JP2006203458A - 圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】 圧電振動片の厚み方向の振れを有効に防止して、優れた振動特性を備えた圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 互いに平行に延びる複数の振動腕３４，３５を支持する基部５１と、この基部５１から縮幅したネック部５４を介して、振動腕３４，３５と平行に延びる固定用腕３７，３８とを備えた圧電振動片２０であって、固定用腕３７，３８は、重心ＧＰ２を通る振動腕３４，３５の幅方向の仮想線ＧＰ３上の位置で基体と接合される接合部２０，２０を有し、この接合部２０，２０は、振動腕３４，３５の延びる方向に沿って、圧電振動片３２の全長Ｌ１に対して２５％以上の長さにわたり形成されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、振動腕を支持する基部とは別に、圧電振動片をパッケージに接合するための固定用腕を有する圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイスに関する。

図７および図８は、従来の圧電デバイス１であり、図７は圧電デバイス１の概略平面図、図８は図７のＡ−Ａ線概略切断断面図である。
これらの図において、圧電デバイス１は圧電振動子の例を示しており、パッケージ２内に圧電振動片３が収容されている。

圧電振動片２は、互いに平行に延びる一対の振動腕５，５と、この振動腕５，５を支持する基部４とを有している。
基部４からは、振動腕５，５と平行に延びる固定用腕６，６が一体的に形成されており、さらに、振動腕５，５と反対の方向にはバランス部７が一体的に形成されている。
そして、固定用腕６，６は、圧電振動片２の重心ＧＰを通る幅方向の仮想線ＧＰ１上に、接着剤１０，１０を適用してパッケージ２側のマウント電極１２，１２と接合されている。

これにより、圧電振動片２の長手方向について、仮想線ＧＰ１を中心にして両端部のバランスをとって、圧電振動片２の厚み方向（図８の矢印方向）の振れを防止している。したがって、圧電振動片２の両端部がパッケージ２の内側底面２ａに接触することで生ずる欠けや割れを防止できるようになっている。

特開２００４−２９７１９８公開特許公報

しかし、圧電デバイス１のように、圧電振動片３を重心ＧＰを通る幅方向の仮想線ＧＰ１上に、接着剤１０を適用してパッケージ２と接合すると、外部から衝撃を受けた場合に、図８に示すように、仮想線ＧＰ１の位置の接着剤１０が支点となってしまい、圧電振動片３が厚み方向に振れる恐れがある。

本発明は、圧電振動片の厚み方向の振れを有効に防止して、優れた振動特性を備えた圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイスを提供することを目的とする。

上述の目的は、第１の発明によれば、互いに平行に延びる複数の振動腕を支持する基部と、この基部から縮幅したネック部を介して、前記振動腕と平行に延びる固定用腕とを備えた圧電振動片であって、前記固定用腕は、重心を通る前記振動腕の幅方向の仮想線上の位置で基体と接合される接合部を有し、この接合部は、前記振動腕の延びる方向に沿って、前記圧電振動片の全長に対して２５％以上の長さにわたり形成されている圧電振動片により達成される。

第１の発明の構成によれば、固定用腕は、重心を通る振動腕の幅方向の仮想線上の位置で基体と接合される接合部を有しているので、従来と同様に、圧電振動片は、この仮想線上を中心にして、振動腕の長手方向の両端部のバランスをとることができる。
さらに、この固定用腕の接合部は、振動腕の延びる方向に沿って、圧電振動片の全長に対して２５％以上の長さにわたり形成されている。このため、固定用腕の基体に固定される領域は、振動腕の延びる方向に長く形成され、振動腕の延びる方向について、圧電振動片の揺動可能な自由部分を少なくすることができ、外部から衝撃を受けた場合であっても、この揺動可能な自由部分の揺動を基体に触れない程度に小さくすることができる。
かくして、圧電振動片の厚み方向の振れを有効に防止して、優れた振動特性を備えた圧電振動片を提供することができる。

また、上述の目的は、第２の発明によれば、互いに平行に延びる複数の振動腕を支持する基部を有するとともに、この基部から縮幅したネック部を介して、前記振動腕と平行に延びる固定用腕を有する圧電振動片と、前記固定用腕を接合して前記圧電振動片を収容するようにしたパッケージとを備えた圧電デバイスであって、前記固定用腕は、重心を通る前記振動腕の幅方向の仮想線上の位置で前記パッケージと接合される接合部を有し、この接合部は、前記振動腕の延びる方向に沿って、前記圧電振動片の全長に対して２５％以上の長さにわたり形成されている圧電デバイスにより達成される。

第２の発明の構成によれば、固定用腕は、重心を通る振動腕の幅方向の仮想線上の位置でパッケージと接合される接合部を有し、この接合部は、振動腕の延びる方向に沿って、圧電振動片の全長に対して２５％以上の長さにわたり形成されている。このため、第１の発明と同様に、振動腕の長手方向の両端部のバランスをとることができるだけでなく、外部からの衝撃を受けた場合、圧電振動片の振動腕の長手方向の両端部の揺動をパッケージに触れない程度に小さくすることができる。したがって、圧電振動片の厚み方向の振れを有効に防止して、優れた振動特性を備えた圧電デバイスを提供することができる。

第３の発明によれば、第２の発明の構成において、前記接合部は、前記圧電振動片の前記ネック部側の端部から所定の距離を有するように離れていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、接合部はネック部側の端部から所定の距離を有するように離れているため、固定用腕のパッケージと接合される領域を大きく取り過ぎるあまり、接合部とネック部側の端部との距離が近づきすぎて、いわゆる振動漏れが生ずることを有効に防止できる。

第４の発明によれば、第３の発明の構成において前記所定の距離は、前記圧電振動片の全長に対して１０％以上であることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、所定の距離は、圧電振動片の全長に対して１０％以上である。したがって、第２の発明の作用効果を発揮しつつ、振動漏れの発生を有効に抑制できるだけの距離を確保して、優れた振動特性を発揮する圧電デバイスを提供できる。

第５の発明によれば、第２ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記接合部は、少なくともその長手方向の両端が前記パッケージと接合されており、前記接合部の全域は前記パッケージと接合されていないことを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、接合部は、少なくともその長手方向の両端がパッケージと接合されているので、接合部はパッケージに固定され、この接合部の両端より外側の揺動可能な自由部分は、第２の発明と同様に小さくなっている。したがって、第１の発明と同様の作用効果を発揮する。しかも、接合部の全域はパッケージと接合されていないので、第１の発明に比べて接着剤等を少量とすることができ、例えば接着剤を硬化させる際に発生するガスを抑制することができる。

第６の発明によれば、第２ないし第５の発明のいずれかの構成において、前記接合部を前記パッケージに接合するための部材は、シリコーン系の導電性接着剤であることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、接合部をパッケージに接合するための部材は、シリコーン系の導電性接着剤であるため、導電性接着剤を用いる場合においては、比較的、広い温度範囲で安定した振動特性が得られ、また、その柔軟性から、外部からの衝撃を吸収することができる。

第７の発明によれば、第２ないし第５の発明のいずれかの構成において、前記接合部を前記パッケージに接合するための部材は、バンプであることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、接合部をパッケージに接合するための部材は、バンプであるので、圧電振動片とパッケージとの導通の安定性を向上することができる。

図１および図２は、本発明の実施形態に係る圧電デバイス３０であって、図１は圧電デバイス３０の概略平面図、図２は図１のＢ−Ｂ線概略切断断面図である。
尚、圧電デバイスとは、圧電振動子や圧電発振器等の名称にかかわらず、パッケージ内に圧電振動片を収容した全ての製品を意味する。
また、図１および図２の平行斜線で示した部分は、理解の便宜のために示したものであり、断面等を表すものではない。

これらの図の圧電デバイス３０は圧電振動子を構成した例を示しており、圧電デバイス３０は、基体であるパッケージ３６内に圧電振動片３２を収容している。
パッケージ３６は、矩形状となっており、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される第１の基板３６ａおよび第２の基板３６ｂを積層した後、焼結して形成されている。

第１の基板３６ａは、その内側に所定の孔を形成することで、第２の基板３６ｂに積層した場合に、パッケージ３６の内側に所定の内部空間Ｓ２を形成するようにされている。この内部空間Ｓ２が、圧電振動片２７を収容するためのキャビティとなる。
また、第１の基板３６ａの図２において上部に開口した側の開口端面には、低融点ガラス等のロウ材４８が適用されて蓋体３９により封止されている。蓋体３９は、蓋封止した後であっても、圧電振動片３２に設けられた励振電極あるいは錘等にレーザ光をあてて、質量削減方式で周波数調整できるように、光を透過する材料、例えばガラスから形成されている。

なお、パッケージ３６は、例えば、第２の基板３６ｂを基体として、これに圧電振動片３２を接合し、厚みの薄い箱状のリッドないしは蓋体をかぶせて封止する構成としたパッケージ（収容容器）を用いてもよい。

第２の基板３６ｂの内部空間Ｓ２に露出する面、すなわちパッケージ３６の内側底面には、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキで形成した一対のマウント電極３１，３１が設けられている。このマウント電極３１，３１は、圧電振動片３２に駆動電圧を供給する電極であり、導電スルーホール等（図示せず）で実装端子部３９，３９と接続されて、互いに異極となっている。
具体的には、マウント電極３１，３１は、後述する圧電振動片３２の接合部２０，２０と対向する位置に設けられており、本実施形態では、内部空間Ｓ２における幅方向（Ｘ方向）の両端部であって、長手方向（Ｙ方向）の内壁に沿うように形成されている。

そして、マウント電極３１，３１の上に接着剤４３，４３として、シリコーン系またはエポキシ系あるいはポリイミド系等の導電性接着剤が塗布され、この接着剤４３，４３の上に圧電振動片３２が載置されて、接着剤４３，４３が硬化することで、マウント電極３１，３１と圧電振動片３２とが電気的機械的に接続されている。
なお、接着剤４３には柔軟性があり、広い温度範囲で安定した振動特性が得られるシリコーン系の導電性接着剤を用いるのが好ましい。

圧電振動片３２は、例えば水晶等で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。
本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して必要な性能を得るために、互いに平行に延びる一対の振動腕３４，３５と、この一対の振動腕３４，３５を支持する基部５１とを備えている。

振動腕３４，３５は、基部５１から二股に別れており、図１において左方に向けて細長く延びている。また、振動腕３４，３５は、表裏面のそれぞれに、長手方向（図１のＹ方向）に沿って延びる長溝が形成されており（図示せず）、断面が略Ｈ型となっている。そして、振動腕３５の長溝内には励振電極４４が形成され、この長溝内の励振電極４４と対向するようにして、振動腕３５の側面に励振電極４５が形成されている。また、振動腕３４の長溝内には励振電極４５が形成され、この長溝内の励振電極４５と対向するようにして、振動腕３４の側面に励振電極４４が形成されている。

基部５１は、一対の振動腕３４，３５を支持するための部分であり、さらに、本実施形態の基部５１は、圧電振動片３２をマウント電極３１，３１に接合するための一対の固定用腕３７，３８を支持するための部分でもある。
すなわち、基部５１からは、振動腕３４，３５と反対側の端部に、基部５１の幅を縮幅あるいは括れるようにして、基部５１よりも脆弱となるネック部５４が一体的に形成されており、このネック部５４を介して、固定用腕３７，３８が振動腕３４，３５と平行に延びるように形成されている。

具体的に、固定用腕３７は、ネック部５４の振動腕３４，３５と反対側の端部から、幅方向（Ｘ方向）にいったん延びるように形成され、幅方向について、ネック部５４から所定の長さＬ４の位置で、振動腕３４と平行になるように略直角に曲がって形成されている。また、固定用腕３８は、長手方向に延びる仮想の中心線Ｃを中心にして、固定用腕３７と対称になるように形成されている。これにより、固定用腕３７，３８は振動腕３４，３５の各外側に一対形成されて、圧電振動片３２は、長手方向に延びる仮想の中心線Ｃに関して、対称の形状とされている。

なお、この所定の長さＬ４は、固定用腕３７，３８が振動腕３４，３５に接触せず、かつ、圧電振動片３２の外形が最小となるように設定されている。すなわち、所定の長さＬ４は、振動腕３４，３５が水平方向（図１の矢印Ｆの方向）に振れる大きさと、固定用腕３７，３８の長さとの兼ね合いにおいて決定され、本実施形態では、固定用腕３７，３８の長さは、後述するようにパッケージ３６と接合する領域を加味されて設定されているので、長さＬ４は、このパッケージ３６との接合領域を加味されている。

そして、固定用腕３７には、励振電極４４が基部５１を通って引き回されており、固定用腕３８には、励振電極４５が基部５１を通って引き回され、少なくとも、マウント電極３１，３１側に電極部が形成されるようになっている。

ここで、固定用腕３７，３８のそれぞれは、マウント電極３１と接合される接合部２０を有している。すなわち、接合部２０は、パッケージ３６に対して動きを共にし、固定された揺動しない部分であり、具体的には、圧電振動片３２の重心ＧＰ２を通る振動腕の幅方向（図１のＸ方向）の仮想線ＧＰ３上の位置に設けられている。これにより、圧電振動片３２は、例えば基部５１の端部をパッケージに接合し、片持ち式に支持される構造と異なり、仮想線ＧＰ３を中心にして、長手方向（Ｙ方向）の両端３２ａ，３２ｂについて厚み方向（Ｚ方向）のバランスをとっている。
なお、図１および図２では、接合部２０，２０は、固定用腕３７，３８の先端部（基部と反対側の端部であって、図１の左側）を残すように配置されており、固定用腕３７，３８の先端部はパッケージ３６と接合されていないようになっている。これにより、固定用腕３７，３８の先端部を接合部２０に含めた場合の、接着剤塗布位置または圧電振動片３２の搭載位置のズレによって生じる接合面積の減少の恐れを防止している。

そして、この接合部２０，２０は、仮想線ＧＰ３上の位置から所定の長さＬ２にわたって、振動腕３４，３５の延びる方向（長手方向であって、図１のＹ方向）に沿って延びるように形成されている。これにより、パッケージ３６に固定されていない揺動可能な自由部分（図２の平行斜線で示す部分）が従来に比べて少なくなっており、本実施形態では、この接合部２０，２０の振動腕３４，３５の延びる方向における長さＬ２が、圧電振動片３２の全長Ｌ１に対して２５％以上となるように設定されている。なお、この２５％以上という長さＬ２は、圧電振動片３２の全長Ｌ１に対する割合であるため、圧電振動片３２の全長Ｌ１の１００％を超えることがないのは勿論である。
また、本実施形態の接合部２０，２０は、仮想線ＧＰ３上の位置から長手方向の両端側に向かって均等に延びており、図１における仮想線ＧＰ３上の位置から、先端側（左側）の長さＬ４とネック側（右側）の長さＬ５とが略同じになっている。

さらに、本実施形態の場合、接合部２０，２０は、圧電振動片３２のネック部５４側の端部（圧電振動片３２の振動腕３４，３５と反対側の端部）３２ｂから所定の距離Ｌ３を有するように離れている。すなわち、接合部２０，２０は、振動腕３４，３５の振動が基部５１およびネック部５４を介して、固定用腕３４，３５に伝達された場合であっても、その振動が十分に減衰する位置に設けられており、具体的には、所定の距離Ｌ３が、圧電振動片３２の全長Ｌ１に対して１０％以上となるように設定されている。なお、この１０％という距離Ｌ３は、圧電振動片３２の全長Ｌ１に対する割合であるため、圧電振動片３２の全長Ｌ１の１００％を超えることがないのは勿論である。
このように、固定用腕３７，３８は、接合部２０の位置（仮想線ＧＰ３の位置と端部３２ｂからの距離Ｌ３）、接合部２０の長さＬ２、ネック部５４からの距離Ｌ４を総合的に考慮して、その位置や長さを決めるようにされている。

本発明の第１の実施形態は以上のように構成されており、固定用腕３７，３８の接合部２０，２０は、重心ＧＰ２を通る仮想線ＧＰ３上の位置から所定の長さＬ２にわたって振動腕の長手方向（Ｙ方向）に延びている。このため、圧電振動片３２の長手方向における揺動可能な自由部分は少なくなって、圧電振動片２０の長手方向の両端部（図２の３２ａ，３２ｂ）の揺動を小さくすることができる。したがって、外部から衝撃を受けた場合であっても、圧電振動片３２の厚み方向（Ｚの方向）の振れを有効に防止でき、本実施形態の場合、この長さＬ２を圧電振動片３２の全長Ｌ１の２５％以上に設定したことで、図３に示すように、優れた耐衝撃性を備えた圧電デバイスを得ることができた。
すなわち、図３は、接合部２０を仮想線ＧＰ３上の位置に設けた場合において、２×１０^４Ｇ程度（１５０ｃｍの高さから１００グラムの物体を自由落下させた衝撃と同等）の衝撃を与えた場合の周波数の変化量を示す図であり、図３（ａ）は、長さＬ２が２５％未満の場合の周波数変化量、図３（ｂ）は長さＬ２が２５％の場合の周波数変化量である。この図に示すように、接合部２０の長さＬ２を２５％に設定したことで、衝撃を与える前（試験前）と与えた後（試験後）との周波数変化量は少なくなり、これにより耐衝撃性に有利となったことがわかる。

さらに、接合部２０，２０はネック部５４側の端部３２ｂから所定の距離Ｌ３を有するように離れている。したがって、接合部２０，２０の領域を大きく取り過ぎるあまり、所謂振動漏れが生じてしまうことを有効に防止でき、本実施形態のように、接合部２０の端部３２ｂからの距離Ｌ３を圧電振動片３２の全長Ｌ１に対して１０％以上とすることで、図４に示すように、振動漏れを有効に抑制できた。
すなわち、図４は、接合部２０を仮想線ＧＰ３上の位置に設けた場合において、温度変化に伴うクリスタルインピーダンス値（ＣＩ値）を示した図であり、図４（ａ）は所定の距離Ｌ３が圧電振動片３２の全長Ｌ１の１０％未満、図４（ｂ）は所定の距離Ｌ３が圧電振動片３２の全長Ｌ１の１０％である場合の図である。この図に示されるように、接合部２０の端部３２ｂからの距離Ｌ３を圧電振動片３２の全長Ｌ１に対して１０％以上とすることで、ＣＩ値の変化を抑えることができ、これにより、振動漏れによるＣＩ値の上昇を抑制できたことがわかる。

また、接合部２０が圧電振動片３２の端部３２ｂ、すなわちネック部５４から所定の長さＬ４の位置で、振動腕３４と平行になるように略直角に曲がった位置に近いと、端部３２ｂには比較的応力が集中しているので、外部から衝撃が加わった場合に、その衝撃が接合部２０に付着した接着剤４３，４３にも加わる場合がある。そうすると、接着剤４３の表面が破壊されてしまい、圧電デバイス３０の発振周波数が変化してしまう恐れがある。しかし、本実施形態の場合は、上述のように、接合部２０と端部３２ｂとの距離Ｌ３は圧電振動片３２の全長Ｌ１の１０％以上となっているので、このような接着剤４３の破壊を有効に回避することができ、安定した発振周波数を得ることができる。

図５および図６は、本発明の実施形態の変形例に係る圧電デバイス６０であって、図５は圧電デバイス６０の概略平面図、図６は図５のＣ−Ｃ線概略切断断面図である。
なお、これらの図では、理解の便宜のために、圧電振動片の表面に設けられた励振電極等の電極を省略しており、また、平行斜線で示した部分は断面等を表すものではない。
これらの図において、図１および図２の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
圧電デバイス６０が図１および図２の圧電デバイス３０と異なるは、接合部２０とパッケージ３６とを接合する構造についてである。

すなわち、図５および図６の接合部２０，２０（平行斜線で示す部分）は、その両端２０ａ，２０ｂをマウント電極３１，３１に接合することにより、接合部２０，２０はパッケージ３６に対して固定された揺動しない部分となっている。しかし、接合部２０，２０の全域は接合されておらず、接合部２０の先端側の端部２０ａと、ネック部５４側の端部２０ｂとの間は、直接、パッケージ３６と接合されていない状態となっている。
そして、本変形例の場合、接合部２０，２０をマウント電極３１，３１に接合するための部材は、例えば半田により形成されたバンプ４６，４６，４６，４６を用いるようにして、圧電振動片３２とパッケージ３６との導通の安定性を向上するようにしている。

なお、本変形例の場合、接合部２０，２０は、それぞれ、両端２０ａ，２０ｂの２箇所でパッケージ３６と接合されているが、パッケージ３６との接合力を向上するために、端部２０ａと端部２０ｂとの間に、さらに一つ或いは複数のバンプ４６を用いて接合するようにしてもよい。また、半田バンプの代わりに合金等を用いても勿論よい。

本発明の実施形態の変形例は以上のように構成されており、接合部２０，２０は、少なくともその両端２０ａ，２０ｂがパッケージ３６と接合されている。このため、接合部２０，２０はパッケージ３６に対して固定された揺動しない部分であると共に、その両端２０ａ，２０ｂより外側（図６において、固定用腕３８の平行斜線の部分を除いた部分）の揺動可能な自由部分は、図１および図２の実施形態に係る圧電デバイス３０と同様に小さくなっている。したがって、圧電デバイス３０と同様の作用効果を発揮する。しかも、接合部２０，２０は全域が接合されていないので、圧電デバイス３０に比べて接着剤等を少量とすることができ、例えば接着剤を硬化させる際に発生するガスを抑制することができる。

本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や各変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。

本発明の実施形態に係る圧電デバイスの概略平面図。 図１のＢ−Ｂ線概略切断断面図。 衝撃試験による周波数変化量を示す図であり、図３（ａ）は、接合部の長さが圧電振動片全長の２５％未満の場合における周波数変化量、図３（ｂ）は接合部の長さが圧電振動片全長の２５％の場合における周波数変化量。 温度変化に伴うＣＩ値を示した図であり、図４（ａ）は圧電振動片の端部から接合部までの距離が圧電振動片全長の１０％未満の場合における温度特性、図４（ｂ）は圧電振動片の端部から接合部までの距離が圧電振動片全長の１０％の場合における温度特性。 本発明の実施形態の変形例に係る圧電デバイスの概略平面図。 図５のＣ−Ｃ線概略切断断面図。 従来の圧電デバイスの概略平面図。 図７のＡ−Ａ線概略切断断面図。

符号の説明

２０・・・接合部、３０，６０・・・圧電デバイス、３２・・・圧電振動片、３４，３５・・・振動腕、３６・・・基体（パッケージ）、３７，３８・・・固定用腕、５１・・・基部、５４・・・ネック部、ＧＰ２・・・重心、ＧＰ３・・・仮想線

Claims (7)

1. 互いに平行に延びる複数の振動腕を支持する基部と、この基部から縮幅したネック部を介して、前記振動腕と平行に延びる固定用腕とを備えた圧電振動片であって、
   前記固定用腕は、重心を通る前記振動腕の幅方向の仮想線上の位置で基体と接合される接合部を有し、
   この接合部は、前記振動腕の延びる方向に沿って、前記圧電振動片の全長に対して２５％以上の長さにわたり形成されている
   ことを特徴とする圧電振動片。
2. 互いに平行に延びる複数の振動腕を支持する基部を有するとともに、この基部から縮幅したネック部を介して、前記振動腕と平行に延びる固定用腕を有する圧電振動片と、前記固定用腕を接合して前記圧電振動片を収容するようにしたパッケージとを備えた圧電デバイスであって、
   前記固定用腕は、重心を通る前記振動腕の幅方向の仮想線上の位置で前記パッケージと接合される接合部を有し、
   この接合部は、前記振動腕の延びる方向に沿って、前記圧電振動片の全長に対して２５％以上の長さにわたり形成されている
   ことを特徴とする圧電デバイス。
3. 前記接合部は、前記圧電振動片の前記ネック部側の端部から所定の距離を有するように離れていることを特徴とする請求項２に記載の圧電デバイス。
4. 前記所定の距離は、前記圧電振動片の全長に対して１０％以上であることを特徴とする請求項３に記載の圧電デバイス。
5. 前記接合部は、少なくともその長手方向の両端が前記パッケージと接合されており、前記接合部の全域は前記パッケージと接合されていないことを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の圧電デバイス。
6. 前記接合部を前記パッケージに接合するための部材は、シリコーン系の導電性接着剤であることを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載の圧電デバイス。
7. 前記接合部を前記パッケージに接合するための部材は、バンプであることを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載の圧電デバイス。

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