JP6233392B2 - 水晶振動装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2…ケース基板
2a…水晶振動子搭載面
3,4…第1,第2の電極ランド
3a,3b,4a,4b…電極ランド部
5,6…第1,第2の導電性接着剤層
5a,5b,6a,6b…導電性接着剤層部
7,7A…水晶振動子
8…キャップ材
9…水晶基板
10,11…第1,第2の振動電極
12,13…第1,第2の引き出し電極
12a,12b,13a,13b…引き出し電極部分
Claims (8)
- 水晶振動子搭載面を有するパッケージ材と、
前記パッケージ材の水晶振動子搭載面に設けられている第1及び第2の電極ランドと、 前記パッケージ材の水晶振動子搭載面に片持ち梁で支持されている水晶振動子と、
前記水晶振動子を前記パッケージ材の水晶振動子搭載面に設けられている第1及び第2の電極ランドにそれぞれ電気的に接続しかつ機械的に接合している第1及び第2の導電性接着剤層とを備え、
前記水晶振動子が、水晶基板と、前記水晶基板に設けられた第1及び第2の振動電極と、前記第1及び第2の振動電極にそれぞれ連ねられている第1及び第2の引き出し電極とを有し、
前記第1及び第2の引き出し電極が、前記第1及び第2の導電性接着剤層により、前記第1及び第2の電極ランドにそれぞれ電気的にかつ機械的に接続されており、
前記水晶振動子の前記水晶基板が一対の長辺及び一対の短辺を有する矩形板状の形状を有し、前記短辺の延びる方向が幅方向であり、一方の短辺側において前記水晶振動子が前記第1及び第2の導電性接着剤層により片持ち梁で支持され、
前記第1及び第2の導電性接着剤層が、それぞれ、平面視した場合、2つの円または楕円が部分的に重なり合っている平面形状を有し、
前記水晶振動子が、長さ方向において中央部から前記長さ方向端部にいくにつれて、厚みが薄くなっており、平面視して前記水晶基板を透視した領域内において、前記第1及び第2の電極ランドが、前記幅方向内側の部分に比べ、前記幅方向外側の部分において厚くされている部分を有し、前記第1及び第2の導電性接着剤層が、前記第1及び第2の電極ランドの前記幅方向内側の部分から前記幅方向外側の部分に至っている、水晶振動装置。 - 前記2つの円または楕円が部分的に重なり合っている平面形状を有する第1及び第2の導電性接着剤層と、前記第1及び第2の電極ランドとの積層部分の上面が曲線的に変化している、請求項1に記載の水晶振動装置。
- 前記第1及び第2の導電性接着剤層の重心が、該第1及び第2の導電性接着剤層の中心よりも、幅方向外側に位置している、請求項1または2に記載の水晶振動装置。
- 前記第1及び第2の導電性接着剤層の平面形状が、前記幅方向において内側から外側に向かうにつれて、前記短辺から前記水晶基板中心側に近づく形状とされている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の水晶振動装置。
- 前記第1及び第2の導電性接着剤層の一部が、前記水晶基板の表面と直接接合されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の水晶振動装置。
- 前記第1及び第2の導電性接着剤層が、エポキシ樹脂と、導電性材料とを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の水晶振動装置。
- 前記第1及び第2の導電性接着剤層が、長さ方向を有し、長さ方向最大寸法と、長さ方向最大寸法と直交する幅方向の最大寸法との比であるアスペクト比が1.5以上、3.0以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の水晶振動装置。
- 水晶振動子搭載面に第1及び第2の電極ランドが形成されているパッケージ材を用意する工程と、
一対の長辺及び一対の短辺を有する矩形板状の形状を有し、前記短辺の延びる方向が幅方向であり、該幅方向と直交する長さ方向において中央部から前記長さ方向端部にいくにつれて、厚みが薄くなっている水晶基板と、前記水晶基板に設けられた第1及び第2の振動電極と、前記第1及び第2の振動電極に連ねられている第1及び第2の引き出し電極とを有し、前記第1及び第2の引き出し電極が、前記水晶基板の下面に至っている部分を有する水晶振動子を用意する工程と、
前記水晶振動子の前記第1及び第2の引き出し電極の前記水晶基板の下面に位置している部分を第1及び第2の導電性接着剤を用い、前記パッケージ材の前記第1及び第2の電極ランドに接合することにより、前記第1及び第2の導電性接着剤層により前記水晶振動子を前記パッケージ材の前記水晶振動子搭載面に一方の前記短辺側において前記水晶振動子を片持ち梁で支持するように実装する工程とを備え、
前記第1及び第2の電極ランドが、前記幅方向内側の部分に比べ、前記幅方向外側の部分において厚くされている部分を有し、
前記パッケージ材の前記第1,第2の電極ランドと、前記水晶基板とを接合するに際し、平面視した場合、前記水晶基板を透視した領域内において、前記第1及び第2の電極ランドの前記幅方向内側の部分と前記幅方向外側の部分に至るように、かつ前記第1及び第2の導電性接着剤層が、2つの円または楕円が部分的に重なり合っている平面形状を有するように、それぞれ、2箇所に導電性接着剤を付与する、水晶振動装置の製造方法。
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