JP2017118412A - 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電振動片の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態に係る圧電振動片について、図面を用いて説明する。図1は、第1実施形態に係る圧電振動片10の一例を示し、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A線に沿った断面図、(c)は座標系を示す図、(d)は変形例を示す要部断面図である。なお、図1(a)、(b)、及び(d)ではX´´´Y´´Z´´´座標系を用いて図中の方向を説明する。この座標系については後述する。
続いて、実施例1及び実施例2について、図面を用いて説明する。実施例1及び実施例2は、いずれも上記した第1実施形態に関する実施例であり、傾斜部14c,15cを有する。以下の説明において、第1実施形態と同一または同等の構成については同一符号を付して説明を省略または簡略化する。図3は第1実施形態に関する実施例を示し、(a)は実施例1を示す平面図、(b)は(a)のB−B線に沿った要部断面図、(c)は実施例2を示す要部断面図である。なお、図3(c)は、図3(a)のB−B線に沿った断面図に相当する図である。
続いて、第2実施形態について、図面を用いて説明する。以下の説明において、第1実施形態と同一または同等の構成については同一符号を付して説明を省略または簡略化する。図5は、第2実施形態に係る圧電振動片410の一例を示し、(a)は平面図、(b)は(a)のB−B線に沿った断面図、(c)は変形例を示す断面図である。なお、図5(c)は、図5(a)のC−C線に沿った断面図に相当する図である。図5に示すように、圧電振動片410は、振動片本体11と、一対の励振電極414,415と、バー電極18,19とを有する。
圧電振動片410の製造方法は、上記した第1実施形態に係る圧電振動片10の製造方法とほぼ同様である。ただし、圧電振動片410の製造方法では、振動部12の表面12a及び裏面12bにおいてバー電極18等を形成する工程(バー電極形成工程)が加わる。
続いて、実施例3〜実施例16について説明する。実施例3〜実施例16は、いずれも上記した第2実施形態に関する実施例であり、バー電極18等を有している。以下の説明において、第1実施形態と同一または同等の構成については同一符号を付して説明を省略または簡略化する。図6は第2実施形態に関する実施例を示し、(a)は実施例3を示す平面図、(b)は(a)の裏面図、(c)は実施例5を示す平面図、(d)は実施例5の要部平面図である。
第3実施形態に係る圧電デバイスの一例について図面を参照して説明する。図11に示すように、圧電デバイス100は、上記した実施例1に係る圧電振動片210と、ベース110と、カバー120と、リード131,132と、サポータ141,142と、を有している。なお、この圧電デバイス100は、圧電振動子である。ベース110及びカバー120は、例えば銅(Cu)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、42アロイ、コバールなどの金属製の板状の部材が用いられる。なお、ベース110及びカバー120は、金属製に代えて、例えば、安価かつ形成容易なセラミックス(アルミ化合物など)や、シリコン、ガラス、樹脂などが用いられてもよい。なお、圧電デバイス100における圧電振動片としては、実施例1の構成のものに限定されず、実施例1以外の上記した実施形態及び他の実施例の構成のものであってもよい。
先ず、サポータ141,142を接合したリード131,132を備えるベース110と、カバー120と、圧電振動片210とがそれぞれ用意される。続いて、圧電振動片210は、サポータ141,142間に差し込まれ、保持部143,144のスリットに+Z´´側及び−Z´´側の端部が嵌め込まれる。続いて、圧電振動片210のスリットに嵌め込まれた端部の外周面に沿って導電性接着剤220,220が塗布されることにより、圧電振動片210は保持部143,144に固定され、引出電極216,217とサポータ141,142とが電気的に接続される。
g…間隔
gb1…第1間隔
gb2…第2間隔
t…振動部の厚さ
10,210,310,410,510,610…圧電振動片
11,211…振動片本体
12…振動部
12a…表面
12b…裏面
14,15,214,215,314,315,414,415…励振電極
14a,15a,214a,215a,414a,415a…直線部分
14c,15c,214c,215c,314c,315c…傾斜部
18,19,618,619…バー電極
100…圧電デバイス
18A,19A,618A…第1バー電極(バー電極)
18B,19B,618B…第2バー電極(バー電極)
Claims (18)
- 振動部を有する振動片本体と、前記振動部の表面及び裏面にそれぞれ形成された少なくとも一対の励振電極と、を含む圧電振動片であって、
前記振動片本体は、水晶の結晶軸のZ軸回りに回転させ、さらにX´軸回りに回転させたX´´Z´´面と平行に切り出された2回回転水晶振動片であり、
前記一対の励振電極は、+X´´軸方向を基準としてY´´軸を中心に反時計回りに260°〜300°回転したX´´´軸より定まるZ´´´軸方向に配列されかつ前記Y´´軸方向に対して斜めに配置され、
前記一対の励振電極のそれぞれは、前記X´´´軸方向に延びる直線部分を有する半円状に形成されるとともに前記Y´´軸方向から見て互いに直線部分を対向または重ねた状態で配置され、
前記励振電極の前記直線部分には、前記励振電極の端部に向けて厚さが徐々に薄くなる傾斜部を有する圧電振動片。 - 前記傾斜部における前記Z´´´軸方向の幅は、前記圧電振動片の所望の振動とは異なる屈曲振動の波長の1.5倍以上の長さに設定される請求項1記載の圧電振動片。
- 前記傾斜部は、前記励振電極の端部に向けて階段状に厚さが徐々に薄くなる請求項1または請求項2記載の圧電振動片。
- 前記一対の励振電極は、前記Y´´軸方向から見て互いに対向する前記直線部分の間隔をgとし、かつ、前記振動部の厚さをtとした場合、g/tが0.183〜0.366に設定される請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の圧電振動片。
- 振動部を有する振動片本体と、前記振動部の表面及び裏面にそれぞれ形成された少なくとも一対の励振電極と、を含む圧電振動片であって、
前記振動片本体は、水晶の結晶軸のZ軸回りに回転させ、さらにX´軸回りに回転させたX´´Z´´面と平行に切り出された2回回転水晶振動片であり、
前記一対の励振電極は、+X´´軸方向を基準としてY´´軸を中心に反時計回りに260°〜300°回転したX´´´軸より定まるZ´´´軸方向に配列されかつ前記Y´´軸方向に対して斜めに配置され、
前記一対の励振電極のそれぞれは、前記X´´´軸方向に延びる直線部分を有する半円状に形成されるとともに前記Y´´軸方向から見て互いに直線部分を対向または重ねた状態で配置され、
前記振動部の表面及び裏面には、前記励振電極の前記直線部分側において前記直線部分から離間して配置されかつ前記Z´´´軸方向に所定幅を有し前記X´´´軸方向に延びるバー電極が設けられる圧電振動片。 - 前記バー電極は、前記X´´´軸方向において前記振動部の領域を含む長さに形成される請求項5記載の圧電振動片。
- 前記バー電極は、前記励振電極と同一の材料かつ同一の厚さで形成される請求項5または請求項6記載の圧電振動片。
- 前記バー電極は、前記Z´´´軸方向の幅が前記圧電振動片の所望の振動とは異なる屈曲振動の波長の0.17倍〜0.25倍の長さに設定され、かつ前記直線部分から前記屈曲振動の波長の0.25倍〜0.50倍の長さの間隔を空けて1本設けられる請求項5〜請求項7のいずれか1項に記載の圧電振動片。
- 前記バー電極は、前記振動部の表面及び裏面の少なくとも一方に、互いに平行して複数設けられる請求項5〜請求項7のいずれか1項に記載の圧電振動片。
- 前記複数のバー電極は、前記Z´´´軸方向の幅が同一に設定される請求項9記載の圧電振動片。
- 前記複数のバー電極は、前記直線部分から前記Z´´´軸方向に向けて、前記直線部分から第1間隔を空けて配置される第1バー電極と、前記第1バー電極から第2間隔を空けて配置される第2バー電極と、を有する請求項9または請求項10記載の圧電振動片。
- 前記第1バー電極と前記第2バー電極とは、前記Z´´´軸方向の幅が同一に設定される請求項11記載の圧電振動片。
- 第1バー電極及び第2バー電極の前記幅は、前記圧電振動片の所望の振動とは異なる屈曲振動の波長の0.15倍〜0.25倍の長さに設定され、前記第1間隔は前記屈曲振動の波長の0.25倍〜0.40倍の長さに設定され、前記第2間隔は前記屈曲振動の波長の0.25倍〜0.55倍の長さに設定される請求項12記載の圧電振動片。
- 第1バー電極及び第2バー電極の前記幅は、前記圧電振動片の所望の振動とは異なる屈曲振動の波長の0.15倍〜0.20倍の長さに設定され、前記第1間隔は前記屈曲振動の波長の0.45倍の長さに設定され、前記第2間隔は前記屈曲振動の波長の0.25倍〜0.55倍の長さに設定される請求項12記載の圧電振動片。
- 第1バー電極及び第2バー電極の前記幅は、前記圧電振動片の所望の振動とは異なる屈曲振動の波長の0.15倍の長さに設定され、前記第1間隔は前記屈曲振動の波長の0.50倍の長さに設定され、前記第2間隔は前記屈曲振動の波長の0.25倍〜0.50倍の長さに設定される請求項12記載の圧電振動片。
- 前記一対の励振電極は、前記Y´´軸方向から見て互いに対向する前記直線部分の間隔をgとし、かつ、前記振動部の厚さをtとした場合、g/tが0.183〜0.366に設定される請求項5〜請求項15のいずれか1項に記載の圧電振動片。
- 請求項1〜請求項16のいずれか1項に記載の圧電振動片を有する圧電デバイス。
- 請求項5〜請求項16のいずれか1項に記載の圧電振動片の製造方法であって、
前記振動片本体の表面及び裏面に前記励振電極を形成する励振電極形成工程と、
前記振動片本体の表面及び裏面に前記バー電極を形成するバー電極形成工程と、を含み、前記励振電極形成工程と前記バー電極形成工程とは同時に行われる圧電振動片の製造方法。
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Cited By (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10763821B2 (en) * | 2016-08-22 | 2020-09-01 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Crystal resonator |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4344010A (en) * | 1979-10-19 | 1982-08-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Acceleration resistant combination of opposite-handed piezoelectric crystals |
JPH0685598A (ja) | 1992-08-31 | 1994-03-25 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Scカットの水晶振動子 |
JP2002217675A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-08-02 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動素子の電極構造及び製造装置 |
EP1267426A3 (en) * | 2001-06-14 | 2005-06-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric transformer |
CN1237713C (zh) * | 2001-12-04 | 2006-01-18 | 株式会社村田制作所 | 压电滑动共振子、复合压电滑动共振子以及压电共振零件 |
CN2558087Y (zh) * | 2002-05-10 | 2003-06-25 | 浙江嘉康电子股份有限公司 | 小型片式压电元件振子 |
JP2004147246A (ja) * | 2002-10-28 | 2004-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子、それを用いたフィルタ及び圧電振動子の調整方法 |
CN1917365A (zh) * | 2006-08-25 | 2007-02-21 | 宁波大学 | 一种石英晶体谐振器 |
JP5216210B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2013-06-19 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動片および水晶振動デバイス |
JP4300431B2 (ja) * | 2007-01-15 | 2009-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ装置及びそれを用いた液体噴射ヘッド |
JP5279068B2 (ja) * | 2008-02-15 | 2013-09-04 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振子、フィルタ、通信モジュール、および通信装置 |
JP4555359B2 (ja) * | 2008-04-02 | 2010-09-29 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
WO2010098065A1 (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-02 | パナソニック株式会社 | 弾性波素子および弾性波フィルタ |
US7936110B2 (en) * | 2009-03-14 | 2011-05-03 | Delaware Capital Formation, Inc. | Lateral excitation of pure shear modes |
JP2010220164A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Seiko Epson Corp | ラム波型共振子及び発振器 |
JP5085682B2 (ja) * | 2010-04-26 | 2012-11-28 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
JP5883665B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2016-03-15 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動片及び水晶デバイス |
CN202586894U (zh) * | 2012-05-09 | 2012-12-05 | 深圳市新天源电子有限公司 | 具有双电极的石英晶体谐振器 |
JP6017189B2 (ja) * | 2012-06-12 | 2016-10-26 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2014204351A (ja) * | 2013-04-08 | 2014-10-27 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
JP2016021733A (ja) * | 2014-06-16 | 2016-02-04 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
CN104993044B (zh) * | 2015-07-22 | 2017-08-29 | 湖南嘉业达电子有限公司 | 一种压电陶瓷片正反面电极电气连接装置 |
JP2017079388A (ja) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子、電子機器及び移動体 |
JP2017192032A (ja) * | 2016-04-13 | 2017-10-19 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
JP2018074267A (ja) * | 2016-10-26 | 2018-05-10 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
-
2015
- 2015-12-25 JP JP2015253782A patent/JP2017118412A/ja active Pending
-
2016
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- 2016-12-22 CN CN201611196508.9A patent/CN107026632A/zh not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110002176A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-07-12 | 浙江大学台州研究院 | 一种石英晶片的散播式送料装置 |
CN110002176B (zh) * | 2018-12-17 | 2023-12-22 | 浙江大学台州研究院 | 一种石英晶片的散播式送料装置 |
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