JP2014175811A - 水晶振動素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 平面視四角形状であって長辺の長さが1mm以下の平板状の水晶片と、この水晶片の主面に設けられる楕円形状の凸部と、この水晶片の両主面に設けられ凸部を覆う励振電極と、この水晶片の一方の端部に設けられ、励振電極と接続する引き回しパターンとを備え、励振電極が、水晶片の前記引き回しパターンが設けられる側の輪郭が曲線となり、他の輪郭が水晶片の輪郭に沿って形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
この水晶片は、例えば、ATカットの水晶ウェハを従来周知のフォトリソグラフィ技術とエッチング技術を用いることで形成することができる。
このような水晶振動素子は、四角形に形成され主面に凸部が形成された水晶片と、この水晶片の両主面中央に設けられる角部が丸められた四角形状の励振電極と、この励振電極と接続され水晶片の一方の端部に設けられる引き回しパターンとから構成されている。
ここで、水晶片の主面には角部が丸められた四角形状の凸部が設けられており、この凸部の平面中心が水晶片の平面中心に合わせて設けられている。
また、励振電極は、水晶片に設けられた凸部の平面内に設けられており、平面中心を凸部の平面中心と一致させた位置に設けられている(例えば、特許文献1参照)。
なお、凸部と励振電極とが楕円形状となる水晶振動素子も提案されている(例えば、特許文献2参照)。
しかしながら、水晶片の大きさは小さく構成されるようになり、水晶片に設けられる励振電極が四角形状となる場合、この水晶振動素子を振動子や発振器で用いるために水晶振動素子を搭載するための搭載パッドが設けられたパッケージに当該水晶振動素子を実装すると、水晶振動素子の励振電極とパッケージの搭載パッドとの距離が従来よりも近くなり、CI値(クリスタル・インピーダンス値)が増加することがあった。
また、励振電極の形状を楕円形状とする場合、励振電極と搭載パッドとの距離を四角形状の励振電極の場合よりは離れた位置で構成できるが、電極の面積が確保できないことによりエネルギー閉じ込めが不十分となってCI値が増加することが懸念される。また、このような場合、等価直列容量C1の値が小さくなり、周波数可変感度を確保できなくなることが懸念される。
図1に示すように、本発明の第一の実施形態に係る水晶振動素子11は、四角形状の平板に形成された水晶片1とこの水晶片1の両主面に設けられる励振電極2と、この励振電極2と接続し水晶片1の一方の端部へ引き回されている引き回しパターン3とから構成されている。
この本発明の第一の実施形態に係る水晶振動素子11は、水晶片1の長辺の中心を通る中心線と水晶片1の短辺の中心を通る中心線との交点が水晶片1の平面中心C1となる。
なお、この水晶片1は、長辺がX軸と平行であり、短辺がZ´軸と平行であり、厚みがY´軸方向と平行に形成されている。
このような形状で水晶片が形成されているので、エネルギー閉じ込めをしやすくすることができる。
なお、水晶片1は、引き回しパターン3が設けられる端部をX軸の+X方向とし、反対側の端部を−X方向としている。
この励振電極2は、曲線部分を例えば、楕円形状としても良い。この場合の励振電極2は、楕円を短径に沿って切断し、四角形を繋ぎ合わせた形状となっている。
また、引き回し配線3bは、水晶片1の主面の縁に沿って直線で形成されており、励振電極2から接続パッド3aまで設けられている。
また、長辺の長さが1mm以下の平板状の水晶片を用いた場合は、励振電極2の面積を広くすることができるので、等価直列容量C1が大きくなり、周波数可変感度を向上させることができる。
図2に示すように、本発明の第二の実施形態に係る水晶振動素子12は、四角形状で凸部が設けられた水晶片1とこの水晶片1の両主面に設けられる励振電極2と、この励振電極2と接続し水晶片1の一方の端部へ引き回されている引き回しパターン3とから構成されている。
この本発明の実施形態に係る水晶振動素子12は、水晶片1の長辺の中心を通る中心線と水晶片1の短辺の中心を通る中心線との交点が水晶片1の平面中心C1であり、凸部の平面中心C2が水晶片1の平面中心C1と同一の位置となっている。
なお、この水晶片1は、長辺がX軸と平行であり、短辺がZ´軸と平行であり、厚みがY´軸方向と平行に形成されている。
また、図2に示すように、この水晶片1の両主面には、凸部1aが設けられている。これら凸部1aの平面中心C2は、平面視における水晶片1の投影面の中心C1に対して同一の位置となっている。
なお、水晶片1は、引き回しパターン3が設けられる端部をX軸の+X方向とし、反対側の端部を−X方向としている。
この励振電極2は、水晶片1の引き回しパターン3が設けられる側の輪郭が曲線となり、他の輪郭が水晶片1の輪郭に沿いつつ当該輪郭から所定の間隔をあけて形成されている。
この励振電極2は、曲線部分を、例えば、凸部の楕円形状に沿って形成した楕円形状としても良い。この場合の励振電極2は、楕円を短径に沿って切断し、四角形を繋ぎ合わせた形状となっている。
また、引き回し配線3bは、水晶片1の主面の縁に沿って直線で形成されており、励振電極2から接続パッド3aまで設けられている。
また、長辺の長さが1mm以下の平板状の水晶片を用いた場合は、励振電極の面積を広くすることができるので、等価直列容量C1が大きくなり、周波数可変感度を向上させることができる。
ここで、A状態は、水晶振動素子の状態としている。B状態は、水晶振動素子をパッケージ(図示せず)に搭載した状態としている。C状態は、パッケージに水晶振動素子をマウントした後に蓋部材(図示せず)で水晶振動素子を封止した状態としている。
また、長辺の長さが1mm以下の平板状の水晶片を用いた場合は、励振電極の面積を広くすることができるので、等価直列容量C1が大きくなり、周波数可変感度を向上させることができる。
1 水晶片
1a 凸部
2 励振電極
3 引き回しパターン
C1,C2 平面中心
Claims (3)
- 平面視四角形状であって長辺の長さが1mm以下の平板状の水晶片と、
この水晶片の両主面に設けられる励振電極と、
この水晶片の一方の端部に設けられ、前記励振電極と接続する引き回しパターンとを備え、
前記励振電極が、前記水晶片の前記引き回しパターンが設けられる側の輪郭が曲線となり、他の輪郭が水晶片の輪郭に沿って形成されていることを特徴とする水晶振動素子。 - 平面視四角形状であって長辺の長さが1mm以下の平板状の水晶片と、
この水晶片の主面に設けられる楕円形状の凸部と、
この水晶片の両主面に設けられ前記凸部を覆う励振電極と、
この水晶片の一方の端部に設けられ、前記励振電極と接続する引き回しパターンとを備え、
前記励振電極が、前記水晶片の前記引き回しパターンが設けられる側の輪郭が曲線となり、他の輪郭が水晶片の輪郭に沿って形成されていることを特徴とする水晶振動素子。 - 前記曲線の部分が楕円の一部の曲線となっていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の水晶振動素子。
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