JP5085682B2 - 圧電デバイス - Google Patents
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Description
以下、本発明の各実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下の各実施形態において、振動腕が伸びる方向をY軸方向とし、振動腕の腕幅方向をX軸方向とし、そのX軸およびY軸方向と直交する方向をZ軸方向とする。
図1(a)は第1音叉型水晶振動片100の平面図である。第1音叉型水晶振動片100は基部23と、基部23からY軸方向に伸びる振動腕21と、さらに振動腕21の両側で基部23からY軸方向に伸びる支持腕22とで構成されている。図1(b)は(a)のA−A’断面図である。
図2(a)は蓋体53が取り外された第1圧電デバイス50の平面図であり、図2(b)は第1圧電デバイス50のB−B’断面図である。第1圧電デバイス50はパッケージPKGのキャビティCAV内に第1音叉型水晶振動片100を入れ、真空状態で蓋体53とパッケージPKGとを封止材54により接合して形成される。
図3(a)は、第1音叉型圧電振動片100の重心Gを通る直線上に接合部35が配置される図である。第1音叉型圧電振動片100の重心Gを通るO−O’直線上に接合部35の中心点O1,O2が存在する。この接合部35の中心点O1,O2で第1音叉型圧電振動片100を支持すれば硬化していない導電性接着剤25であっても水平に保持される。また、図3(a)は、第1音叉型圧電振動片100の重心Gを通るP−P’線上に接合部35の中心点P1,P2が存在する場合を示し、さらに、第1音叉型圧電振動片100の重心Gを通るQ−Q’線上に接合部35の中心点Q1,Q2が存在する場合を示す。
図4は、第1圧電デバイス50の製造工程を示したフローチャートである。
ステップS112において、振動片用の水晶ウエハVWに、支持腕を備えた第1音叉型水晶振動片100が形成される。第1音叉型水晶振動片100の外形と溝部24との形成は、公知のフォトリソ・エッチング技術で形成される。
ステップS122では、ベース用シートと電極パッド55が形成された底板用シート及び枠状に形成された縁部を備えるキャビティ用シートからなるセラミックシートが用意される。底板用シートには、タングステンペーストがスクリーン印刷方式などにより印刷され、接続電極59が形成される。またベース用シートには、タングステンペーストがスクリーン印刷方式などにより印刷され、外部電極51が形成される。
図5(a)は、蓋体53が取り外された第2圧電デバイス60の平面図であり、(b)は、(a)に示した第2圧電デバイス60のC−C’断面図である。第2圧電デバイス60は、パッケージPKGの底面BTに設けられた電極パッドが4か所となり、第1圧電デバイス50の電極パッド数より増えている点が異なっている。第2圧電デバイス60の電極パッドは、電極パッド55及び電極パッド65から構成されている。以下、第1圧電デバイス50と異なる部分について説明する。
図6(a)は、蓋体53が取り外された第3圧電デバイス70の平面図であり、(b)は、(a)に示した第3圧電デバイス70のD−D’断面図である。第3圧電デバイス70は、パッケージPKGの底面BTに第1凹部71及び第2凹部72が設けられた点が、第1圧電デバイス50と異なっている。以下、第1圧電デバイス50と異なる部分について説明する。
図7(a)は、第2音叉型圧電振動片110の平面図であり、(b)は、(a)に示した第2音叉型圧電振動片110のE−E’断面図である。第2音叉型圧電振動片110は、支持腕22に幅広の接続部領域39が設けられた点が第1音叉型圧電振動片100と異なっている。以下、第1音叉型圧電振動片100と異なる部分について説明する。
図8(a)は、第4圧電デバイス80の平面図であり、(b)は、(a)に示した第4圧電デバイス80のF−F’断面図である。第4圧電デバイス80は、パッケージPKGの底面BTに柱状凸部58が設けられた点が第1圧電デバイス50と異なっている。
23 … 基部,24 … 溝部
25 … 導電性接着剤
26 … 根元部
27 … 接続端部
28 … 振動腕幅広部
29 … 支持腕幅広部
31,32 … 基部電極
33,34 … 励振電極
35 … 接合部
39 … 接続部領域
50 … 第1圧電デバイス
51 … 外部電極
53 … 蓋体
54 … 封止材
55,65 … 電極パッド
57 … 枠部
58 … 柱状凸部
59 … 接続電極
60 … 第2圧電デバイス、70 … 第3圧電デバイス
71 … 第1凹部、72 … 第2凹部
80 … 第4圧電デバイス
100 … 第1音叉型水晶振動片、110 … 第2音叉型水晶振動片
BT … 底面
CAV … キャビティ
G … 重心
LW … リッド用カバーウエハ、VW … 振動片用の水晶ウエハ
PKG … パッケージ
Claims (9)
- 基部と、前記基部から所定方向に伸びた一対の振動腕と、前記一対の振動腕の両外側で前記基部から前記所定方向に伸びて形成される同じ長さの一対の支持腕と、前記一対の支持腕に配置された一対の接合部のみとを有する圧電振動片と、
前記圧電振動片を収容する底面とその底面を囲む側面とを有し、前記接合部に対応する一対の電極パッドが前記底面に形成されたパッケージと、
前記一対の電極パッドのみと前記一対の接合部のみとをそれぞれ接着する接着剤と、を備え、
前記接着剤が接着された前記一対の電極パッドの一方の電極パッドの位置と他方の電極パッドの位置とが前記所定方向にずれており、前記圧電振動片の重心に対して、前記重心を通る直線上に前記接合部が配置されている圧電デバイス。 - 前記一対の電極パッドは、前記所定方向に幅を有する台座で形成されており、前記接着剤が接着された一方の電極パッドの位置と前記他方の電極パッドの位置とが前記所定方向に直交する水平方向から見て互いに重ならない位置に配置されている請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記一対の支持腕の先端に前記所定方向と交差する方向である前記支持腕の幅よりも広い幅の支持腕幅広部が形成される請求項1又は請求項2に記載の圧電デバイス。
- 前記接合部は、前記支持腕の前記所定方向の長さの途中に配置される請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
- 前記一対の電極パッドは、前記パッケージ内に前記圧電振動片を配置する際の位置決めマークであり、この位置決めマークを検知して前記圧電振動片が前記パッケージ内に載置される請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
- 前記振動腕の前記所定方向の先端に対応する前記底面には、前記底面より掘り下げられた第1凹み部が形成され、
前記基部の前記振動腕が伸びる反対側に対応する前記底面には、前記底面より掘り下げられた第2凹み部が形成される請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の圧電デバイス。 - 前記パッケージは前記パッケージの外側下面に形成された外部電極を有し、
前記電極パッドは前記外部電極と接続する接続電極を有し、
前記圧電振動片は前記振動腕に形成され前記振動腕を振動させる励振電極と前記支持腕に形成され前記励振電極から引き出された引出電極とを有し、
前記接着剤は導電性の導電性接着剤を含み、
前記導電性接着剤は前記引出電極と前記接続電極とを電気的に接続する請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の圧電デバイス。 - 前記パッケージ内の底面には、前記一対の電極パッドの間に配置され前記所定方向に伸びる柱状凸部が形成される請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
- 前記パッケージは、セラミック、ガラス又は圧電材料で形成される請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
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