JP2010074422A - 水晶振動子素子の製造方法、水晶振動子素子、水晶振動子及び水晶発振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状の水晶片の表面に当該水晶片を励振させるための薄膜状の電極を備えた水晶振動子素子を製造する方法において、前記水晶片の表面に、クロムからなり、厚さ20Å以上、45Å以下の第1の金属層を形成し(P4)、次いで前記第1の金属層の上面に、金または銀からなり、厚さ500Å以上、950Å以下の第2の金属層を形成して(P5)、これら第1の金属層及び第2の金属層からなる前記電極を設ける(P6)。しかる後、前記電極の形成された水晶基板を200℃以上、400℃以下の温度範囲で加熱して、前記第1の金属層を構成するクロムを前記第2の金属層内に拡散させる(P7)。
【選択図】図3
Description
前記水晶片の表面に、クロムからなり、厚さ20Å以上、45Å以下の第1の金属層を形成する工程と、
前記第1の金属層の上面に、金または銀からなり、厚さ500Å以上、950Å以下の第2の金属層を形成して、これら第1の金属層及び第2の金属層からなる前記電極を設ける工程と、
前記電極の形成された水晶基板を200℃以上、400℃以下の温度範囲に加熱して、前記第1の金属層を構成するクロムを前記第2の金属層内に拡散させる工程と、を備えたことを特徴とする。ここで前記水晶片の厚さは、1μm以上、100μm以下であることが好適である。
1 水晶振動子素子
2 水晶振動子
10 接続部
11 水晶片
12、13 励振電極
14、15 引き出し電極
21 パッケージ
22、24 電極
23 導電性接着剤
101 第1の金属層
102 第2の金属層
Claims (5)
- 板状の水晶片の表面に当該水晶片を励振させるための薄膜状の電極を備えた水晶振動子素子を製造する方法において、
前記水晶片の表面に、クロムからなり、厚さ20Å以上、45Å以下の第1の金属層を形成する工程と、
前記第1の金属層の上面に、金または銀からなり、厚さ500Å以上、950Å以下の第2の金属層を形成して、これら第1の金属層及び第2の金属層からなる前記電極を設ける工程と、
前記電極の形成された水晶基板を200℃以上、400℃以下の温度範囲に加熱して、前記第1の金属層を構成するクロムを前記第2の金属層内に拡散させる工程と、を含むことを特徴とする水晶振動子素子の製造方法。 - 前記水晶片の厚さは、1μm以上、100μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子素子の製造方法。
- 請求項1または2に記載の方法で製造されたことを特徴とする水晶振動子素子。
- 請求項3に記載の水晶振動子素子を密閉した容器と、この容器の外に設けられ、前記電極に電気的に接続された端子部と、を備えたことを特徴とする水晶振動子。
- 請求項3に記載の水晶振動子素子と、この水晶振動子素子を発振させるための発振回路と、を備えたことを特徴とする水晶発振器。
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