JP5637868B2 - 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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<圧電デバイス100の構成>
図1は、圧電デバイス100の分解斜視図である。圧電デバイス100は、表面実装型の圧電振動子であり、プリント基板等に実装されて使用される。圧電デバイス100は主に、圧電フレーム10と、リッド部20と、ベース部30とにより構成されている。リッド部20及びベース部30には、水晶材及びガラス等の電気を通さない絶縁材が用いられる。また、圧電フレーム10には例えばATカットの水晶材が用いられる。ATカットの水晶材は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。以下の説明では、ATカットの水晶材の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス100において圧電デバイス100の長手方向をX軸方向、圧電デバイス100の高さ方向をY’軸方向、X及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。
図4は、圧電デバイス100の製造方法が示されたフローチャートである。
まず、ステップS101で圧電ウエハW10が用意される。圧電ウエハW10には複数の圧電フレーム10が形成されている。圧電ウエハW10について図5(a)及び図5(b)を参照して説明する。
圧電フレームは、圧電フレームのある中心軸に対して線対称(180°回転しても同じ形状となる)になるように形成することができる。このような圧電フレームは、+Y’軸側の面及び−Y’軸側の面のどちらにベース部又はリッド部を接合するか判別する手間が省けるため好ましい。以下に、圧電フレームのある中心軸に対して線対称になるように形成されている圧電フレーム110、及び圧電フレーム110が使用された圧電デバイス200について説明する。また以下の説明では圧電デバイス100とその構成が同じ部分は圧電デバイス100と同じ番号を付してその説明を省略する。
図8は、圧電デバイス200の分解斜視図である。圧電デバイス200は主に、水晶フレーム110と、リッド部20と、ベース部30とにより構成されており、水晶フレーム110の+Y’軸側にリッド部20が配置され、−Y’軸側にベース部30が配置される。
圧電デバイス200の製造方法は、図4に示された圧電デバイス100の製造方法と同じである。ただ、ステップS101の圧電ウエハが用意されるステップで用意される圧電ウエハW110は圧電デバイス100の圧電ウエハW10とは異なる。以下に図10(a)及び図10(b)を参照して圧電ウエハW110について説明する。
圧電デバイスは、ベース部の−Y’軸側の面の4箇所に外部電極を形成し、ベース部と圧電フレームとを接合する前にこの4箇所のどの外部電極を使用するかを選択可能な構成とすることができる。以下に、使用する外部電極を選択することができる圧電デバイス300について説明する。また以下の説明では圧電デバイス100及び圧電デバイス200とその構成が同じ部分には同じ番号を付してその説明を省略する。
図11は、圧電デバイス300の分解斜視図である。圧電デバイス300は、表面実装型の圧電発振器であり、プリント基板等に実装されて使用される。圧電デバイス300は主に、圧電フレーム210と、リッド部20と、ベース部230とにより構成されている。圧電フレーム210の+Y’軸側の面にリッド部20が配置され、−Y’軸側の面にベース部230が配置される。
圧電デバイスは、集積回路を組み込むことで発振回路を形成し、圧電発振器として形成することができる。以下に集積回路が組み込まれた圧電デバイス400について説明する。また以下の説明では圧電デバイス100から圧電デバイス300とその構成が同じ部分には同じ番号を付してその説明を省略する。
図12は、圧電デバイス400の分解斜視図である。圧電デバイス400は、表面実装型の圧電発振器であり、プリント基板等に実装されて使用される。圧電デバイス400は主に、圧電フレーム110と、リッド部20と、ベース部330と、集積回路350とにより構成されている。圧電デバイス400は、圧電フレーム110の+Y’軸側の面にはリッド部20が配置され、−Y’軸側の面にはベース部330が配置される。また、ベース部330の+Y’軸側には集積回路350が載置される。
図14は、圧電デバイス400の製造方法が示されたフローチャートである。
ステップS201では複数の圧電フレーム110が形成された圧電ウエハW110(図10(a)参照)が用意され、ステップS202では複数のリッド部20が形成されたリッドウエハW20(図6参照)が用意され、ステップS202では、複数のベース部330が形成されたベースウエハ(不図示)が用意される。ステップS201〜ステップS203は、図4のステップS101〜ステップS103と同様の工程である。
11 … 圧電振動部
12 … 枠部
13 … 貫通部
14、114 … 連結部
15 … 励振電極
16a、116a、216a … 第1引出電極
16b、116b、216b … 第2引出電極
17、35a、117 … 貫通孔
20 … リッド部
21、31、331 … 凹部
22、32、332 … 接合面
30、230 … ベース部
33、233a〜233d … 電極パッド
34、234a〜234d、334 … 外部電極
35、235a〜235d … キャスタレーション
36、236a〜236d … キャスタレーション電極
40 … 封止材
41 … スクライブライン
42 … 金属バンプ
100、200、300、400 … 圧電デバイス
217a … 第1主面
217b … 第2主面
333 … 接続電極
335 … 貫通電極
336 … 回路端子載置部
337 … 圧電端子載置部
350 … 集積回路
351 … 圧電端子
352 … 回路端子
L1〜L4 … 第1辺〜第4辺
M1 … 第1面、 M3 … 第3面
W10、W110 … 圧電ウエハ
W20 … リッドウエハ
W30 … ベースウエハ
Claims (9)
- 両主面に形成された一対の励振電極により振動する圧電振動部と、前記圧電振動部を囲む4辺からなる矩形状の枠部と、前記圧電振動部と前記枠部のうちの第1辺又は該第1辺の端部の近傍とを連結する1つ又は2つ以上の連結部と、を有する圧電フレームを備え、
前記圧電フレームの前記枠部は、
前記一対の励振電極の一方から前記連結部を介して前記第1辺の側に引き出された第1引出電極と、前記一対の励振電極の他方から前記連結部及び前記枠部の前記第1辺に交差する第2辺の前記圧電振動部の反対側の外側側面を介して前記第1辺に対向する側に引き出された第2引出電極とを備える圧電デバイス。 - 前記第2引出電極は、前記第2辺の両主面上に形成されている請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記第1引出電極は、前記枠部の前記第2辺に対向する側の前記圧電振動部の反対側の外側側面を介して形成される請求項1又は請求項2に記載の圧電デバイス。
- 前記枠部に接合され前記励振電極に電圧を印加する外部電極を前記第1辺の側と該第1辺に対向する側とに有するベース部を備え、
前記第1引出電極は前記第1辺の側に形成される前記外部電極に電気的に接続され、前記第2引出電極は前記第1辺に対向する側に形成される前記外部電極に電気的に接続される請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電デバイス。 - 前記ベース部の四隅にそれぞれ外部電極が形成され、前記第1引出電極が前記圧電フレームの四隅の一つである第1隅の両主面に形成され、前記第2引出電極が前記圧電フレームの四隅の一つであり前記第1隅とは異なる第2隅の両主面に形成されており、
前記圧電フレームのどちらの主面を前記ベース部に接合するかを選択することにより、前記一対の励振電極が接続される前記外部電極を選択することができる請求項4に記載の圧電デバイス。 - 前記圧電デバイスを発振させる発振回路を有する集積回路を備える請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
- 両主面に形成された一対の励振電極により振動する圧電振動部及び前記圧電振動部を囲む4辺からなる矩形状の枠部と前記圧電振動部と前記枠部のうちの第1辺又は該第1辺の端部の近傍とを連結する1つ又は2つ以上の連結部とを有する圧電フレームと、前記枠部に接合され前記励振電極に電圧を印加する外部電極を前記第1辺の側と該第1辺に対向する側とに有するベース部とを備える圧電デバイスの製造方法であって、
複数の前記圧電フレームを含み、隣り合う前記圧電フレームの間で且つ前記第1辺と交差する前記枠部の第2辺に前記圧電ウエハを貫通した貫通孔と、前記一対の励振電極と、前記一対の励振電極の一方から前記枠部の前記第1辺の側まで引き出した第1引出電極と、前記一対の励振電極の他方から前記連結部及び前記枠部の前記第1辺に交差する前記第2辺の前記圧電振動部の反対側の外側側面を介して前記第1辺に対向する側に引き出された第2引出電極と、が形成された圧電ウエハを用意する工程と、
前記一対の外部電極を含む複数の前記ベース部が形成されたベースウエハを用意する工程と、
前記圧電ウエハと前記ベースウエハとを接合する接合工程と、
を備える圧電デバイスの製造方法。
- 前記第1引出電極は、前記枠部の前記第2辺に対向する側の前記圧電振動部の反対側の外側側面を介して形成され、
前記切断工程前に、前記圧電デバイスを発振させる発振回路を有する複数の集積回路を用意する工程と、
前記ベースウエハに前記集積回路を載置する工程と、
前記接合工程後に、前記圧電デバイスを単位として切断する切断工程と、
前記切断工程後に、前記枠部の前記外側側面に形成された前記第1引出電極及び前記第2引出電極を介して前記圧電振動部の周波数特性を測定する測定工程と、
をさらに備える請求項7に記載の圧電デバイスの製造方法。 - 前記第2引出電極は、前記第2辺の両主面上に形成されている請求項7又は請求項8に記載の圧電デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011002777A JP5637868B2 (ja) | 2011-01-11 | 2011-01-11 | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011002777A JP5637868B2 (ja) | 2011-01-11 | 2011-01-11 | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2012147148A JP2012147148A (ja) | 2012-08-02 |
JP5637868B2 true JP5637868B2 (ja) | 2014-12-10 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2011002777A Active JP5637868B2 (ja) | 2011-01-11 | 2011-01-11 | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5637868B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4060972B2 (ja) * | 1999-01-29 | 2008-03-12 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2003198300A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-11 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片の電極形成用マスク、圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP4441258B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2010-03-31 | 京セラキンセキ株式会社 | 水晶振動子 |
JP2006148758A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子パッケージ |
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2011
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012147148A (ja) | 2012-08-02 |
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