JP2009239414A - 圧電デバイスのパッケージの製造方法、および圧電デバイスのパッケージ構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パッケージ12を構成するパッケージベース16に圧電振動片30を実装するための内部実装電極22と圧電振動片30の自由端を支持するための枕24とを有する圧電デバイス10のパッケージ構造であって、枕24は上面の面積が大きな下層構成部材24aの上に上面の面積が小さな上層構成部材24b
,24cを配置する構成を採り、内部実装電極22と対向する側面に、階段状の段差部を持たせたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
まず、図1を参照して本発明の圧電デバイスのパッケージ構造に係る第1の実施形態について説明する。本実施形態に係る圧電デバイス10のパッケージ12は、パッケージベ
ース16とリッド14とから成る。前記パッケージベース16は、アルミナ等のセラミックスを焼成した底板20と、当該底板20に対して枠状に配置されたシームリング18とを有する、いわゆるリングキャビティ型のものである。ここで、シームリング18とは、パッケージに対して詳細を後述するリッドを溶接するための部材であるが、本実施形態では当該リングがキャビティを構成する役割も担う。また、このような役割を担うシームリング18の構成材料としては、鉄に対してニッケル、コバルトを配合した合金であるコバールなどを用いると良い。コバールは、熱膨張率が低く、底板20を構成するセラミックスと熱膨張率が近似し、パッケージベース16の反りやクラックを防ぐことができるからである。
基準として位置合わせを行うようにすれば良い。このようにして位置合わせを行って積層構造を形成することで、内部実装電極22に近い側の端部(第2の端部)27には、段差部が形成されることとなる。
その後、底板20に対してシームリング18を溶接し、内部には、規格に合わせた発振特性を有する圧電振動片30を実装し、リッド14とシームリング18を溶接する。
側の側面に階段状の段差部を形成した点にある。なお、構成材料としてはアルミナシートであると良く、表面に、タングステン、金等で、実装電極のパターンを形成するようにすれば良い。また、各段差部の厚みは、枕124における各構成部材の厚みに合わせるようにすれば良い。
Claims (6)
- 構成部材を積層させることにより所望する高さを得る構造の枕を持つ圧電デバイスのパッケージの製造方法であって、
上面の面積の大きな下層構成部材の上に、前記下層構成部材よりも上面の面積が小さな上層構成部材を配置する際に、
予め定めた基準点に基づいて位置合わせを行って積層工程を実施し、
圧電振動片を実装するためにパッケージ内部に配設される内部実装電極と対向する側面に段部を持った前記枕を形成したことを特徴とする圧電デバイスのパッケージの製造方法。 - 請求項1に記載の圧電デバイスのパッケージの製造方法であって、
前記枕を形成する際、前記下層構成部材と前記上層構成部材とを異なる材料としたことを特徴とする圧電デバイスのパッケージの製造方法。 - パッケージを構成するパッケージベースに圧電振動片を実装するための内部実装電極と前記圧電振動片の自由端の揺動を抑制するための枕とを有する圧電デバイスのパッケージ構造であって、
前記枕は上面の面積が大きな下層構成部材の上に上面の面積が小さな上層構成部材を配置する構成を採り、
前記内部実装電極と対向する側面に、階段状の段差部を持たせたことを特徴とする圧電デバイスのパッケージ構造。 - 請求項3に記載の圧電デバイスのパッケージ構造であって、
前記下層積層部材と前記上層積層部材との構成材料を異ならせたことを特徴とする圧電デバイスのパッケージ構造。 - 請求項3または請求項4に記載の圧電デバイスのパッケージ構造であって、
前記段差部における平面距離を少なくとも、実装対象とする圧電振動片における自由端端部から励振電極までの距離よりも短くしたことを特徴とする圧電デバイスのパッケージ構造。 - 請求項3乃至請求項5のいずれかに記載の圧電デバイスのパッケージ構造であって、
前記内部実装電極における前記枕と対向する側面に段差部を設け、各段差部の厚みは、前記枕を構成する前記下層構成部材、前記上層構成部材に合わせたことを特徴とする圧電デバイスのパッケージ構造。
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2008
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