JP2017069647A - コイル内蔵水晶振動子、発振器、及びコイル内蔵水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
例えばW=1μmの場合(ストリップラインの間隔も1μm)、一辺が5mmの矩形渦巻状に形成すると、長さLが約120mm程度となる。パターンの厚みHが1000Åであれば、インダクタンス値は上記の式から約3μHとなり、例えば数μHのインダクタンス値を有するコイルパターン22Bを励振電極パターン22Aの周りに形成可能であることが確認できた。
(付記1)
水晶基板と、
前記水晶基板の両面に設けられた一対の励振電極と、
前記一対の励振電極のうち少なくとも一方の励振電極の周りに設けられたコイルパターンと
を備えたことを特徴とする、コイル内蔵水晶振動子。
(付記2)
前記コイルパターンは、前記一方の励振電極の励振電極パターンを囲む渦巻状のパターンであることを特徴とする、付記1記載のコイル内蔵水晶振動子。
(付記3)
前記一対の励振電極のうち他方の励振電極の励振電極パターンの周りに設けられたコイルパターンをさらに備えたことを特徴とする、請求項1または2記載のコイル内蔵水晶振動子。
(付記4)
前記コイルパターンのインダクタンス値は可変であることを特徴とする、付記1乃至3のいずれか1項記載のコイル内蔵水晶振動子。
(付記5)
前記コイルパターンのインダクタンス値を変える際にトリミングされる一または複数のトリミングポイントを有することを特徴とする、付記4記載のコイル内蔵水晶振動子。
(付記6)
前記水晶基板及び前記一対の励振電極を収納するパッケージを更に備えたことを特徴とする、付記1乃至5のいずれか1項記載のコイル内蔵水晶振動子。
(付記7)
前記水晶基板及び前記一対の励振電極を収納するパッケージと、
前記コイルパターンに対向する位置に設けられ、前記パッケージを封止する透明なリッドとを更に備えたことを特徴とする、付記1乃至5のいずれか1項記載のコイル内蔵水晶振動子。
(付記8)
付記6または7記載のコイル内蔵水晶振動子と、
前記パッケージに収納された発振回路とを備えたことを特徴とする、発振器。
(付記9)
水晶基板の両面に一対の電極膜を形成し、
前記一対の電極膜を一対の励振電極にパターニングする際に、少なくとも一方の励振電極の周りにコイルパターンを形成し、
前記水晶基板と前記一対の励振電極とを含む積層体の単位に切断してコイル内蔵水晶振動子を形成することを特徴とする、コイル内蔵水晶振動子の製造方法。
(付記10)
前記パターニングは、
各電極膜上にレジストを形成し、
各レジスト上にパターンを有するマスクを配置して各レジストを露光し、
露光された各レジストのパターンを現像し、
現像された各レジストのパターンをマスクにして各電極膜をエッチングし、
各レジストを除去することを特徴とする、付記9記載のコイル内蔵水晶振動子の製造方法。
(付記11)
前記コイルパターンを、前記一方の励振電極の励振電極パターンを囲む渦巻状のパターンに形成することを特徴とする、付記9または10記載のコイル内蔵水晶振動子の製造方法。
(付記12)
前記コイルパターンを、インダクタンス値を変える際にトリミングされる一または複数のトリミングポイントを有するパターンに形成することを特徴とする、付記9乃至11のいずれか1項記載のコイル内蔵水晶振動子の製造方法。
(付記13)
前記コイルパターンの前記一または複数のトリミングポイントをトリミングして、前記コイルパターンのインダクタンス値を変えることを特徴とする、付記12記載のコイル内蔵水晶振動子の製造方法。
22 励振電極
22A 励振電極パターン
22B コイルパターン
23 水晶基板
25−1〜25−4 電極
26−1,26−2 配線
31〜33 水晶振動子
225 トリミングポイント
226−1,226−2 引出パッド
500 リッド
600 ICチップ
Claims (6)
- 水晶基板と、
前記水晶基板の両面に設けられた一対の励振電極と、
前記一対の励振電極のうち少なくとも一方の励振電極の周りに設けられたコイルパターンと
を備えたことを特徴とする、コイル内蔵水晶振動子。 - 前記コイルパターンは、前記一方の励振電極の励振電極パターンを囲む渦巻状のパターンであることを特徴とする、請求項1記載のコイル内蔵水晶振動子。
- 前記コイルパターンのインダクタンス値は可変であることを特徴とする、請求項1または2記載のコイル内蔵水晶振動子。
- 前記水晶基板及び前記一対の励振電極を収納するパッケージと、
前記コイルパターンに対向する位置に設けられ、前記パッケージを封止する透明なリッドとを更に備えたことを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項記載のコイル内蔵水晶振動子。 - 請求項4記載のコイル内蔵水晶振動子と、
前記パッケージに収納された発振回路とを備えたことを特徴とする、発振器。 - 水晶基板の両面に一対の電極膜を形成し、
前記一対の電極膜を一対の励振電極にパターニングする際に、少なくとも一方の励振電極の周りにコイルパターンを形成し、
前記水晶基板と前記一対の励振電極とを含む積層体の単位に切断してコイル内蔵水晶振動子を形成することを特徴とする、コイル内蔵水晶振動子の製造方法。
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