JP2009065270A - メサ型振動片およびメサ型振動デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メサ型振動片10は、肉厚部14と、肉厚部14に隣接して設けた肉薄部16とを備えた素板12を有している。この素板12には、主振動として厚みすべり振動が励振する。この厚みすべり振動方向に交差する肉厚部14の端部14aのうち少なくともいずれか一方は、対向する端部14aに対して平行になった平行部14bと、平行部14bに対して曲がった屈曲部14cとを備えている。そして肉厚部14の端部14aの長さをMz、平行部14bの長さをMlとすると、Ml≧Mz/4の関係を満たすようになっている。
【選択図】図1
Description
このため本発明は、不要振動である輪郭振動と屈曲振動を抑圧したメサ型振動片およびメサ型振動デバイスを提供することを目的とする。
肉厚部の端部に切り欠き部を設けることにより、平行部に対して曲がった屈曲部を形成できる。この切り欠き部によって、平面視して肉厚部の角部を取り除いているので、不要振動である輪郭振動を抑圧できる。また不要振動である屈曲振動の伝搬方向は、厚みすべり振動方向と同じ方向である。このため厚みすべり振動方向に交差する方向に沿った肉厚部の端部が所定の長さ以上の平行部を備えることにより、屈曲振動を抑圧できる。
厚みすべり振動方向に対して交差する方向に沿った肉厚部の端部の片方または両方に屈曲部を設ける場合に、厚みすべり振動方向に交差する方向における屈曲部の長さを所定長にすることで、輪郭振動の抑圧効果を高くできる。
L1=(n+1/2)λ (nは整数)
の関係を満たすことを特徴とする適用例1または2に記載のメサ型振動片。
これにより肉厚部の一方の端部および他方の端部と屈曲振動の腹との位置が合うとともに、一方の端部と他方の端部とで屈曲振動の腹の凸になる方向が反転するので、屈曲振動を抑圧できる。
L4=(mλ/2)±0.05λ (mは正の整数)
L5=(pλ/2)±0.05λ (pは正の整数)
L4−L5=q×λ (qは整数)
の関係を満たすことを特徴とする適用例1ないし3のいずれかに記載のメサ型振動片。
これにより肉厚部の一方の端部と励振電極の一方の端部とで、屈曲振動の腹の凸になる方向が反転する。また肉厚部の他方の端部と励振電極の他方の端部とで、屈曲振動の腹の凸になる方向が反転する。これにより屈曲振動を抑圧できる。
平面視して励振電極の角部を取り除いているので、不要振動である輪郭振動を抑圧できる。また厚みすべり振動方向に交差する方向に沿った励振電極の端部が所定の長さ以上の電極平行部を備えることにより、屈曲振動を抑圧できる。
励振電極の端部に切り欠き部を設けることにより、電極平行部に対して曲がった電極屈曲部を形成できる。そして切り欠き部によって、矩形の励振電極の角部を取り除いているので、不要振動である輪郭振動を抑圧できる。また厚みすべり振動方向に交差する方向に沿った励振電極の端部が所定の長さ以上の電極平行部を備えることにより、屈曲振動を抑圧できる。
L2−L1=nλ±0.1λ ・・・(1)
ここでnは正の整数、λは屈曲振動の波長である。このλは、λ=2.6/F(Fはメサ型振動片10に生じる厚みすべり振動の共振周波数)の関係を満たすようになっている。
L4=(mλ/2)±0.05λ ・・・(2)
L5=(pλ/2)±0.05λ ・・・(3)
L4−L5=q×λ ・・・・・・・・(4)
ここでm,pは正の整数であり、qは整数である。
L1=(n+1/2)λ ・・・(5)
ここでnは正の整数である。
このような前述した関係を満たすように、肉厚部14の寸法および励振電極22の寸法を設定することにより、屈曲振動を抑圧している。
Claims (7)
- 主面に励振電極を設けた肉厚部と、前記肉厚部に隣接して設けた肉薄部とを備えた、主振動として厚みすべり振動を励振する素板を有し、
前記厚みすべり振動方向に交差する前記肉厚部の端部のうち少なくともいずれか一つの前記端部は、対向する端部に対して平行になった平行部と、前記平行部に対して曲がった屈曲部とを備え、
前記肉厚部の前記端部の長さをMz、前記平行部の長さをMlとすると、Ml≧Mz/4の関係を満たす、
ことを特徴とするメサ型振動片。 - いずれか一つの前記端部における前記平行部の両端に前記屈曲部を設けて、この屈曲部の長さの合計をMz/2とし、
または両方の前記端部に設けた前記屈曲部の長さをそれぞれMz/4とした、
ことを特徴とする請求項1に記載のメサ型振動片。 - 前記肉厚部の前記端部同士の距離をL1、不要振動である屈曲振動の波長をλとすると、前記L1は、
L1=(n+1/2)λ (nは整数)
の関係を満たすことを特徴とする請求項1または2に記載のメサ型振動片。 - 前記厚みすべり振動方向における前記肉厚部の一方の端部、前記励振電極の一方の端部、励振電極の他方の端部および肉厚部の他方の端部をこの順に配置して、
前記肉厚部の前記一方の端部と前記励振電極の前記一方の端部との距離をL4とし、前記励振電極の前記他方の端部と前記肉厚部の前記他方の端部との距離をL5とすると、
前記L4と前記L5は、
L4=(mλ/2)±0.05λ (mは正の整数)
L5=(pλ/2)±0.05λ (pは正の整数)
L4−L5=q×λ (qは整数)
の関係を満たすことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のメサ型振動片。 - 前記励振電極は、前記厚みすべり振動方向に交差する端部のうち少なくともいずれか一つの前記端部は、対向する端部に対して平行になった電極平行部と、前記電極平行部に対して曲がった電極屈曲部とを備えたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のメサ型振動片。
- 励振電極を主面に設けた肉厚部と、前記肉厚部に隣接して設けた肉薄部とを備えた、主振動として厚みすべり振動を励振する素板を有し、
前記厚みすべり振動方向に交差する励振電極の端部のうち少なくともいずれか一つの前記端部は、対向する端部に対して平行になった電極平行部と、前記電極平行部に対して曲がった電極屈曲部とを備え、
前記励振電極の前記端部の長さをEz、前記電極平行部の長さをElとすると、El≧Ez/4の関係を満たす、
ことを特徴とするメサ型振動片。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載のメサ型振動片をパッケージに収容したことを特徴とするメサ型振動デバイス。
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Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011205516A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、及び圧電振動子 |
JP2012249099A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Daishinku Corp | 圧電振動片 |
JP2013162266A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Seiko Epson Corp | 水晶基板、振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 |
US8536761B2 (en) | 2009-10-27 | 2013-09-17 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator having mesa type piezoelectric vibrating element |
US8614607B2 (en) | 2011-03-18 | 2013-12-24 | Seiko Epson | Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic device |
JP2014030112A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子 |
US9231183B2 (en) | 2012-03-19 | 2016-01-05 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device and electronic apparatus |
JP2016096583A (ja) * | 2016-02-08 | 2016-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | Scカット水晶基板、振動素子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 |
JP2016140025A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
US9431995B2 (en) | 2014-07-31 | 2016-08-30 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic device, and mobile object |
JP5988125B1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-09-07 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及び水晶振動デバイス |
JP2016171604A (ja) * | 2016-06-30 | 2016-09-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
JP2016174301A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
JP2016178500A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
US9712138B2 (en) | 2015-01-29 | 2017-07-18 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
CN107046410A (zh) * | 2016-02-05 | 2017-08-15 | 精工爱普生株式会社 | 振动片及其制造方法、振荡器、电子设备、移动体及基站 |
US9837982B2 (en) | 2011-03-09 | 2017-12-05 | Seiko Epson Corporation | Vibrating element, vibrator, oscillator, and electronic device with stepped excitation section |
JP2018088658A (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-07 | 京セラ株式会社 | 圧電振動素子及び圧電振動デバイス |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007053820A (ja) * | 2006-11-30 | 2007-03-01 | Epson Toyocom Corp | メサ型水晶振動子 |
JP2007124442A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子 |
-
2007
- 2007-09-04 JP JP2007229167A patent/JP5046012B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007124442A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子 |
JP2007053820A (ja) * | 2006-11-30 | 2007-03-01 | Epson Toyocom Corp | メサ型水晶振動子 |
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8638022B2 (en) | 2009-10-27 | 2014-01-28 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator having mesa type piezoelectric vibrating element |
US8536761B2 (en) | 2009-10-27 | 2013-09-17 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator having mesa type piezoelectric vibrating element |
JP2011205516A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、及び圧電振動子 |
US9837982B2 (en) | 2011-03-09 | 2017-12-05 | Seiko Epson Corporation | Vibrating element, vibrator, oscillator, and electronic device with stepped excitation section |
US9948275B2 (en) | 2011-03-18 | 2018-04-17 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic device |
US8614607B2 (en) | 2011-03-18 | 2013-12-24 | Seiko Epson | Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic device |
US9093634B2 (en) | 2011-03-18 | 2015-07-28 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic device |
JP2012249099A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Daishinku Corp | 圧電振動片 |
JP2013162266A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Seiko Epson Corp | 水晶基板、振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 |
US9231183B2 (en) | 2012-03-19 | 2016-01-05 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device and electronic apparatus |
JP2014030112A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子 |
US9431995B2 (en) | 2014-07-31 | 2016-08-30 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic device, and mobile object |
US9716484B2 (en) | 2014-07-31 | 2017-07-25 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic device, and mobile object |
US9712138B2 (en) | 2015-01-29 | 2017-07-18 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, resonator device, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
JP2016140025A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
JP5988125B1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-09-07 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及び水晶振動デバイス |
CN107210725A (zh) * | 2015-02-19 | 2017-09-26 | 株式会社村田制作所 | 水晶振子以及水晶振动器件 |
CN107210725B (zh) * | 2015-02-19 | 2020-06-02 | 株式会社村田制作所 | 水晶振子以及水晶振动器件 |
JP2016174301A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
JP2016178500A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
CN107046410A (zh) * | 2016-02-05 | 2017-08-15 | 精工爱普生株式会社 | 振动片及其制造方法、振荡器、电子设备、移动体及基站 |
CN107046410B (zh) * | 2016-02-05 | 2022-03-29 | 精工爱普生株式会社 | 振动片及其制造方法、振荡器、电子设备、移动体及基站 |
JP2016096583A (ja) * | 2016-02-08 | 2016-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | Scカット水晶基板、振動素子、電子デバイス、発振器、及び電子機器 |
JP2016171604A (ja) * | 2016-06-30 | 2016-09-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
JP2018088658A (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-07 | 京セラ株式会社 | 圧電振動素子及び圧電振動デバイス |
JP7008401B2 (ja) | 2016-11-30 | 2022-01-25 | 京セラ株式会社 | 水晶振動素子及び水晶振動デバイス |
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