JP2014036426A - 圧電振動片及び圧電デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、キャビティのリークを抑えることができる圧電振動片及び圧電デバイスを提供する
【解決手段】圧電振動片（１３０）は、短辺及び長辺を有する矩形形状であり両主面に励振電極（１３４ａ）が形成され所定の振動数で振動する振動部（１３１）と、振動部を囲み振動部に面する内周辺（１３２ａ）及び内周辺の反対側の外周辺（１３２ｂ）を有し内周辺から外周辺まで所定幅を有する枠部（１３２）と、振動部と枠部とを連結する連結部（１３３）と、励振電極から連結部を介して枠部に引き出される引出電極（１３５ａ、１３５ｂ）と、を備え、引出電極が枠部の内周辺及び外周辺に接し、引出電極の内周辺と外周辺とを繋ぐ端辺（１３８）の全てが所定幅よりも長く形成される。
【選択図】 図３

Description

本発明は、枠部が形成されている圧電振動片及び圧電デバイスに関する。

所定の振動数で振動する振動部と、振動部を囲むように形成される枠部と、振動部及び枠部を連結する連結部と、を有する圧電振動片が知られている。このような圧電振動片は、枠部の一方の主面及び他方の主面にそれぞれベース板及びリッド板が接合材を介して接合されて圧電デバイスが形成される。圧電振動片の振動部の両主面には一対の励振電極が形成され、各励振電極からは枠部にまでそれぞれ引出電極が引き出される。

例えば、特許文献１には、励振電極から枠部に引き出される引出電極が形成された圧電振動片が開示されている。枠部に引き出された引出電極は、枠部の一方の側から振動部の外側を周るように枠部の他方の側へ伸びている。また、枠部に形成された引出電極は、枠部の幅全体に形成されている。

特開２０１０−２００１１８号公報

しかし、特許文献１に示される圧電振動片が圧電デバイスに用いられた場合、枠部に形成される引出電極の端辺が腐食により侵食されて圧電デバイスの外部環境と内部とが繋がり、圧電デバイスのキャビティがリークするという問題がある。

本発明では、キャビティのリークを抑えることができる圧電振動片及び圧電デバイスを提供することを目的とする。

第１観点の圧電振動片は、短辺及び長辺を有する矩形形状であり、両主面に励振電極が形成され、所定の振動数で振動する振動部と、振動部を囲み、振動部に面する内周辺及び内周辺の反対側の外周辺を有し、内周辺から外周辺まで直交する所定幅を有する枠部と、振動部と枠部とを連結する連結部と、励振電極から連結部を介して枠部に引き出される引出電極と、を備え、引出電極が枠部の内周辺及び外周辺に接し、引出電極の内周辺と外周辺とを繋ぐ端辺の全てが所定幅よりも長く形成される。

第２観点の圧電振動片は、第１観点において、端辺が、複数の直線、曲線、又は長辺及び短辺に対して角度を有する直線の少なくとも１つを含んでいる。

第３観点の圧電振動片は、第２観点において、端辺が、Ｌ字状、扇状、櫛状、又はこれらの組み合わせによる形状により形成される。

第４観点の圧電振動片は、第１観点から第３観点において、引出電極が、第１金属層と第１金属層の表面に形成される第２金属層とにより形成され、第１金属層が、クロム（Ｃｒ）、クロム（Ｃｒ）及びニッケル（Ｎｉ）、もしくはクロム（Ｃｒ）及びニッケルタングステン（ＮｉＷ）により形成されている

第５観点の圧電デバイスは、第１観点から第４観点の圧電振動片と、枠部の一方の主面に接合されるベース板と、枠部の他方の主面に接合され、振動部を密封するリッド板と、圧電振動片及びベース板、並びに圧電振動片及びリッド板を接合する非導電性の接合材と、を備え、外周辺側から見ると、端辺と接合材とが接している。

本発明の圧電振動片及び圧電デバイスによれば、キャビティのリークを抑えることができる。

圧電デバイス１００の分解斜視図である。 （ａ）は、図１のＡ−Ａ断面図である。 （ｂ）は、図２（ａ）の点線１６１の拡大図である。 （ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。 （ｂ）は、＋Ｙ’軸側から見た圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の断面図である。 圧電ウエハＷ１３０の平面図である。 （ａ）は、圧電振動片２３０の平面図である。 （ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面から見た圧電振動片２３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。 （ａ）は、圧電振動片３３０の平面図である。 （ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面から見た圧電振動片３３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。 （ａ）は、圧電振動片４３０の平面図である。 （ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面から見た圧電振動片４３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。

以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

（第１実施形態）
＜圧電デバイス１００の構成＞
図１は、圧電デバイス１００の分解斜視図である。圧電デバイス１００は、リッド板１１０と、ベース板１２０と、圧電振動片１３０と、により構成されている。圧電振動片１３０、リッド板１１０、及びベース板１２０には例えばＡＴカットの水晶振動片が用いられる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス１００においては圧電デバイス１００の長辺方向をＸ軸方向、圧電デバイス１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。

圧電振動片１３０は、所定の振動数で振動する振動部１３１と、振動部１３１を囲む枠部１３２と、振動部１３１と枠部１３２とを連結する連結部１３３と、を有している。振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面にはそれぞれ励振電極１３４ａ及び励振電極１３４ｂが形成されており、励振電極１３４ａ及び励振電極１３４ｂからは連結部１３３を介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側にそれぞれ引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂが引き出されている。また、振動部１３１と枠部１３２との間には、圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通溝１３６が形成されている。

ベース板１２０は、＋Ｙ’軸側の面に、−Ｙ’軸側に凹んだ凹部１２１と、凹部１２１を囲む接合面１２２と、接合面１２２の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角に配置される接続電極１２３と、が形成されている。接合面１２２は、圧電振動片１３０の枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に接合材１４０（図２（ａ）参照）を介して接合される。また、ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面には一対の実装端子１２４が形成されている。さらに、ベース板１２０の側面の四隅にはキャスタレーション１２６が形成されており、＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側のキャスタレーション１２６の側面にはキャスタレーション電極１２５が形成されている。キャスタレーション電極１２５は、接続電極１２３と実装端子１２４とを電気的に接続している。また、−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角に形成されている接続電極１２３は圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角に引き出されている引出電極１３５ａに電気的に接続され、＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角に形成されている接続電極１２３は圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角に引き出されている引出電極１３５ｂに電気的に接続される。

リッド板１１０は、−Ｙ’軸側の面に、凹部１１１と、凹部１１１を囲む接合面１１２とが形成されている。接合面１１２は、圧電振動片１３０の枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面に接合材１４０（図２（ａ）参照）を介して接合される。

図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面図である。圧電デバイス１００は、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側にリッド板１１０が配置され、−Ｙ’軸側にベース板１２０が配置されている。また、圧電デバイス１００の内部には、リッド板１１０の凹部１１１及びベース板１２０の凹部１２１によりキャビティ１４１が形成されており、キャビティ１４１には圧電振動片１３０の振動部１３１が配置されている。キャビティ１４１は、リッド板１１０の接合面１１２と枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面との間、及びベース板１２０の接合面１２２と枠部１３２の−Ｙ’軸側の面との間に非導電性の接合材１４０が形成されることにより密封されている。また、枠部１３２に形成される引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂがベース板１２０に形成される接続電極１２３に電気的に接続されることにより、励振電極１３４ａ及び励振電極１３４ｂと一対の実装端子１２４とが電気的に接続される。

図２（ｂ）は、図２（ａ）の点線１６１の拡大図である。圧電振動片１３０及びベース板１２０に形成される各電極は、圧電振動片１３０及びベース板１２０を構成する水晶材の材料の表面に形成される第１金属層１５１ａと、第１金属層１５１ａの表面に形成される第２金属層１５１ｂとにより形成される。第１金属層１５１ａは、圧電振動片１３０等を構成する水晶材に各電極を良く密着させる役割を有し、第２金属層１５１ｂは各電極を保護する役割を有する。圧電デバイス１００に形成される第１金属層１５１ａは、例えば水晶材の表面に形成されるクロム（Ｃｒ）層１５２ａ、及びクロム（Ｃｒ）層１５２ａの表面に形成されるニッケルタングステン（ＮｉＷ）層１５２ｂにより構成される。クロム（Ｃｒ）は、水晶材と良く密着するため、各電極と水晶材とを互いに強く密着させ、各電極を水晶材に固定させることができる。また、ニッケルタングステン（ＮｉＷ）は、クロム（Ｃｒ）が第２金属層１５１ｂに拡散して水晶材とクロム（Ｃｒ）層１５２ａとの接合が弱くなることを防いでいる。第２金属層１５１ｂは、例えば金（Ａｕ）により形成することができる。金（Ａｕ）は化学的に安定であるため各電極を腐食等から保護することができる。圧電振動片１３０に形成される引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂは、図２（ｂ）に示されるように、圧電振動片１３０の枠部１３２の外周辺１３２ｂ（図３（ａ）参照）に接する引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂの第１金属層１５１ａ及び第２金属層１５１ｂが、圧電デバイス１００の外部環境に接するように形成されている。

図３（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。圧電振動片１３０の振動部１３１は、Ｘ軸に平行な長辺及びＺ’軸に平行な短辺を有する矩形形状に形成されている。枠部１３２は、振動部１３１に面する内周辺１３２ａと、内周辺１３２ａの反対側の外周辺１３２ｂと、を有している。連結部１３３は、振動部１３１の−Ｘ軸側の辺の中央と、枠部１３２の−Ｘ軸側の内周辺１３２ａの中央とを連結している。外周辺１３２ｂは、圧電振動片１３０が圧電デバイス１００の一部として形成された場合に、圧電デバイス１００の外部環境に接する。振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成される励振電極１３４ａからは、連結部１３３を通り、枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側にまで引出電極１３５ａが引き出されている。また、引出電極１３５ａは貫通溝１３６の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の側面１３６ａを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。引出電極１３５ａが形成される貫通溝１３６の側面１３６ａは、主に振動部１３１の−Ｘ軸側の辺の＋Ｚ’軸側、連結部１３３の＋Ｚ’軸側、及び枠部１３２の内周辺１３２ａの−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側を含んでいる。

振動部１３１の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側に配置されるＸ軸方向に伸びる枠部１３２のＺ’軸方向の幅を幅Ｗ１、振動部１３１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側に配置されるＺ’軸方向に伸びる枠部１３２のＸ軸方向の幅を幅Ｗ２とする。圧電振動片１３０では、幅Ｗ１と幅Ｗ２との大きさが等しく形成されている。また、枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面に形成されている引出電極１３５ａは、枠部１３２の幅いっぱいに形成されている。そのため、枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面に形成される引出電極１３５ａは、枠部１３２の内周辺１３２ａに接する辺と、枠部１３２の外周辺１３２ｂに接する辺と、内周辺１３２ａ及び外周辺１３２ｂに接していない辺であり、内周辺１３２ａと外周辺１３２ｂとを繋ぐ辺である端辺１３８とを含む。枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面に形成されている引出電極１３５ａの各端辺１３８は、Ｘ軸方向に伸びる直線及びＺ’軸方向に伸びる直線を含んでＬ字状に形成されている。そのため、各端辺１３８の長さは、枠部１３２の幅Ｗ１及び幅Ｗ２よりも長く形成される。

図３（ｂ）は、＋Ｙ’軸側から見た圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の断面図である。振動部１３１の−Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４ｂからは、−Ｘ軸方向に引出電極１３５ｂが伸びており、引出電極１３５ｂは連結部１３３を介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側にまで引き出されている。また、貫通溝１３６の側面１３６ａを介して引出電極１３５ａが＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引き出されており、引出電極１３５ａはさらに圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角にまで引き出されている。枠部１３２の−Ｙ’軸側に形成される引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂは、枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面に形成されている引出電極１３５ａと同様に枠部１３２の幅いっぱいに形成されており、全ての端辺１３８がＬ字状に形成されている。

圧電振動片１３０では、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示されるように、枠部１３２に形成される引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂは、枠部１３２の幅Ｗ１及び幅Ｗ２の幅いっぱいに形成されている。そのため、圧電振動片１３０では引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂに起因する電気抵抗の上昇が抑えられており、圧電振動片１３０のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値の上昇が抑えられている。

図４は、圧電ウエハＷ１３０の平面図である。図４を参照して圧電振動片１３０の形成方法について説明する。圧電振動片は、圧電材により形成される圧電ウエハに多数の圧電振動片を形成することにより、同時に多数の圧電振動片を形成することができる。図４には、複数の圧電振動片１３０が形成された圧電ウエハＷ１３０が示されている。圧電振動片１３０は、圧電ウエハＷ１３０をエッチングすることにより圧電振動片１３０の外形が形成され、さらにクロム（Ｃｒ）、ニッケルタングステン（ＮｉＷ）、及び金（Ａｕ）がスパッタリングされることで励振電極１３４ａ、励振電極１３４ｂ、引出電極１３５ａ、及び引出電極１３５ｂが形成される。

図４に示される圧電ウエハＷ１３０には複数の圧電振動片１３０がＸ軸方向及びＺ’軸方向に並んで形成されている。また、図４では隣接する各圧電振動片１３０の間にスクライブライン１７１が示されている。圧電振動片１３０は、圧電ウエハＷ１３０のスクライブライン１７１に沿って切断されることにより個々の圧電振動片１３０に分離される。圧電振動片１３０に形成される引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂはこのスクライブライン１７１に重なるように形成されているため、引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂを枠部１３２の幅いっぱいに形成することができる。また、枠部１３２の外周辺１３２ｂは、スクライブライン１７１で切断された跡により形成される。そのため、図２（ｂ）に示されるように、引出電極１３５ａ及び引出電極１３５ｂの第１金属層１５１ａ及び第２金属層１５１ｂが圧電デバイス１００の外部環境に接するように形成される。

圧電デバイスは、特性劣化が無いように形成されなければならない。そのため、圧電デバイスは、耐湿試験及び塩水噴霧等を行うことにより特性劣化試験が行われる。このような劣悪な外部環境に接した電極は、腐食して侵食される。特に電極を形成する第１金属層１５１ａは腐食等に弱いため、外周辺１３２ｂに露出した第１金属層１５１ａは端辺を伝って引出電極の内周辺１３２ａ側にまで到達する場合がある。このように、電極の腐食が外周辺１３２ｂから内周辺１３２ａに到達すると、圧電デバイスのキャビティの密封が解かれてしまう。

圧電振動片１３０の端辺１３８は、複数の直線によりＬ字状に形成されることにより、端辺１３８の長さが枠部１３２の幅Ｗ１及び幅Ｗ２よりも長く形成される。そのため、外部環境に接する第１金属層１５１ａが腐食し侵食されても枠部１３２の外周辺１３２ｂから内周辺１３２ａに達しにくくなるため、圧電デバイス１００のキャビティの密封が解かれることが抑えられている

（第２実施形態）
引出電極の端辺は様々な形状に形成することができる。以下に端辺が様々な形状に形成された圧電振動片の変形例を示す。また、以下では、第１実施形態と同様の部分は第１実施形態と同じ番号を付してその説明を省略する。

＜圧電振動片２３０の構成＞
図５（ａ）は、圧電振動片２３０の平面図である。圧電振動片２３０は、振動部１３１と、枠部１３２と、連結部１３３と、により形成されている。振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ａが形成されており、励振電極１３４ａからは引出電極２３５ａが引き出されている。引出電極２３５ａは、励振電極１３４ａから−Ｘ軸方向に伸び、連結部１３３を通って枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側にまで引き出されている。また、引出電極２３５ａは、貫通溝１３６の側面１３６ａを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。引出電極２３５ａは枠部１３２の幅いっぱいに形成されるため、引出電極２３５ａには端辺２３８が形成される。端辺２３８は、引出電極２３５ａの外側に膨らむ扇状の曲線で形成されている。

図５（ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面から見た圧電振動片２３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。振動部１３１の−Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ｂが形成されている。励振電極１３４ｂからは引出電極２３５ｂが連結部１３３を介して枠部１３２の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角にまで形成されている。また、貫通溝１３６の側面１３６ａを介して＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引出電極２３５ａが引き出されている。引出電極２３５ａは枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角にまで形成されている。枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に形成されている引出電極２３５ａ及び引出電極２３５ａも枠部１３２の幅いっぱいに形成されており端辺２３８を有している。

圧電振動片２３０に形成される全ての端辺２３８は引出電極２３５ａ又は引出電極２３５ｂの外側に膨らむ扇状の曲線で形成されている。これにより、端辺２３８の長さは枠部１３２の幅Ｗ１及び幅Ｗ２よりも長く形成される。そのため、外周辺１３２ｂに露出した第１金属層１５１ａが腐食しても、侵食がキャビティ１４１内に到達しにくく、圧電デバイスのキャビティの密封が解かれることが抑えられている。また、圧電振動片２３０では、連結部１３３近傍の端辺２３８が引出電極の外側に膨らむ扇状の曲線で形成されることにより、連結部１３３付近の引出電極の幅を大きく細くすることがないため好ましい。

＜圧電振動片３３０の構成＞
図６（ａ）は、圧電振動片３３０の平面図である。圧電振動片３３０は、振動部１３１と、枠部１３２と、連結部１３３と、により形成されている。振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ａが形成されており、励振電極１３４ａからは引出電極３３５ａが引き出されている。引出電極３３５ａは、励振電極１３４ａから−Ｘ軸方向に伸び、連結部１３３を通って枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側にまで引き出されている。また、引出電極３３５ａは、貫通溝１３６の側面１３６ａを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。引出電極３３５ａは枠部１３２の幅いっぱいに形成されるため、引出電極３３５ａには端辺３３８が形成される。端辺３３８は、Ｘ軸及びＺ’軸に平行でない直線、すなわち、Ｘ軸及びＺ’軸に対して角度を有する直線を含んで形成されている。

図６（ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面から見た圧電振動片３３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。振動部１３１の−Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ｂが形成されている。励振電極１３４ｂからは引出電極３３５ｂが連結部１３３を介して枠部１３２の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角にまで形成されている。また、貫通溝１３６の側面１３６ａを介して＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引出電極３３５ａが引き出され、引出電極３３５ａは枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角にまで形成されている。枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に形成されている引出電極３３５ａ及び引出電極３３５ａにおいても端辺３３８が形成されている。

圧電振動片３３０は、端辺３３８がＸ軸及びＺ’軸に平行でない直線を含んで形成されていることにより、端辺３３８の長さが枠部１３２の幅Ｗ１及び幅Ｗ２よりも長く形成される。そのため、外周辺１３２ｂに露出した第１金属層１５１ａが腐食しても、侵食がキャビティ１４１内に到達しにくく、圧電デバイスのキャビティ１４１の密封が解かれることが抑えられている。

＜圧電振動片４３０の構成＞
図７（ａ）は、圧電振動片４３０の平面図である。圧電振動片４３０は、振動部１３１と、枠部１３２と、連結部１３３と、により形成されている。振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ａが形成されており、励振電極１３４ａからは引出電極４３５ａが引き出されている。引出電極４３５ａは、励振電極１３４ａから−Ｘ軸方向に伸び、連結部１３３を通って枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側にまで引き出されている。また、引出電極４３５ａは、貫通溝１３６の側面１３６ａを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。引出電極４３５ａは枠部１３２の幅いっぱいに形成されるため、引出電極４３５ａには端辺４３８が形成される。端辺４３８は、複数の直線が繋がった櫛状に形成されている。引出電極４３５ａは、連結部１３３に近い内周辺１３２ａ近傍では端辺４３８が櫛状に形成されていない。

図７（ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面から見た圧電振動片４３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。振動部１３１の−Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ｂが形成されている。励振電極１３４ｂからは引出電極４３５ｂが連結部１３３を介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角にまで形成されている。また、貫通溝１３６の側面１３６ａを介して＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引出電極４３５ａが引き出されている。引出電極４３５ａは枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角にまで形成されている。枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に形成されている引出電極４３５ａ及び引出電極４３５ａにおいても端辺４３８が形成されている。また、引出電極４３５ａ及び引出電極４３５ｂは、連結部１３３に近い内周辺１３２ａ近傍では端辺４３８が櫛状に形成されていない。

圧電振動片４３０は、端辺４３８が櫛状に形成されていることにより、端辺４３８の長さが枠部１３２の幅Ｗ１及び幅Ｗ２よりも長く形成される。そのため、外周辺１３２ｂに露出した第１金属層１５１ａが腐食しても、侵食がキャビティ１４１内に到達しにくく、圧電デバイスのキャビティ１４１の密封が解かれることが抑えられている。また、連結部１３３に近い内周辺１３２ａ近傍では端辺４３８が櫛状に形成されていないことにより、引出電極４３５ａ及び引出電極４３５ａの幅が大幅に細くなって引出電極４３５ａ及び引出電極４３５ａの電気抵抗が大きく上昇することが防がれている。

以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。

例えば、第１金属層１５１ａは、クロム（Ｃｒ）層１５２ａ及びニッケルタングステン（ＮｉＷ）層１５２ｂにより形成されていたが、クロム（Ｃｒ）層１５２ａのみで形成されていても良い。また第１金属層１５１ａは、ニッケルタングステン（ＮｉＷ）層１５２ｂの代わりにニッケル（Ｎｉ）層を用いることにより、クロム（Ｃｒ）層１５２ａ及びニッケル（Ｎｉ）層として形成されても良い。このとき、例えば引出電極１３５ａは、クロム（Ｃｒ）層１５２ａ及びクロム（Ｃｒ）層１５２ａの表面に形成されたニッケル（Ｎｉ）層により形成される第１金属層１５１ａと、ニッケル（Ｎｉ）層の表面に金（Ａｕ）層として形成される第２金属層１５１ｂと、により形成される。

また、上記の実施形態では圧電振動片にＡＴカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するＢＴカットの水晶振動片などであっても同様に適用できる。さらに圧電振動片は水晶材のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む圧電材に基本的に適用できる。

１００ … 圧電デバイス
１１０ … リッド板
１１１ … 凹部
１１２ … 接合面
１２０ … ベース板
１２１ … 凹部
１２２ … 接合面
１２３ … 接続電極
１２４ … 実装端子
１２５ … キャスタレーション電極
１２６ … キャスタレーション
１３０，２３０、３３０、４３０ … 圧電振動片
１３１ … 振動部
１３２ … 枠部
１３２ａ … 内周辺
１３２ｂ … 外周辺
１３３ … 連結部
１３４ａ、１３４ｂ … 励振電極
１３５ａ、１３５ｂ … 引出電極
１３６ … 貫通溝
１３８、２３８、３３８、４３８ … 端辺
１４０ … 接合材
１４１ … キャビティ
１５１ａ … 第１金属層
１５１ｂ … 第２金属層
１５２ａ … クロム（Ｃｒ）層
１５２ｂ … ニッケルタングステン（ＮｉＷ）層
１７１ … スクライブライン

Claims (5)

1. 短辺及び長辺を有する矩形形状であり、両主面に励振電極が形成され、所定の振動数で振動する振動部と、
   前記振動部を囲み、前記振動部に面する内周辺及び前記内周辺の反対側の外周辺を有し、前記内周辺から前記外周辺まで所定幅を有する枠部と、
   前記振動部と前記枠部とを連結する連結部と、
   前記励振電極から前記連結部を介して前記枠部に引き出される引出電極と、を備え、
   前記引出電極は、前記枠部の前記内周辺及び前記外周辺に接し、前記引出電極の前記内周辺と前記外周辺とを繋ぐ端辺の全ては、前記所定幅よりも長く形成される圧電振動片。
2. 前記端辺は、複数の直線、曲線、又は前記長辺及び前記短辺に対して角度を有する直線の少なくとも１つを含んでいる請求項１に記載の圧電振動片。
3. 前記端辺は、Ｌ字状、扇状、櫛状、又はこれらの組み合わせによる形状により形成される請求項２に記載の圧電振動片。
4. 前記引出電極は、第１金属層と前記第１金属層の表面に形成される第２金属層とにより形成され、前記第１金属層は、クロム（Ｃｒ）、クロム（Ｃｒ）及びニッケル（Ｎｉ）、もしくはクロム（Ｃｒ）及びニッケルタングステン（ＮｉＷ）により形成されている請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
5. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の圧電振動片と、
   前記枠部の一方の主面に接合されるベース板と、
   前記枠部の他方の主面に接合され、前記振動部を密封するリッド板と、
   前記圧電振動片及び前記ベース板、並びに前記圧電振動片及び前記リッド板を接合する非導電性の接合材と、を備え、
   前記外周辺側から見ると、前記端辺と前記接合材とが接している圧電デバイス。