JP6592248B2 - 振動子ユニット - Google Patents

Description

本発明は、振動子をパッケージへ接合する接続構造に関するものであり、特に、振動子をパッケージへ接合する際の振動子の形状に関するものである。

振動子は、時間やその他の基準信号発生装置として各種の電子機器に用いられる重要な部品の一つである。そして、電子機器の小型化に伴い振動子ユニットの小型化、高性能化が求められている。振動子ユニットの小型化、高性能化にとって振動子の小型化、高性能化は必須の要件である。この小型化、高性能化を達成するために、振動子の形状と振動子をパッケージに接合する接続構造が重要な要素として挙げられる。

従来の振動子の接続構造については多くの文献に見られるものであるが、上述の振動子の形状とその接合構造についても多くの提案が成されている（例えば、特許文献１から特許文献３）。

特許文献１に示した従来技術には、基部から平行に伸びる一対の振動腕を有し、振動腕の外側に振動腕に略平行に伸びる一対の支持腕を形成した音叉型圧電振動片の形状が記載されている。この支持腕の先端側には導電性接着剤を塗布するための接着部が形成されていて、接着部と基部との間には接着部より幅の細い支持部が形成されている。そして、この支持腕には、接着剤の応力に対して支持腕が柔軟に変形して応力を緩和するための、付け根位置から先端まで形成した貫通孔が設けられる構造を有している。

特許文献２に示した従来技術には、連結部により結合された２本の振動アームを有し、この振動アームの間にあって振動アームに平行な中央アームが連結部に取りつけられた共振器の形状が記載されている。そして、中央アームの裏面には２個の導電パッドが共振器の長さ方向に且つ重力Ｇの中心の両側（好ましくは等距離）に配置される。また中央アームは、幅は振動アームの幅の１．５倍より広く、長さは振動アームの長さにほぼ等しい構造を有している。

また、特許文献３に示した従来技術には、基部と、第一の振動腕部と第二の振動腕部より成る振動腕部、及びバランス用腕部とを有する水晶片が記載されている。バランス用腕部は、第一の振動腕部と第二の振動腕部との間に位置する基部の一辺から振動腕部に平行に延出されて、励振用電極を電気的に接続するための中継地点として形成されている。

バランス用腕部は、図から判るように、振動腕部に対して非常に短く形成され、素子搭載部材の主面に形成された第二のバンプに接着され振動腕部が素子搭載部材の主面側に下がるのを防止する構造を有している。

次に、他の従来技術について図を用いて説明する。図１８は、振動子をパッケージに接合した従来の振動子ユニットの平面図であり、便宜的に蓋体の図示を省略している。図１９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はいずれも図１８のＦ−Ｆ´断面図である。

振動子ユニット１００はパッケージ１１０と振動子１２０及び図示しない蓋体より構成されている。パッケージ１１０は基台１１１の中央に収納部１１２を有し、収納部１１２には振動子１２０が収納保持され、蓋体により振動子１２０は真空封止される。また、基台１１１には接着剤塗布部１１３ａ、１１３ｂ、１１３ｃが形成されており、このうち接着剤塗布部１１３ｂ、１１３ｃは図示しない外部電極と接続する内部電極となっている。

振動子１２０は、基部本体１３１と基部支持部１３２及び基部本体１３１と基部支持部振動脚１４０の中央に位置し振動脚１４０と平行に形成される支持脚１５０、及び振動脚１４０の先端に接続している粗調膜１６１などが形成された錘１６０より構成されている。

振動脚１４０は基部１３０の基部本体１３１に振動脚接続部１４１でおのおの接続されており、また支持脚１５０は基部本体１３１に支持脚接続部１５１で接続されている。そして、振動子１２０は、基部支持部１３２に形成されている基部接着部１３４、１３５でパッケージ収納部１１２に設けられた接着剤塗布部１１３ｂ、１１３ｃと導電接着剤１３６により接合保持されると共に、外部電極と接続される構成となっている。

また、振動子１２０は支持脚１５０の先端側に支持脚接着部１５２を有し、パッケージ収納部１１２に設けられた接着剤塗布部１１３ａと接着剤１５４でもって接合保持されている。接合の構成は、支持脚接着部１５２の断面図である図１９（ａ）に示すように、支持脚１５０の下面に形成されている支持脚接着面１５３と接着剤塗布部１１３ａとの間に接着剤１５４を介在させて強固に接着保持されている。このように振動子ユニット１００は３点支持にて振動子１２０を支持しているので安定した支持構造を有している。尚、振動脚１４０には溝１４２が形成されていても良い。

特開２０１２−３９２２６号公報（第５頁〜第６頁、図２） 特開２００６−３４５５１９号公報（第６頁〜第７頁、図１） 特開２０１２−１１９９２０号公報（第４頁〜第７頁、図１〜図３）

図１８、図１９に示した構成によれば、支持脚１５０の支持脚接着面１５３の幅が広く振動脚１４０との間隔が狭いため、接着剤１５４の量が多かったり、接着剤１５４の位置が中央から多少ずれていたりすると、例えば図１９（ｂ）に示すように、接着剤１５４が左側へはみ出して左側にある振動脚１４０にくっついてしまい振動脚１４０の振動を阻害してしまうという課題を有している。

同様に、図１９（ｃ）に示すように、接着剤１５４が右側へはみ出すと右側にある振動脚１４０にくっついてしまい振動脚１４０の振動を阻害してしまうという課題を有している。このように、支持脚１５０の支持脚接着面１５３の幅が広いと、接着剤１５４は広い面で押し潰されるので接着剤１５４のはみ出し量が多くなってしまい、接着剤１５４は振動脚１４０にくっ付き振動脚１４０の振動を阻害するという重大な欠点をもたらすこととなる。

ところで、特許文献１に示した従来技術によれば、振動腕の外側に伸びる一対の支持腕で圧電振動片を保持しているが、支持腕はその根本部から接着剤を塗布する先端までほぼ同じ幅で形成されているので、ちょっとした接着剤の塗布のばらつきによっては接着剤がはみ出して振動腕の振動を阻害する場合がある。

しかも、支持腕を振動腕の両外側にしかも振動腕に比較しても幅広の形状に形成しているので圧電振動片の小型化を達成することはできない。更に、特許文献１の圧電振動片は支持腕にも電極を形成しなければならないので、電極形成工程しいては圧電振動片の形成工程が煩雑になるという欠点も有している。

特許文献２に示した従来技術によれば、２本の振動アームの間にある中央アームにより共振器をパッケージにマウントする構成となっているが、「中央アームの幅は振動アームの幅より１．５倍以上」との記載より明らかなように、中央アームの幅が広いうえに根本部と同じ幅を有しているので導電パッド部で接着剤により接着した時に、接着剤が広い面積で押し潰されるため中央アームからはみ出してしまう可能性が十分にあり、振動アームの振動を阻害してしまうという課題を有している。

また、特許文献３に示した従来技術によれば、バランス用腕部は容器内の第二のバンプと接触し水晶振動子を容器に接続する構成となっているが、バランス用腕部の幅は狭くても長さが非常に短く根本部から同じ幅で形成されているので、接着剤は押し潰されて基部側に流れてしまうと電極に悪さを及ぼす可能性を有している。つまり、水晶振動子の振動に悪影響を及ぼしてしまうという課題を有している。

本発明の目的は、上記課題を解決するもので、振動子の小型化と安定な保持を保ちながら、接着剤が振動脚に干渉して振動子の振動へ与える悪影響を防止する振動子ユニットを提供するものである。

上記課題を解決するために、本発明の振動子ユニットは下記記載の構成を採用する。

本発明の振動子ユニットは、パッケージに接着された基部と基部より延出する振動脚と
振動脚が延出する方向に基部より延出し電極が形成されていない支持脚とを備える振動子をパッケージに配置した振動子ユニットであって、支持脚は、パッケージと接着剤で接着される支持脚接着部を有し、支持脚接着部は、パッケージ側の支持脚接着面を有し、支持脚接着面には、接着剤が接着しており、支持脚接着部の断面形状における支持脚接着面の、支持脚が延出する方向に対して垂直な方向についての両端間の長さである支持脚接着面の幅は、支持脚における基部と連結する支持脚接続部の幅に対して細くなっており、支持脚接着面の幅が、支持脚接着部の最大幅よりも細く、支持脚接着部は、支持脚接着面の幅方向の端部と接続する支持脚接着側面を有し、支持脚接着側面の少なくとも一部に接着剤が接着し、支持脚接着部は、支持脚接着側面における支持脚接着面と反対側の端部と接続し、かつ支持脚接着部の幅方向に伸びるような中間面を有することを特徴とする。

このような構成とすることにより、支持脚接着部の支持脚接着面の幅が狭くなっているため、接着剤が支持脚接着面により押し潰される量が少なくなり、接着剤は上記の支持脚接着面の側面に沿って上方に流れるので振動脚側に流れ出る量が少なく、接着剤が振動脚へくっ付く干渉を無くすことができ、振動子の振動に悪影響を与えることを防止できる。

また、振動脚は二脚であり、支持脚は二脚の振動脚の間に延出されるようにすると良い。

このような構成にすれば、振動子は振動脚の間にある支持部と２点の基部接着部の３点支持となるので振動子をより安定して保持すると共に、振動子の振動に悪影響を与えるような構成を無くすことができる。

また、支持脚接着側面は、支持脚接着部の幅が支持脚接着面に向かうにつれて細くなる ように形成された斜面を有していると良い。

本発明によれば、接着剤が支持脚接着部の接着面により押し潰される量が少なくなり、支持脚接着面の幅が細いので接着剤は接着面の側面に沿って上方に流れるため、振動脚の方へ流れ出る量が少なく、振動脚の振動に悪影響を与えることが無くなること、また
基部接着部側と支持脚接着部側の接着剤の量を調整することにより振動子の破損を防止できると共に、振動子を小型化することや振動子を安定して保持することができる。

本発明の振動子をパッケージに接合した振動子ユニットの平面図である。 図１のＡ−Ａ´断面図である。 本発明の変形例を示す振動子の平面図である。 図３のＢ−Ｂ´断面図である。 本発明の振動子の平面図である。 本発明の振動子の平面図である。 本発明の振動子のであり、（ａ）は振動子の表側から見た正面図、（ｂ）は振動子の裏側から見た背面図である。 図７のＣ１−Ｃ１´断面図である。 図７のＣ２−Ｃ２´断面図である。 本発明の振動子であり、（ａ）は振動子の表側から見た正面図、（ｂ）は振動子の裏側から見た背面図である。 図１０のＤ−Ｄ´断面図である。 本発明の振動子であり、（ａ）は振動子の表側から見た正面図、（ｂ）は振動子の裏側から見た背面図である。 図１２のＥ−Ｅ´断面図である。 本発明の振動子の支持脚接着部部分の変形例を示す断面図である。 本発明の支持脚接着部部分の他の変形例を示す断面図である。 本発明の支持脚接着部部分の更に他の変形例を示す断面図である。 横軸に接合前の接着剤直径に対する接合部幅を取り、縦軸に接合前接着剤直径に対する接合後接着剤直径を取って、接着剤の量についての関係を表したグラフである。 振動子をパッケージに接合した従来の振動子ユニットの平面図である。 図１８のＦ−Ｆ´断面図である。

本発明は、振動脚のほかに支持脚を備え、支持脚接着部のパッケージと接着する支持脚接着面の幅を支持脚における基部と連結する支持脚接続部の幅に対して細く形成することによって、接着剤が振動脚側へ流れ出る量を少なくし振動脚の振動に悪影響を与えないようにするものである。

次に、図１と図２を用いて本願発明の第１の実施形態について説明する。図１は、第１の実施形態による振動子をパッケージに接合した振動子ユニットの平面図であり、便宜的
に蓋体の図示は省略してある。図２は、図１のＡ−Ａ´断面図である。

振動子ユニット２００は、パッケージ２１０とパッケージ２１０に収納された振動子２２０と図示しない蓋体より形成されている。パッケージ２１０は、図示しない外部電極が下部に形成された基台２１１と基台２１１の中央に枠２１３によって囲まれた収納部２１２を有している。

収納部２１２の内底面２１４には接着剤塗布部２１５ａ、２１５ｂ、２１５ｃが形成されていて、この接着剤塗布部２１５ａ、２１５ｂ、２１５ｃにおいて振動子２２０が収納保持される。そして、枠２１３の上面に蓋体を配置し、封止材を用いて振動子２２０を真空封止することで振動子ユニット２００が完成する。また、接着剤塗布部２１５ａ、２１５ｂ、２１５ｃのうち接着剤塗布部２１５ｂ、２１５ｃは外部電極と接続する内部電極の役割をも有している。

振動子２２０は、基部本体２３１と基部支持部２３２及び基部本体２３１と基部支持部２３２を接続している連結部２３３より成る基部２３０、基部本体２３１と接続される振動脚接続部２４１から紙面上方に延びる２本の脚よりなる振動脚２４０、２本の振動脚２４０の間に位置し基部本体２３１と支持脚接続部２５１で接続され振動脚２４０に平行に延出する支持脚２５０、振動脚２４０の先端にある振動脚先端部２４２に接続する粗調膜２６１などが形成された錘２６０より構成されている。

振動子２２０には、基部２３０の基部支持部２３２から振動脚２４０にかけて電極２８０ａ、２８０ｂが形成されているが、詳細説明は省略する。また、振動脚２４０にはその両面に溝２４３が設けられていても良い。

基部支持部２３２には、左右両端部に基台２１１の内底面２１４に形成されている接着剤塗布部２１５ｂ、２１５ｃに導電接着剤２７１で接着される基部接着部２３４ｂ、２３４ｃが形成されている。また、支持脚２５０は、その先端にパッケージ内底面２１４に形成されている接着剤塗布部２１５ａと接着剤２７０でもって接着される支持脚接着部２５２を有しており、支持脚接着部２５２の下面には後述する接着面としての支持脚接着面２５３が形成されている。図２は、支持脚接着部２５２の詳細断面図である。

支持脚２５０の形状は基部本体２３１と接続する支持脚接続部２５１を有し、支持脚接続部２５１の平面形状は略三角形をしていてその頂部２５０ａから支持脚接着部２５２にかけて長方形の形状を有している。本願の特徴は、支持脚２５０の形状が支持脚接着部２５２に設けられた支持脚接着面２５３の幅を基部本体２３１と接続する支持脚接続部２５１の幅よりも細く形成している点である。本実施形態では頂部２５０ａから支持脚接着部２５２にかけての支持脚２５０の幅を支持脚接続部２５１の幅よりも細く形成してある。

支持脚接着部２５２の断面形状は、図2に示すように、支持脚接着面２５３を短辺とし支持脚接着側面２５３ａを長辺とする長方形で形成されている。支持脚接着部２５２は細くできているので支持脚接着面２５３はその幅が狭く面積が小さくなっている。このため接着剤２７０は支持脚接着面２５３に接触後押し潰されても接着剤塗布部２１５ａの周囲に流れ出る量は少なくなり、支持脚接着側面２５３ａに沿って這い上がる方向に流れてゆく。従って、接着剤２７０は振動脚２４０にくっつくことによる干渉がないので、接着剤２７０が振動子２２０の振動に悪影響を及ぼすことは無くなる。

振動子２２０は、２点の基部接着部２３４ｂ、２３４ｃと支持脚接着面２５３の３点でパッケージ２１０に接着収納される。この時振動子２２０の重心Ｇは、支持脚接着部２５２よりも基部２３０側にあり、前記の２点の基部接着部２３４ｂ、２３４ｃと支持脚接着
部２５２に囲まれる三角形の中にあるので、非常に安定して振動子２２０をパッケージの内底面２１４上に保持・固定することができる。

これらが第1の実施形態の大きな効果であるが、支持脚接着面２５３が細くなっているので接着剤塗布部２１５ａの面積を小さくできると共に接着剤の量も従来に比べ少なくできる効果もある。更に言えば、接着剤塗布部２１５ａは外部電極と接続する必要が無いので支持脚２５０に電極を形成する必要が無く、振動子２２０の電極形成も容易となる。
（第１の実施形態の変形例）
次に第１の実施形態の変形例について説明する。図３は本実施形態の変形例を示す振動子の平面図である。また、図４は、図３のＢ−Ｂ´断面図である。図３の振動子が図１の振動子と異なるのは、基部の形状である。図１と同一の符号については図１の符号を用いている。

図３において、振動子３２０の基部３３０は、基部本体３３１と基部支持部３３２と基部本体３３１と基部支持部３３２とを連結する連結部３３３より形成されている。図３における基部支持部３３２は、支持脚２５０と同様に、基部支持部３３２に設けられている基部接着部３３２ｂ、３３２ｃの幅を細くしていることが特徴である。

支持脚２５０については、図１と同様に、基部本体３３１と支持脚接続部２５１で接続されていて、支持脚接続部２５１と頂部２５０ａとにより略三角形状をしており、頂部２５０ａより支持脚接着部２５２にかけて幅の細い長方形状で形成されていて、支持脚接着部２５２に形成された支持脚接着面２５３の幅を支持脚接続部２５１の幅よりも細くしている。

また、振動子３２０は基部接着部３３２ｂ、３３２ｃと導電接着剤２７１にて接着剤塗布部２１５ｂ、２１５ｃで接着固定されると共に、図１同様に支持脚接着部２５２で接着剤塗布部２１５ａに接着剤２７０でもって固定される。重心Ｇが基部接着部３３２ｂ、３３２ｃと支持脚接着部２５２とで形成される三角形形状内に存在するように形成されている。

図４によりその効果を説明する。基部支持部３３２の基部接着部３３２ｂ、３３２ｃは細く形成してあるので、導電接着剤２７１と接する面積が小さくなる。このため、導電接着剤２７１を押し潰す面積が小さいので外側に流れ出る量が少なくなり、基部接着部３３２ｂ、３３２ｃは幅が細いので側面に沿って這い上がる量が増える。従って、導電接着剤２７１が基部本体３３１まで流れ出ることが無いので、例えば電極同志がショウトすることを防止することができる。

その他の構成及び支持脚接着部２５２部分の接着剤に対する効果などは、第１の実施形態と同じである。
（第２実施形態）
図５は、本発明の第２の実施形態を示す振動子の平面図である。振動子４２０の形状は基本的には図３と同様であるが、図５に記載の振動子４２０が図３の振動子３２０と異なる構成は支持脚４５０の形状である。尚、以下に図３と同一の符号については図３の符号を用いて説明する。

即ち、図３に示す支持脚２５０は支持脚接続部２５１から頂部２５０ａにかけての形状が略三角形形状をしていて、頂部２５０ａから支持脚接着部２５２まで細い長方形状で伸びているが、図５の支持脚４５０は、基部本体３３１に接続された支持脚接続部４５１から支持脚接着部４５２までその平面形状が緩やかな略三角形状で形成されていることである。即ち、支持脚接着部４５２の下面にある支持脚接着面４５３の幅は支持脚接続部４５
１より細い形状で出来ている。

その効果は図２と類似であり、断面形状が長方形状で細くできている支持脚接着面４５３の面積が小さいので、接着剤２７０は、支持脚接着面４５３に押し潰されても接着剤塗布部２１５ａの周囲に流れ出ることはなく、支持脚接着側面４５３ａに沿って這い上がる方向に流れる。このため、接着剤２７０が振動脚２４０にくっ付くことによる干渉がないので振動子４２０の振動に悪い影響を与えることは無い。

しかも、支持脚接続部４５１から支持脚接着部４５２まで緩やかな三角形状で形成されているので、支持脚４５０の強度を増すことができる。その他の構成や効果については図３と同様であるので説明を省略する。

振動子４２０は、基部接着部３３２ｂ、３３２ｃの２点と支持脚接着面４５３の３点で接着剤塗布部２１５ｂ、２１５ｃ、２１５ａに導電接着剤２７１及び接着剤２７０でもって接着収納されるが、振動子４２０の重心Ｇは２点の基部接着部３３２ｂ、３３２ｃと支持接着部４５２で形成される三角形の形状内にあるので非常に安定して保持・固定することができることも第１の実施形態と同じである。
（第３の実施形態）
図６は、本発明の第３の実施形態を示す振動子の平面図である。振動子５２０の形状は基本的には図３と同様であるが、図６の振動子５２０が図３の振動子３２０と異なるのは支持脚５５０の形状である。尚、以下において図３と同一の符号については図３の符号を用いて説明する。

図６に示す支持脚５５０は、基部本体３３１に接続された支持脚接続部５５１から２／３くらいの位置にある中間部５５０ｂまでは、支持脚５５０の幅は従来と同じように太い幅で形成されているが、中間部５５０ｂから支持脚接着部５５２までの支持脚５５０の幅は支持脚接続部５５１の幅よりも細く形成されている。即ち支持脚接着面５５３の幅は図２と同様の形状をしている。

従って、支持脚接着部５５２に形成された支持脚接着面（図示せず）と接着剤（図示せず）との関係は、図２と同様に、支持脚接着面の面積が小さいので支持脚接着面に押し潰されても接着剤２７０は接着剤塗布部２１５ａの周囲に流れ出ることはなく、支持脚接着部５５２の側面に沿って這い上がる。このため、本実施形態においても振動子５２０の振動に悪影響を与えることは無い。しかも、支持脚５５０中間部５５０ｂまでは太い幅で形成されているので支持脚５５０の強度が大きくなる。その他の構成や効果については図３の振動子と同様である。
（第４の実施形態）
図７は本発明の第４の実施形態を示す振動子であり、図８は図７のＣ１−Ｃ１´断面図であり、図９は図７のＣ２−Ｃ２´断面図である。図７の（ａ）は振動子６２０の表側から見た正面図、（ｂ）は振動子６２０の裏側から見た背面図であり、接着剤２７０及び導電接着剤２７１については、図７では省略している。振動子６２０の形状は基本的には図３と同様であるが、図７の振動子６２０が、図３のそれと異なるのは支持脚６５０の形状である。尚、以下の説明において図３と同一の符号については図３の符号を用いる。

図７に示す振動子６２０の支持脚６５０の平面形状は、基部本体３３１と接続する支持脚接続部６５１と頂部６５０ａとを結ぶ略三角形形状をしており、頂部６５０ａから中間部６５０ｂまでは図３に示すように細い形状で出来ている。そして、中間部６５０ｂから先端側の支持脚接着部６５２までは、表側は図７（ａ）のように、中間部６５０ｂに頂点を有する略三角形と長方形が接続された略五角形形状をなしている。

裏側の支持脚接着部６５２部分の形状は、図７（ｂ）に示すように、頂部６５０ａから中間部６５０ｂまでに形成した細い形状を延長した構成を有している。この支持脚接着部６５２の部分を同じ断面位置で見ると、図８のように、支持脚接着部６５２は、支持脚接着面６５３の幅が小さく、上方の支持脚接着部６５２の他の面の幅は大きく形成されていて、ほぼＴ字型の形状をなしている。

支持脚接着面６５３の方は接着剤２７０との接触面の一部が細くなっているためその分支持脚接着側面６５３ａに沿って接着剤２７０は這い上がり、支持脚接着部６５２の中間面６５３ｂにまで流れるが、接着剤塗布部２５１ａの外側にはみ出る量は少なく、振動脚２４０にくっつくという干渉は無くなるので、振動子６２０の振動に悪影響を与えることは無い。同時に、中間面６５３ｂまで接着剤は流れるので接着面積を大きくできるため接着強度を増すことができる。

また、図９に示すように、基部接着部３３２ｃ（３３２ｂも同じ）側の接着剤塗布部２１５ｃ（２１５ｂも同じ）上の導電接着剤２７１の量と支持脚接着部６５２の側の接着剤塗布部２１５ａ上の接着剤２７０の量を調節し、接着剤塗布部２１５ａの上面から支持脚接着面６５３の下面までの間隔ｄ１を接着剤塗布部２１５ｃの上面から基部接着部３３２ｃの下面までの間隔ｄ２よりも大きくするように構成する。

これは、基部接着部３３２ｃの幅を細くしたことによって導電接着剤２７１が基部接着部３３２ｃの側面を這い上がるので導電接着剤２７１の中に深く沈み込み易くなる一方、支持脚接着面６５３の形状を図８に示すようにＴ字型とし、支持脚接着部６５２の中間面６５３ｂを設けたので、この中間面６５３ｂが接着剤２７０の中に沈み込むのを阻止するため、支持脚接着部６５２側を基部接着部３３２ｃ側に比べてより大きく浮かせることが出来るためである。

このように振動子６２０を、間隔ｄ１を間隔ｄ２よりも大きくして斜めに保持するように構成とすることにより、例えばパッケージ２１０（図１参照）に衝撃が印加されても振動子６２０の先端側がパッケージ２１０にぶつかることを避けることが出来るので、振動子６２０が破損するといったことを防止することが出来る。
（第５の実施形態）
図１０は、本発明の第５の実施形態を示す振動子であり、図１１は図１０のＤ−Ｄ´断面図である。図１０（ａ）は振動子の表側から見た正面図、（ｂ）は振動子の裏側から見た背面図であり、接着剤２７０及び導電接着剤２７１については、図１０では省略している。振動子７２０の形状は基本的には図６と同様であるが、図１０の振動子７２０が、図６のそれと異なるのは支持脚７５０の支持脚接着部７５２部分の形状である。尚、以下図６と同一の符号については図６の符号を用いて説明する。

図１０に示す振動子７２０の支持脚７５０の平面形状は、図１０（ａ）の表側は基部本体３３１に接続される支持脚接続部７５１から支持脚接着部７５２までの支持脚７５０の幅は従来と同じ程度の太い幅で形成されている。しかし、図１０（ｂ）の裏側は支持脚接続部７５１から２／３くらいの位置にある中間部７５０ｂまでの幅は表側と同じ太い幅で形成されているが、中間部７５０ｂから支持脚接着部７５２までの支持脚７５０の幅は表側の幅に比較して細くなっている。即ち、支持脚接着面７５３の幅は支持脚接続部７５１の幅に比較して細く形成されている。

図１１は支持脚接着部７５２の断面形状である。支持脚接着部７５２は表側の支持脚７５０の幅は広く裏側の支持脚７５０の幅は細い。即ち、同じ断面位置で見たとき、支持脚接着部７５２は支持脚接着面７５３の幅が小さく支持脚接着部７５２の他の面の幅は支持
脚接着面７５３の幅に比べて大きく形成されており、断面形状としてはＴ字型の形状を成している。

このため、パッケージに形成されている接着剤塗布部２１５ａ上の接着剤２７０を支持脚接着面７５３で押圧した時、支持脚接着面７５３近傍の面積は狭くなっているので、接着剤２７０は接着剤塗布部２１５ａの横方向に流れ出ることは無い。また、支持脚接着側面７５３ａの方向へと這い上がるため、振動脚２４０に接着剤２７０がくっ付くことが無いので振動子７２０の振動に悪影響を与えることは無い。同時に、支持脚接着側面７５３ａにも這い上がるため接着面積を大きくできるので接着強度を増すこともできる。
（第６の実施形態）
図１２は本発明の第６の実施形態を示す振動子であり、図１３は図１２のＥ−Ｅ´断面図である。そして、図１２（ａ）は振動子の表側から見た正面図、（ｂ）は振動子の裏側から見た背面図であり、接着剤２７０及び導電接着剤２７１については、図１２では省略している。振動子８２０の形状は基本的には図３と同様であるが、図１２の振動子８２０が図３の構成と異なるのは支持脚８５０の形状である。以下の説明では図３と同一の構成については図３の符号を用いる。

図１２（ａ）に示す振動子８２０の支持脚８５０の平面形状は、表側が基部本体３３１に接続される支持脚接続部８５１から支持脚接着部８５２までの支持脚８５０の幅は従来と同じ程度の太い幅で形成されている。しかし、図１２（ｂ）に図示するように裏側は、支持脚接続部８５１から支持脚接着部８５２までの支持脚８５０の幅が徐々に細くなっている。即ち、支持脚接着面８５３の幅は支持脚接続部８５１の幅に比べて細く形成されている。

支持脚接着部８５２の形状は、図１３の断面図に示すように、表側である上面は幅広くなっており、裏側の下面である支持脚接着面８５３の幅は細くなっている。そして、支持脚接着面８５３から厚みのほぼ半分の位置である断面中間部８５３ｂまでは斜面で形成された支持脚接着側面８５３ａとなっている。即ち、支持脚接着面８５３の幅は支持脚接続部８５１の幅に比べて細く形成されていると同時に、同じ断面位置で見たとき支持脚接着面８５３の幅は支持脚接着部８５２の他の面に比較し幅が小さく形成されている。

これによって、接着剤塗布部２１５ａ上の接着剤２７０を支持脚接着面８５３で押圧した時、接着剤２７０は斜面に沿って這い上がるため、接着剤塗布部２１５ａの側方に流れ出ることが無い。従って、振動脚２４０に接着剤２７０がくっつくという干渉が無くなるので、振動子８２０の振動に悪影響を与えることは無い。同時に、接着面積を平面に比べて大きくできるので接着強度を増すことができる。

また、図１３に示すように、本実施形態の支持脚接着部８５２の断面形状も第４の実施形態に示す断面形状と類似していて、支持脚接着面８５３から厚みのほぼ半分の位置である断面中間部８５３ｂまでは斜面で形成された支持脚接着側面８５３ａとなっているので、図示はしないが、接着剤２７０は支持脚接着側面８５３ａによって沈み込むのを阻止するため、支持脚接着部８５２側を基部接着部３３２ｃ側に比べてより大きく浮かせることが出来る。

従って、パッケージ２１０に衝撃が印加されても、振動子８２０の先端側がパッケージ２１０にぶつかることが無くなり、振動子８２０が破損するといったことを防止できる効果を上げることが出来る。
（第６の実施形態の変形例１）
図１４は、本発明の第６の実施形態に記載した振動子の支持脚接着部部分の変形例を示す断面図である。第６の実施形態では、図１３に示すように、支持脚の厚さの途中まで斜
面で形成された支持脚接着側面を備えているが、本変形例においては、支持脚９５０の先端部の支持脚接着部の部分は、その厚さの上面より下面まで連続的な斜面で形成された支持脚接着側面９５３ａにより形成されている。

即ち、支持脚接続部の断面形状は逆台形の形状を呈している。このため、支持脚接着部の部分を同じ断面位置で見たとき、支持脚接着面９５３の幅は支持脚接着部の他の面の幅に比較して狭くなっていることが判る。尚、図示しないが、支持脚接着面９５３の幅は支持脚接続部の幅に比べても細く形成されている。

このため、接着剤塗布部２１５ａ上の接着剤２７０を支持脚接着面９５３で押圧した時、接着剤２７０は支持脚接着側面９５３ａの斜面に沿って這い上がり易くなり、振動脚２４０に接着剤２７０がくっつくという干渉が無くなる。よって、振動子の振動に悪影響を与えることは無い。
（第６の実施形態の変形例２）
図１５は、本発明の第６の実施形態の支持脚接着部部分の他の変形例を示す断面図である。図１５において、支持脚１０５０の支持脚接着部は上面から下面まで連続的な斜面により形成された支持脚接着側面１０５３ａを有し、最も下面の支持脚接着面１０５３は点で形成されている。即ち、支持脚接着部の断面形状はいわゆる逆三角形の形状を有している。故に、支持脚接着部部分を同じ断面位置で見たとき、支持脚接着面１０５３の幅は支持脚接着部の他の面の幅に比較して小さくなっている。また、図示しないが、支持脚接着面１０５３の幅は支持脚接続部の幅に比べて細く形成されている。

これによって、接着剤塗布部２１５ａ上の接着剤２７０を支持脚接着面１０５３で押圧した時、接着剤２７０は支持脚接着側面１０５３ａの斜面に沿ってますます這い上がり易くなり、振動脚２４０に接着剤２７０がくっ付く干渉を無くすことができる。よって、振動子の振動に悪影響を与えることは無い。支持脚１０５０の上面の幅をより狭くすると更に接着剤２７０は這い上がり易くなり、更なる効果が期待できる。
（第６の実施形態の変形例３）
図１６は本発明の第６の実施形態の支持脚接着部部分の更に他の変形例を示す断面図である。図１６において、支持脚１１５０に形成されている支持脚接着部は厚さ方向の上下面が細く真中の断面中間部１１５３ｂが少々太く形成されている、いわゆる台形を反対向きに２つ重ねたような六角形形状を有している。

即ち、断面中間部１１５３ｂから支持脚接着面１１５３を有する下面までは、緩やかな斜面から成る支持脚接着側面１１５３ａが形成されている。支持脚接着部部分を同じ断面位置で見たとき、支持脚接着面１１５３の幅は支持脚接着部の他の面の幅に比べて小さくなっている。また、図示しないが、支持脚接着面１１５３の幅は支持脚接続部の幅に比べて細く形成されている。

この形状によっても接着剤塗布部２１５ａ上の接着剤２７０を支持脚接着面１１５３で押圧した時、接着剤２７０は斜面に沿って這い上がり易く、振動脚２４０に接着剤２７０がくっつく干渉を無くすことができる。よって、振動子の振動に悪影響を与えることは無い。

以上説明したように、いずれの実施形態においても、支持脚接続部の幅よりも支持脚接着部の接着剤との接着面である支持脚接着面の幅を細くしたので、接着面の面積が小さくなり接着剤の側方への流れ出るのを最小限に抑えることができると共に、同じ断面位置で見たとき、支持脚接着面の幅は支持脚接着部の他の面の幅に比べて小さくなっているので、支持脚接着側面に沿って上方へ這い上がり易くなり、接着剤がますます側方へ流れ出るのを抑えることができる。

従って、接着剤が振動脚にくっついてしまう干渉を防止し、振動子の振動に悪影響を与えることを無くすことができた。それに加えて、接着剤が支持脚接着部の側方に這い上がるので支持脚と接着剤との接触面積が大きくなり接着強度を増す効果も得られた。

最後に、接合部の幅と接着剤直径の関係を説明する。図１７は、横軸に接合前の接着剤直径に対する接合部幅を取り、縦軸に接合前接着剤直径に対する接合後接着剤直径を取って、接着剤の量についての関係を表したグラフである。図１７によれば、接合前の接着剤直径に対する接合部幅をほぼ０．５以下にすれば接着剤の量が多い、標準、少ない、のいずれにも関わらず接着剤のはみ出し量、即ち接合前の状態からの拡がりをほとんど無くすことが出来ることが判る。

このことは、接合前の接合部幅を接着剤直径に対して半分以下の幅とすることにより接着剤が平面方向に拡がってゆくことを防止できることが判る。従って、本願の支持脚接着面の幅を塗布した接着剤の直系の半分以下にすれば、より効果があることを知ることが出来る。

本発明の振動子は、上記の実施形態の例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の形態に変更できる。２叉の振動子ばかりでなく、１叉を含むすべての音叉型振動子に適用できる。また、本実施形態では、支持脚を振動脚の間に形成した例を示したが、支持脚は、振動脚の側方に配置しても良く、振動脚の片側だけでなく両側に配置しても良い。更に、振動子は水晶振動子ばかりでなく、種々の圧電振動子に適用が可能である。また、本発明の振動子は、時間基準源として時計に適用できるばかりでなく、その他の基準信号発生装置として各種の電子機器に適用することができる。

２００ 振動子ユニット
２１０ パッケージ
２１１ 基台
２１２ 収納部
２１４ 内底面
２１５ａ、２１５ｂ、２１５ｃ 接着剤塗布部
２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０ 振動子
２３０、３３０ 基部
２３１、３３１ 基部本体
２３２、３３２ 基部支持部
２３４ｂ、２３４ｃ、３３２ｂ、３３２ｃ 基部接着部
２４０ 振動脚
２４１ 振動脚接続部
２５０、４５０、５５０、６５０、７５０、８５０、９５０、１０５０、１１５０ 支持脚
２５０ａ、６５０ａ 頂部
２５１、４５１、５５１、６５１、７５１、８５１ 支持脚接続部
２５２、４５２、５５２、６５２、７５２、８５２、９５２、１０５２、１１５２ 支持脚接着部
２５３、４５３、５５３、６５３、７５３、８５３、９５３、１０５３、１１５３ 支持脚接着面
２５３ａ、６５３ａ、７５３ａ、８５３ａ、９５３ａ、１０５３ａ、１１５３ａ 支持脚接着側面
２６０ 錘
２７０ 接着剤
２７１ 導電接着剤
５５０ｂ、６５０ｂ、７５０ｂ 中間部
６５３ｂ 中間面
８５３ｂ、１１５３ｂ 断面中間部
Ｇ 重心
ｄ１ 接着剤塗布部２１５ａの上面から支持脚接着面６５３の下面までの間隔
ｄ２ 接着剤塗布部２１５ｃの上面から基部接着部３３２ｃの下面までの間隔

Claims (3)

1. パッケージに接着された基部と前記基部より延出する振動脚と前記振動脚が延出する方向に前記基部より延出し電極が形成されていない支持脚とを備える振動子を前記パッケージに配置した振動子ユニットであって、
   前記支持脚は、前記パッケージと接着剤で接着される支持脚接着部を有し、
   前記支持脚接着部は、前記パッケージ側の支持脚接着面を有し、
   前記支持脚接着面には、前記接着剤が接着しており、
   前記支持脚接着部の断面形状における前記支持脚接着面の、前記支持脚が延出する方向に対して垂直な方向についての両端間の長さである前記支持脚接着面の幅は、前記支持脚における前記基部と連結する支持脚接続部の幅に対して細くなっており、
   前記支持脚接着面の幅が、前記支持脚接着部の最大幅よりも細く、
   前記支持脚接着部は、前記支持脚接着面の幅方向の端部と接続する支持脚接着側面を有し、前記支持脚接着側面の少なくとも一部に前記接着剤が接着し、
   前記支持脚接着部は、前記支持脚接着側面における前記支持脚接着面と反対側の端部と接続し、かつ前記支持脚接着部の幅方向に伸びるような中間面を有することを特徴とする振動子ユニット。
2. 前記振動脚は二脚であり、前記支持脚は二脚の前記振動脚の間に延出されていることを特徴とする請求項１に記載の振動子ユニット。
3. 前記支持脚接着側面は、前記支持脚接着部の幅が支持脚接着面に向かうにつれて細くなるように形成された斜面を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動子ユニット。

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