JP2007221804A - 音叉型圧電振動片、音叉型圧電振動子および音叉型圧電振動片を得る圧電ウエハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基部22と前記基部22の一端から延びてなる振動腕部24とを有する圧電振動片本体26と、前記基部22の他端に接続された支持部28とを備え、前記支持部28は、前記基部22の他端に沿って形成した短辺部30と、前記短辺部30の一側の端部および両側の端部のいずれかから前記圧電振動片本体26の長手方向に沿って延設した長辺部32と、実装用のアライメントパターン36とを有し、前記アライメントパターン36は、パッケージ側マウント電極18bに対応するように、前記長辺部32の先端側に部分的に配設されている。
【選択図】 図1
Description
これにより、前記音叉型圧電振動片が変形することなく、また周波数特性の変化
を防止する技術である。
このパッケージ12に音叉型圧電振動片20を実装するときは、短辺部30および長辺部32に設けられた前記接続電極とパッケージ側マウント電極18a、18bとを導電性接着剤42により接合する。
また、音叉型圧電振動片20は、前記従来の音叉型圧電振動片に比べて外形寸法が小さいので、一枚の圧電ウエハから取れる音叉型圧電振動片20の数を多くすることができる。図3に音叉型圧電振動片20の取れ数を説明する図を示す。図3(a)は従来の四方を枠部で囲繞した音叉型圧電振動片の圧電ウエハ上のパターンを示し、図3(b)はL型の支持部28を有する音叉型圧電振動片20の圧電ウエハ上のパターンを示す。このような音叉型圧電振動片20を等間隔にパターン形成し、前記従来の音叉型圧電振動片の取れ数を100とした場合、支持部28を有する音叉型圧電振動片20の取れ数は145となる。これにより、1枚の圧電ウエハから、従来よりも45%多く音叉型圧電振動片20を取ることができる。
音叉型圧電振動片70aの圧電振動片本体73は基部71の一端から延びる振動腕部72からなり、支持部74は基部71の他端に沿う短辺部75と、この短辺部75の両端から圧電振動片本体73の長手方向に沿う長辺部76とからなる。(図7(a))。また、音叉型圧電振動片70bは圧電振動片本体73および支持部77からなり、支持部77は基部71の前記他端に沿う短辺部78と、この短辺部78の両端から圧電振動片本体73の長手方向の沿う長辺部79とからなる。この長辺部79は圧電振動片本体73の長辺の長さよりも短くしてあり、例えば圧電振動片本体73の半分程度の長さである。(図7(b))。この音叉型圧電振動片70a、70bをパッケージに実装するときは、短辺部75、78の下面、および2本の長辺部76、79先端下面を導電性接着剤によりパッケージに接合すれば、パッケージの底面に対してより水平を保って実装することができる。
………パッケージ側マウント電極、20………音叉型圧電振動片、22………基
部、24………振動腕部、26………圧電振動片本体、28………支持部、30
………短辺部、32………長辺部、34………切込み溝。
Claims (6)
- 基部と前記基部の一端から延びてなる振動腕部とを有する圧電振動片本体と、前記基部に接続された支持部とを備え、
前記支持部は、前記基部の他端に沿って形成した短辺部と、前記短辺部の一側の端部および両側の端部のいずれかから前記圧電振動片本体の長手方向に沿って延設した長辺部と、実装用のアライメントパターンとを有し、
前記アライメントパターンは、パッケージ側マウント電極に対応するように、前記長辺部の先端側に部分的に配設されていることを特徴とする音叉型圧電振動片。 - 前記圧電振動片本体と前記短辺部とが接続した部分に切込み溝を設けたことを特徴とする請求項1に記載の音叉型圧電振動片。
- 前記長辺部は前記圧電振動片本体の長さより短くしてあることを特徴とする請求項1又は2に記載の音叉型圧電振動片。
- 前記支持部は、前記長辺部が前記短辺部の一側の端部から延設されたものであり、前記長辺部の先端に前記短辺部に対向して設けた第二短辺部を有するコ字状に形成してあることを特徴とする請求項1又は2に記載の音叉型圧電振動片。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の音叉型圧電振動片が、マウント部を介してパッケージに実装され、前記パッケージの上部に蓋体を接合されてなることを特徴とする音叉型圧電振動子。
- 請求項3に記載の音叉型圧電振動片のパターンを複数有してなる圧電ウエハであって、
前記パターンが、長辺部の先端部を向かい合わせるようにして交互に並べ設けられていることを特徴とする音叉型圧電振動片を得る圧電ウエハ。
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