、
Pb−Sn系、Ag系、Pd系、Al系、AlMg系等
の金属材料を用いることができる。
示すように開口部8に入れて、後述するように封止用の
ビームを照射して、封止材9を溶融する。
3と、穴22内周面には金属被覆部24a,24bが存
在することから、溶融金属は第2の穴22の内部に濡れ
広がる。この時、上述したように、第1の穴21は、第
2の穴22より小径であり、金属被覆部も存在しないこ
とから、溶融金属は第1の穴21内には容易に侵入しな
い。
ように、硬化した封止材9aは第2の穴22の内周面と
段部23とに好適に接合し、十分な接合面積でこの第2
の穴22を塞ぐので、パッケージと外部とは完全にシー
ルされる。また、第1の穴21には、溶融金属が殆ど侵
入しないから、封止の際に溶融金属が貫通穴25内で必
要以上に濡れ広がり、図4のBの面を越えてパッケージ
内まで溶融金属が垂れてしまうことがなく、溶融金属が
パッケージ内部の圧電振動片に付着するおそれは完全に
回避される。
は、第2の穴22の容積と一致させるようにする。これ
により、封止後、硬化した封止材9aが図4のAの面を
越えて固まることがない。すなわち、このAの面を越え
ると、図1の圧電振動子11を表面実装する場合に実装
がしにくい場合がある。封止材9の体積を第2の穴22
の容積と一致させておけば、溶融金属が硬化したとき
に、封止材9aが第2の穴22内に十分濡れ広がった状
態で硬化し、かつAの面を越えて固まることが防止され
る。
封止作業に無理がない限りにおいて、封止材9は、図3
の球形に限らず、円板状や偏平な円柱状,もしくは角柱
状等種々の形態を採用することができる。
を示している。
の内周面をA面側へ向かって広がるような傾斜面として
もよい。これにより、球形の封止材9の位置決めがしや
すいので、封止作業におけるセット性が向上する。
は、第1の穴21の内径L1を0.3mm以下とする
と、以下の利点がある。
3mm以下という十分小さな穴径であっても、パッケー
ジ内の空気を抜いて、内部の真空封止を行う工程におい
て、空気抜きの穴として確実に作用することができる。
止材9がその表面張力により、極めて小さな穴である第
1の穴21を通過することができず、図4のB面側に垂
れてしまうことが確実に防止できる。したがって、第1
の穴21の内径は、0.3mm以下であることが好まし
く、上記真空引きが可能であれば、小さい程よい。
ることにより、ベース1を構成する第2の基板1bの剛
性が、このような穴を形成することで極端に低下するこ
とがないので、この基板1bの厚みを薄くすることが可
能となる。
れない図8及び図9で説明した他の形態と比べると以下
のように異なっている。すなわち、図8及び図9では、
第1の穴117の穴径L1が0.3mmよりも大きく0
・35mmであり、第2の穴116の穴径L2を0・6
5mmとした場合、パッケージ強度を考えると、第1の
基板の厚みt1も第2の基板の厚みt2もともに0.2
5mm程度必要であった。
おいて、第1の穴21の穴径L1が0.3mmよりも小
さく0・15mmであり、第2の穴22の穴径L2を0
・4mmとした場合、パッケージ強度を図8,図9と同
程度するためには、第1の基板1bの厚みt1は、0.
1mmでよく、第2の基板の厚みt2もともに0.15
mm程度ですむ。
と、本実施形態は、基板1の厚みが半分程度ですむこと
になり、その分圧電振動子11総厚の薄型化をはかるこ
とができる。次に、開口部8に封止材としての封止材9
を搭載し、真空封止を行う上述の第2の封止加工のプロ
セスについて詳細に説明する。図5に示されているよう
に、この真空封止手段40は、真空チャンバー31と、
第1の加熱手段33を備え、さらに、パッケージ15の
例えば蓋体6に接触するように配置された第2の加熱手
段42を備えている。
と第2の加熱手段42を制御する。真空チャンバー31
内にはパッケージ15が収容されている。この状態で真
空チャンバー31内は高真空にされている。尚、真空チ
ャンバー31内は、水晶振動片が音叉型の場合には真空
雰囲気とすることが好ましく、また矩形状AT振動片の
場合には、真空雰囲気か不活性ガスが充填されているこ
とが好ましい。
の隔壁またはカバー32は、透明になっている。そし
て、このカバー32側に、パッケージ15の開口部8が
対向するように配置収容されている。
には、第1の加熱手段33が配置されている。加熱手段
33は、例えば、水平なXY方向と上下のZ方向に3軸
ロボット等の駆動手段により駆動されるようになってい
る。この加熱手段33は、例えば、駆動手段34とこの
駆動手段34に接続されたビームの照射手段35を備え
ている。そして、真空チャンバー31の外部には、第1
の加熱手段33が配置される側に、例えばCCD(電荷
結合素子)等を利用した撮像手段36と、この撮像手段
36による撮像結果が入力され画像処理を行う制御手段
37とが設けられている。これにより、図示するように
真空チャンバー31の外部から、開口部8の位置及び封
止部材9の状態を撮像し、この撮像結果に基づいて制御
手段37は、駆動手段34を介して、ビーム照射手段3
5を適切な位置に移動させるようになっている。
制御手段41に接続されている。
体熱源としてカーボンヒータ等のヒータブロックで構成
されていてもよい。
パッケージ15を封止材9の融点以下,例えば、摂氏1
00度乃至270度に加熱した状態にて、第二の真空封
止を行うことができる。
段42に通電して、パッケージ15を加熱する。この熱
はパッケージ15に接触している封止材9に伝えられ、
この封止材9が、例えば摂氏200度程度になるまで昇
温させる。この場合、封止材9の温度を、例えば赤外線
温度計等を用いて非接触で計測して、加熱制御手段41
に与えるようにしてもよいし、加熱制御手段41は、予
め実験したデータを保持していて、加熱時間と昇温スピ
ードから封止材9の温度を知るようにしてもよい。
熱時間は、封止材9の加熱溶融に先立って、5分ないし
10分程度が好ましい。この時間設定によれば、蓋体6
の封止剤7や接着剤5から発生する有害なアウトガスを
予め真空引きしてしまうことができる。
ムやレーザービームを照射するようになっており、この
実施形態の場合には、例えば大容量レーザのレーザビー
ムを真空チャンバー31のカバー32に対して照射する
ようになっている。
して上記XYZの適宜の方向に移動させて、図5に示す
ように、撮像手段36による撮像結果に基づいて、真空
チャンバー31に対して位置合わせし、駆動手段34を
駆動して、ビームの照射手段35から例えばレーザ光ビ
ームを照射する。この光ビームは、透明なカバー32を
透過して、封止材9に照射され、これを加熱溶融させ
る。このようにして、封止材9は、加熱溶融され、溶融
金属が開口部8の貫通穴25を塞ぐことにより、真空雰
囲気中で、第2の封止加工が行われる。
は、以下の作用を発揮する。
ザビーム等のビーム加熱により行うようにしたから、極
めて小型に形成される圧電振動子11のパッケージ15
に形成される小さな開口部8に対して、ビームの照射手
段35を適切に位置合わせして、レーザービームを照射
して加熱することができる。したがって、封止作業の自
動化が容易で、正確な封止作業を行うことができる。
は、レーザービームの照射により行われるから、照射手
段35はパッケージ15に対して接触することなく、こ
のためパッケージ15を汚すことがない。さらに、必要
な加熱パワーの調整は、レーザ出力の変更により容易且
つ短時間に行うことができ、しかも、作業状態を画像処
理して観察しながら行うことができる。
で、熱伝導を必要とする加熱ピン等の当接によらないか
ら、加熱温度のばらつきが無く、封止材9の溶融ムラや
リークの発生がない。しかも、加熱温度は、加熱ピンの
場合などに比べると瞬時に立ち上げることでき、迅速で
正確な封止作業が可能となる。
十分なパワーを有するひとつのビーム発生源から、図示
しないビームスプリッタ等を介在させることによって、
複数の分割光ビームに分けることができ、各分割光ビー
ムをファイバー等によって照射する複数の照射手段を設
けることができる。これにより、第2の封止工程を並列
的に処理して極めて効率のよい製造ラインを形成するこ
とができる。
ことにより、作業中に転がりにくく、取扱いが容易で、
その分第2の封止工程における作業の確実性が向上す
る。
トガスの発生をより有効に防止できるとともに、封止材
9の溶融状態をより良好とすることができる。
略してもよく、例えば、第2の加熱手段42を省略した
簡便な方法を採用してもよい。あるいは、これとは全く
異なる装置により、封止ビームあるいは加熱ピンの接触
等により、封止材9を溶融して封止するようにしてもよ
い。図6は、圧電振動子の別の構成例を示しており、図
6の圧電振動子51において、図1の圧電振動子11と
同一の符号を付した箇所は共通の構成であるから、重複
する説明は省略して、相違点のみ説明する。
場合と異なり、蓋体をガラスリッド56によって構成し
ている。この場合、ベース1は、3層構造とされ、2層
のセラミック基板1a,1bの上にさらに、3層目のセ
ラミック基板1cを重ねて形成している。この場合、3
層目のセラミック基板1cは、2層のセラミック基板1
a,1bの周囲の部分だけを囲んで、内部に空間Sを形
成している。そして、3層目のセラミック基板1cの上
端に封止材7を介して、ガラスリッド56を載置し、封
止固定するようにしている。
動子51では、その内部の圧電振動片3を開口部8から
ではなく、ガラスリッドで形成した蓋体56を介して、
図6(b)の上側から、レーザービーム等により、周波
数調整することができるという利点がある。本発明は上
述の実施形態に限定されず、その構成要素を任意に省略
したり、あるいは、記載のない異なる構成を付加するこ
とができる。更に、上述の封止剤7については、その成
分はAu−Sn系、Sn系、Pb−Sn系、Agロウ系
等の金属材料や、有機系の低融点ガラス、有機系の接着
剤等でよい。又、封止剤7の形態は、クラッドされたも
のやプリフォームされたものでもよい。以上のような構
成によれば、第一の封止工程と周波数調整工程及び第二
の封止工程は、レーザー装置等での共通加工することも
可能であり、同一装置による一貫加工が行える。また、
加工するセラミックのベース1や蓋体6,56の形態は
単品、あるいは複数個が並んだプレート形態のどちらで
もよい。また、パッケージに発振回路等を有するICチ
ップと水晶振動子を内蔵した水晶発振器や、リアルタイ
ムクロックオシレータ等、本発明は、パッケージ内に圧
電振動片を収容して封止するあらゆる圧電デバイスに、
適用することができる。
ッケージに形成した、大径の穴と小径の穴とからなる段
付き貫通穴に封止材を適用して封止する構造でなる圧電
デバイスにおいて、大径の穴内に密着して、十分な接合
面積を得ることで気密性にすぐれ、かつ小径の穴からパ
ッケージ内部に封止材が入り込んで、振動性能を損なう
ことがない圧電デバイスとその製造方法を提供すること
ができる。
であり、(a)は圧電振動子の概略平面図、(b)は圧
電振動子の概略側断面図。
図。
止した状態を示す拡大断面図。
手段を示す概略構成図。
示す図であり、(a)は圧電振動子の概略平面図、
(b)は圧電振動子の概略側断面図。
の平面図、(b)はその概略側断面図。
により、圧電振動子の開口部を溶融金属による封止した
状態を示す拡大断面図。
により、圧電振動子の開口部を溶融金属による封止した
状態を示す拡大断面図。
Claims (7)
- 【請求項1】 圧電振動片を搭載したベースと、この圧
電振動片を内部に収容するようにして、前記ベースに固
定される蓋体とでパッケージを形成するようにした圧電
デバイスであって、 前記パッケージの一部に所定の内径を備えパッケージ内
に開口した第1の穴と、これより大きな内径を備え外部
に開口した第2の穴を備えた段付きの開口部を有し、 前記第2の穴の底部である段部と、この第2の穴の内周
面には、それぞれ金属被覆部が設けられており、 かつ前記開口部内に封止材が適用されて封止されている
ことを特徴とする、圧電デバイス。 - 【請求項2】 少なくとも、前記第2の穴は、外に向か
って開く傾斜面を備えることを特徴とする、請求項1に
記載の圧電デバイス。 - 【請求項3】 前記第1の穴の穴径が0.3mm以下で
あることを特徴とする、請求項1に記載の圧電デバイ
ス。 - 【請求項4】 前記ベースが2枚以上のセラミック製の
板体で形成され、前記蓋体が内部に前記圧電振動片を収
容する空間を備える金属製の蓋体であることを特徴とす
る、請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電デバイ
ス。 - 【請求項5】 前記ベースが上部が開口した箱状であ
り、前記蓋体が前記ベースに載置されるガラス板または
セラミック板でなることを特徴とする、請求項1ないし
3のいずれかに記載の圧電デバイス。 - 【請求項6】 前記金属製封止材が金(Au)と錫(S
n)による合金であり、前記金属被覆部がニッケルメッ
キによる下地層の上に金メッキを被覆して形成されてい
ることを特徴とする、請求項1ないし5のいずれかに記
載の圧電デバイス。 - 【請求項7】 圧電振動片をベースにマウントする工程
と、 前記ベースと蓋体とを位置決めし封止する工程と、 前記ベース又は蓋に設けられた開口部を用いて、前記圧
電振動片の一部をレーザー光又は電子ビームにより周波
数調整する工程と、 前記ベースの一部に形成され、所定の内径を備えパッケ
ージ内に開口した第1の穴と、これより大きな内径を備
え外部に開口した第2の穴とを備えた段付きの開口部で
あって、この第2の穴の底部である段部と、この第2の
穴の内周面に予め金属被覆部が設けられた箇所に金属製
の封止材を配置し、 外部からレーザー光又は電子ビームによる封止用ビーム
によりこの封止材を加熱することにより真空雰囲気中で
真空封止する工程とを有することを特徴とする圧電デバ
イスの製造方法。
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Publication Number | Publication Date |
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