JP2014030112A - 水晶振動素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面積が他の面と比べて大きな2つの面を主面としたとき、平板状の水晶板1と、この水晶板の両主面に設けられる励振電極3とを備え、前記水晶板が、一方の主面の前記励振電極が設けられる位置又は両方の主面の前記励振電極が設けられる位置に凸部2が設けられ、前記凸部の平面中心C1に対して、前記励振電極の平面中心C2が、15μm以下の範囲で前記水晶片の長辺側にズレて位置している。
【選択図】図1
Description
これら水晶振動子や水晶発振器は、内部に気密封止されたATカットの水晶板に励振電極が設けられた水晶振動素子が用いられている。
この水晶振動素子は、例えば、四角形状で平板状に形成された水晶板が用いられている。この水晶板は、両主面に凸部が設けられ、その凸部の表面に励振電極が設けられている。
この励振電極は、水晶板の両主面に設けられ、水晶板を挟んで対向させて設けられる。
ここで、一般的な水晶振動素子は、水晶板の主面の平面中心と、凸部の平面中心と、対向する励振電極の平面中心とが同一直線上に位置し、かつ、その直線が、水晶の結晶軸と並行となるように設計される。
なお、励振電極は、例えば、水晶板を保持具に整列させて、励振電極のパターンが設けられたメタルマスクで固定して、金属材料を水晶板に付着させることで形成することができる。
また、例えば、励振電極は、水晶板にフォトレジストを設けて励振電極のパターンとなるようにフォトレジストを感光させて不要部分を除去し、金属材料を付着させた後にウェットエッチングでフォトレジストを除去することにより形成することができる。
また、励振電極が、水晶板の中心からズレてしまう場合があり、振動漏れが生じる恐れもあった。
水晶板1は、例えば、ATカットの水晶片で平板状に形成されており、一方の主面に凸部2が設けられている。
この凸部2は、平面形状が例えば、楕円形状となっており、楕円の短径側の縁が水晶板1の平行する2つの長辺に接した状態となっている。
また、凸部2は、その平面中心が水晶板1の平面中心C1と一致した状態で形成されている。
ここで、水晶板1の一方の主面の励振電極3が設けられる位置に凸部2が設けられる。
つまり、水晶板1の一方の主面に楕円形状の凸部2が設けられ、他方の主面が平面状態となって形成されている。この楕円形状の凸部2の平面内に励振電極3が形成される。
この励振電極3は、その平面中心C2が、凸部2の平面中心C1に対して、水晶片1の長辺側に15μm以下の範囲内にズレた位置に設けられている。
言い換えると、図1(a)及び(b)に示すように、励振電極3は、凸部2の平面中心を起点として、水晶片1の短辺と並行する軸方向とその反対方向のどちらかに15μm以下の範囲内に位置して設けられている。
また、励振電極3は、水晶板1の他方の主面にも設けられており、凸部2に設けられた励振電極3と対向した状態となっている。
ATカットの水晶ウェハ(図示せず)に耐食膜(図示せず)を設けた上にフォトレジスト(図示せず)を設ける。
凸部2とする部分と形成後に水晶板1を保持する部分(図示せず)以外の部分のフォトレジストを感光させ、感光させた部分を除去する。
露出した耐食膜を除去して水晶ウェハの表面を露出させ、ウェットエッチングにより露出した水晶ウェハに凹み部分を形成する。
凹み部分にフォトレジストを設けて、水晶板(図示せず)となる部分以外の部分を感光させ、感光させた部分を除去する。
フォトレジストと耐食膜を除去して、水晶板1を形成する。
水晶板1が設けられた水晶ウェハに耐食膜を設けてフォトレジストを設ける。
水晶ウェハの一方の主面に設けられる凸部の平面部分とその反対側となる水晶ウェハの他方の主面とに励振電極3を設けるためのパターンをフォトレジストに感光させる。
このとき、水晶ウェハに設けた水晶板の形状と前記マスクとの重ね合わせにおいて、マスクに設けたパターンの平面形状の中心と凸部の平面中心とを用いる。
この状態で露光を行い、フォトレジストを感光させれば、凸部の平面中心を起点として、水晶板1の短辺と並行する軸方向とその反対方向のどちらかに15μm以下の範囲内に励振電極3の形成が可能となる。
例えば、1つ又は複数の水晶板の凸部の平面中心とマスクのパターンの平面中心とを観察して位置合わせを行うのが良い。
なお、この位置合わせは、素子の外形形状の向きと対応させて行われるのは言うまでもない。
これにより、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を形成することができる。
次に本発明の実施形態に係る水晶振動素子の変形例について説明する。
例えば、本発明の実施形態に係る水晶振動素子の変形例は、水晶板の両主面に凸部(図示せず)が設けられて構成されている。
つまり、水晶板の両主面に設けられた凸部の平面上に励振電極がそれぞれ設けられている。
この励振電極は、凸部の平面中心を起点として、短辺と並行する軸方向とその反対方向のどちらかに15μm以下の範囲内に位置して設けられ、それぞれ対向している。
このように構成しても本発明の実施形態に係る水晶振動素子と同様の効果を奏する。
2 凸部
3 励振電極
Claims (1)
- 平面積が他の面と比べて大きな2つの面を主面としたとき、
平板状の水晶板と、
この水晶板の両主面に設けられる励振電極とを備え、
前記水晶板が、
一方の主面の前記励振電極が設けられる位置又は両方の主面の前記励振電極が設けられる位置に凸部が設けられ、
前記凸部の平面中心に対して、前記励振電極の平面中心が、
15μm以下の範囲で前記水晶片の長辺側にズレて位置していることを特徴とする水晶振動素子。
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