JP2013219542A - 圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 励振電極膜が形成される振動腕部13と、該振動腕部13と繋がる支持部14と、該支持部14に設けられ、外部との導通を図る電極部15とを備える圧電振動子11において、前記電極部15が支持部14の基材表面に形成された導電膜15aからなり、この導電膜15aの表面に導電性を備えた複数の溝部23を設けた。
【選択図】 図3
Description
13 振動腕部(振動部)
14 支持部
15 電極部
15a 導電膜
16 基部
17 支持腕部
18 パッケージ
20 マウント部
21 導電性接着剤
22 平面部
23 溝部(凹部)
23a 開口側
23b 底部側
24 バインダー樹脂
25 導電フィラー
26 孔部(凹部)
27 フィラーリッチ層
Claims (5)
- 励振電極膜が形成される振動部と、該振動部と繋がる支持部と、該支持部に設けられ、外部との導通を図る電極部とを備える圧電振動子において、
前記電極部が支持部の基材表面に形成された導電膜からなり、この導電膜には表面が導電性を備えた複数の凹部が設けられていることを特徴とする圧電振動子。 - 前記凹部は、底部の方がすぼまる形状である請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記凹部は、断面形状が略V字状又は略U字状である請求項1又は2に記載の圧電振動子。
- 前記凹部は、電極部に塗布された導電性接着剤のバインダー樹脂が底部側付近に集中し、導電フィラーが開口側付近に集中する形状からなる請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記凹部は、筋状の溝部又はドット状の孔部によって形成されている請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電振動子。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016143935A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動子ユニット |
JP2016149604A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 |
JP2017130903A (ja) * | 2016-01-23 | 2017-07-27 | 京セラ株式会社 | 水晶デバイス |
JP2018196002A (ja) * | 2017-05-18 | 2018-12-06 | 株式会社村田製作所 | 音叉型水晶振動素子及びそれを備えた音叉型水晶振動子 |
JP2019165332A (ja) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 株式会社リコー | 電子デバイスおよび原子発振器 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004111254A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Asahi Glass Co Ltd | 電子デバイスの電気的接続用金属含有組成物 |
JP2004289650A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 |
WO2006114936A1 (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Daishinku Corporation | 圧電振動片及び圧電振動デバイス |
JP2007096901A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片およびその製造方法、水晶デバイス |
JP2007288644A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Epson Toyocom Corp | 圧電基板、圧電振動素子、表面実装型圧電振動子、圧電基板の製造方法、及び表面実装型圧電発振器 |
JP2008109538A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2009055480A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス用パッケージおよび圧電振動デバイス |
JP2010283805A (ja) * | 2009-05-01 | 2010-12-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片を製造する製造方法。音叉型圧電振動片及び圧電振動デバイス |
JP2011193316A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
-
2012
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004111254A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Asahi Glass Co Ltd | 電子デバイスの電気的接続用金属含有組成物 |
JP2004289650A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 |
WO2006114936A1 (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Daishinku Corporation | 圧電振動片及び圧電振動デバイス |
JP2007096901A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片およびその製造方法、水晶デバイス |
JP2007288644A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Epson Toyocom Corp | 圧電基板、圧電振動素子、表面実装型圧電振動子、圧電基板の製造方法、及び表面実装型圧電発振器 |
JP2008109538A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2009055480A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス用パッケージおよび圧電振動デバイス |
JP2010283805A (ja) * | 2009-05-01 | 2010-12-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片を製造する製造方法。音叉型圧電振動片及び圧電振動デバイス |
JP2011193316A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016143935A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動子ユニット |
JP2016149604A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 |
JP2017130903A (ja) * | 2016-01-23 | 2017-07-27 | 京セラ株式会社 | 水晶デバイス |
JP2018196002A (ja) * | 2017-05-18 | 2018-12-06 | 株式会社村田製作所 | 音叉型水晶振動素子及びそれを備えた音叉型水晶振動子 |
JP2019165332A (ja) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 株式会社リコー | 電子デバイスおよび原子発振器 |
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