JP2014023015A - 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 - Google Patents
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Abstract
【課題】汎用性のあるパッケージに実装可能でインダクタンスを有する振動素子を提供する。
【解決手段】振動部12及び支持部14を含む振動片10と、前記振動部の主面に設けられている励振電極20a、20bと、前記支持部の少なくとも一方の主面に設けられているパッド電極22bと、前記振動片の少なくとも一方の主面に設けられ、前記電極パッドの外縁に沿って設けられている螺旋状の電極パターン30と、を含み、前記電極パターンが、前記励振電極又は前記パッド電極に電気的に接続されている振動素子1。
【選択図】図1
【解決手段】振動部12及び支持部14を含む振動片10と、前記振動部の主面に設けられている励振電極20a、20bと、前記支持部の少なくとも一方の主面に設けられているパッド電極22bと、前記振動片の少なくとも一方の主面に設けられ、前記電極パッドの外縁に沿って設けられている螺旋状の電極パターン30と、を含み、前記電極パターンが、前記励振電極又は前記パッド電極に電気的に接続されている振動素子1。
【選択図】図1
Description
本発明は、振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体に関する。
従来より、圧電基板に励振電極を形成した圧電振動素子をパッケージ内に気密封止して構成された表面実装型の電子デバイスが広く用いられている。ここで、圧電振動素子は、水晶などの圧電基板を所定の角度及び厚さに切り出した薄板が固有の共振周波数を有する特性を利用するもので、例えば、圧電基板を所謂ATカットと呼ばれるカット角にて切り出した薄板を用いた厚み滑り振動をするATカット水晶振動素子などが利用される。
このような水晶振動素子を用いた電子デバイスとして、例えば、水晶振動素子と、その水晶振動素子を励振させる発振回路を含む半導体回路素子などの電子部品とを同一のパッケージ内に実装して封止した表面実装型の水晶発振器が、周波数や時間などの基準源として広く用いられている。
ところが、近年の携帯電話や情報端末などの小型化に対応し、水晶発振器の小型化を図ろうとすると、水晶振動素子の小型化に伴い、励振電極も小さくなるので、等価直列容量C1に対するパッケージの容量や電極間の浮遊容量の比率が大きくなり、その結果、水晶振動素子の容量比γが大きくなってしまう。そのため、電圧制御型水晶発振器に用いた場合、所望の周波数可変幅が得られないという問題があった。
このような水晶振動素子を用いた電子デバイスとして、例えば、水晶振動素子と、その水晶振動素子を励振させる発振回路を含む半導体回路素子などの電子部品とを同一のパッケージ内に実装して封止した表面実装型の水晶発振器が、周波数や時間などの基準源として広く用いられている。
ところが、近年の携帯電話や情報端末などの小型化に対応し、水晶発振器の小型化を図ろうとすると、水晶振動素子の小型化に伴い、励振電極も小さくなるので、等価直列容量C1に対するパッケージの容量や電極間の浮遊容量の比率が大きくなり、その結果、水晶振動素子の容量比γが大きくなってしまう。そのため、電圧制御型水晶発振器に用いた場合、所望の周波数可変幅が得られないという問題があった。
図11は、水晶振動素子をパッケージに封止した水晶振動子を用いた従来の電圧制御型の水晶発振器の一例を示す回路図であり、X1は水晶振動子、A1は増幅器、Ca及びCbはコンデンサー、D1は可変容量ダイオード、INは制御電圧入力端子、Rdは制御電圧印加用抵抗、OUTは電圧制御型水晶発振器の周波数出力端子をそれぞれ表す。
また、水晶振動子X1の一般的な等価回路は図12のように表される。図12において、L1は等価直列インダクタンス、C1は等価直列容量、R1は等価直列抵抗、C0は並列容量である。
水晶振動子X1からみた増幅器A1を含む回路側の負荷容量(合成容量)をCLとし、容量比をγ(C0/C1)とすると、この負荷容量CLによる共振周波数f0の変化量△f/f0は周知の次式で表される。
△f/f0=C0/(2γ(C0+CL))
即ち、電圧制御型水晶発振器の周波数は、発振ループ中の負荷容量の変化によりその共振周波数が変化する。
また、可変容量ダイオードD1は、その2端子間に印加する逆電圧に応じて容量値が変化するダイオードである。従って、可変容量ダイオードD1を発振ループ中に挿入し、その印加電圧を変化させることによって発振周波数を制御することができる。
また、水晶振動子X1の一般的な等価回路は図12のように表される。図12において、L1は等価直列インダクタンス、C1は等価直列容量、R1は等価直列抵抗、C0は並列容量である。
水晶振動子X1からみた増幅器A1を含む回路側の負荷容量(合成容量)をCLとし、容量比をγ(C0/C1)とすると、この負荷容量CLによる共振周波数f0の変化量△f/f0は周知の次式で表される。
△f/f0=C0/(2γ(C0+CL))
即ち、電圧制御型水晶発振器の周波数は、発振ループ中の負荷容量の変化によりその共振周波数が変化する。
また、可変容量ダイオードD1は、その2端子間に印加する逆電圧に応じて容量値が変化するダイオードである。従って、可変容量ダイオードD1を発振ループ中に挿入し、その印加電圧を変化させることによって発振周波数を制御することができる。
このような周波数可変幅の調整が行える圧電振動子として、パッケージにインダクター回路パターンを設けて、パッケージ内に収容する水晶振動素子にインダクタンスを接続した構成の水晶振動子が、例えば特許文献1に開示されている。このような目的で発振ループに挿入するインダクタンスを一般的に伸長コイル(あるいは、単に「コイル」)と称する。これは、水晶振動子X1に直列にインダクタンスを接続すると、共振周波数はインダクタンスを挿入する以前の周波数よりも低くなるが、反共振周波数は変化しないため、共振・反共振周波数間隔が広がるという原理に基づくものである。
しかしながら、特許文献1に開示されている水晶振動子では、インダクタンスとなる電極パターンが設けられている専用のパッケージが必要となるので、パッケージの汎用性がないという問題があった。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る振動素子は、振動部及び支持部を含む振動片と、前記振動部の主面に設けられている励振電極と、前記支持部の少なくとも一方の主面に設けられているパッド電極と、前記振動片の少なくとも一方の主面に設けられ、前記電極パッドの外縁に沿って設けられている螺旋状の電極パターンと、を含み、前記電極パターンが、前記励振電極又は前記パッド電極に電気的に接続されていることを特徴とする。
本適用例によれば、螺旋状の電極パターンによるインダクタンスが振動片上に形成されている振動素子であるため、汎用性のあるパッケージに実装することができ、低コスト化が図れるという効果がある。また、インダクタンスとなるコイルを必要とせずに発振器の周波数可変幅を大きくすることができるので、小型で低価格の発振器が構成できるという効果がある。
[適用例2]上記適用例に記載の振動素子において、前記電極パターンは、前記励振電極と直列接続又は並列接続されていることを特徴とする。
本適用例によれば、電極パターンによるインダクタンスと励振電極による振動素子とが直列接続した構成の場合、発振器の発振ループ中にインダクタンスを挿入したことになり、周波数可変幅を大きくできるという効果がある。また、並列接続した構成の場合は、発振器における各電極間の浮遊容量などの不要な容量の影響を抑制することができるという効果がある。
[適用例3]上記適用例に記載の振動素子において、前記振動片は、振動部と、前記振動部の外縁に沿って一体化され、前記振動部よりも厚みが薄い外縁部と、を含み、前記電極パターンは前記外縁部に設けられていることを特徴とする。
本適用例によれば、振動片の振動部がメサ構造であるため、輪郭系スプリアスとの結合を回避し、主振動のみの振動エネルギーを閉じ込めることができるため、CIが小さく、共振周波数近傍のスプリアスを抑制した振動素子が得られるという効果がある。
[適用例4]上記適用例に記載の振動素子において、前記振動片は、振動部と、前記振動部の外縁に沿って一体化され、前記振動部よりも厚みが厚い外縁部と、を含み、前記電極パターンは前記外縁部に設けられされていることを特徴とする。
本適用例によれば、振動片の振動部が非常に薄い高周波の振動素子であっても、振動部と一体化された厚肉部でマウントができるので、耐衝撃性や耐振動性に優れた高信頼性の振動素子が得られるという効果がある。
[適用例5]本適用例に係る振動子は、上記適用例に記載の振動素子と、前記振動素子が搭載されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、汎用性のあるパッケージが使用できるので、振動子の低コスト化が図れる。また、振動素子をパッケージに収容することで、温度変化や湿度変化などの外乱の影響や汚染による影響を防ぐことができるため、周波数再現性、周波数温度特性、CI温度特性及び周波数エージング特性に優れ、大きな周波数可変幅を有する振動子が得られるという効果がある。
[適用例6]本適用例に係る電子デバイスは、上記適用例に記載の振動素子と、発振回路と、前記振動素子と前記発振回路が搭載されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、汎用性のあるパッケージが使用できるので、電子デバイスの低コスト化が図れる。また、インダクタンスを有する振動素子を用いているので、周波数可変幅が大きい電圧制御型発振器などの電子デバイスが得られるという効果がある。
[適用例7]本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の振動素子を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、汎用性のあるパッケージが使用できるので、低価格であり、且つインダクタンスを有しているので、周波数調整幅が大きくでき高精度化が図れる振動素子を備えた電子機器が構成できるという効果がある。
[適用例8]本適用例に係る移動体は、上記適用例に記載の振動素子を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、汎用性のあるパッケージが使用でき、インダクタンスを有する振動素子を用いることで、低価格で、周波数調整精度が高く、安定で正確な電子制御ユニットを備えた移動体が構成できるという効果がある。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
(振動素子)
図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る振動素子としての水晶振動素子の一例を上側から視た概略平面図、図1(b)は図1(a)のA−A断面図である。
水晶を用いて形成される水晶振動素子1は、例えば、人工水晶原石の一部を結晶軸(光軸)を明確にしてブロック状に形成した水晶ランバートから所定の切断角度で切り出された単結晶基板としての水晶ウェハを用いて形成される。ここで、所定の切断角度とは、水晶の結晶軸に対して狙った角度だけ傾けたカット角を指し、本実施形態では、結晶軸から35°15′傾けた切断角度で切り出された所謂ATカット水晶を用いて形成された厚み滑り振動モードを呈する水晶振動素子1として説明する。このようなATカット水晶を用いた水晶振動素子1は、広範囲な温度領域において安定した周波数が得られる優れた温度特性を有する圧電振動素子である。
図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る振動素子としての水晶振動素子の一例を上側から視た概略平面図、図1(b)は図1(a)のA−A断面図である。
水晶を用いて形成される水晶振動素子1は、例えば、人工水晶原石の一部を結晶軸(光軸)を明確にしてブロック状に形成した水晶ランバートから所定の切断角度で切り出された単結晶基板としての水晶ウェハを用いて形成される。ここで、所定の切断角度とは、水晶の結晶軸に対して狙った角度だけ傾けたカット角を指し、本実施形態では、結晶軸から35°15′傾けた切断角度で切り出された所謂ATカット水晶を用いて形成された厚み滑り振動モードを呈する水晶振動素子1として説明する。このようなATカット水晶を用いた水晶振動素子1は、広範囲な温度領域において安定した周波数が得られる優れた温度特性を有する圧電振動素子である。
水晶振動素子1は、図1(a)に示すように、水晶振動片10と、励振電極20a、20bと、パッド電極22a、22bと、インダクタンス用の電極パターン30と、を備えている。水晶振動片10は、固定端(図1における水晶振動素子1の左側)となる支持部14と、自由端(図1における水晶振動素子1の右側)となる振動部12とを有している。支持部14は、振動部12と水晶振動素子1の固定端(左側)との間の領域をいう。ここで、本実施例の振動部12の厚みは、支持部14の厚みと同一である。振動部12の両主面上には、一対の励振電極20a、20bが対向させて設けられ、支持部14の一方の主面上には、パッド電極22a、22bと電極パターン30が設けられている。水晶振動片10の一方の主面上に形成された励振電極20a、パッド電極22a、22b、電極パターン30において、励振電極20aと螺旋状の電極パターン30の外周の一端とがリード電極21aにより電気的に接続され、螺旋状の電極パターン30の内周の他端がパッド電極22aと電気的に接続されている。これにより、励振電極20aとパッド電極22aとの間に電極パターン30による一つのインダクタンスが形成される。また、パッド電極22bはリード電極24bと側面電極23と水晶振動片10の他方の主面上に形成されたリード電極21bを介して、水晶振動片10の他方の主面上に形成された励振電極20bに電気的に接続されている。
図1(a)に示した実施形態では、励振電極20a、20bの形状が矩形の例を示したが、これに限定する必要はなく、励振電極20a、20bの形状は円形や楕円形であってもよい。
図1(a)に示した実施形態では、励振電極20a、20bの形状が矩形の例を示したが、これに限定する必要はなく、励振電極20a、20bの形状は円形や楕円形であってもよい。
なお、電極パターン30は水晶発振器などの発振回路の発振ループに挿入されるインダクタンスであり、一般に伸長コイルあるいは単にコイルと称される。電極パターン30によるインダクタンスが水晶振動素子と直列接続された構成となるため、発振器の周波数可変幅を大きくすることができる。本実施形態の電極パターン30は、水晶振動片10の支持部14の一方の主面上に、細長い配線が外周から内周に向けて矩形の渦巻き形状のコイルとして形成されている。なお、電極パターン30の形状はこれに限らず、配線によるインダクタンス用のパターンの始端から終端までの長さがなるべく長くなる形状であればよく、例えば、円弧を有する通常の渦巻き形状であってもよいし、一端部から他端部側へ多数回折り返された形状のコイルとして形成されていてもよい。
ここで、インダクタンス用の電極パターン30である矩形の渦巻き形状のコイルのインダクタンスの値について説明する。図2は内径0.5mm、ライン幅0.02mm、ライン間隔0.03mm、巻き数4、膜厚0.001mmである矩形の渦巻き形状のコイルの周波数50MHzから2GHzまでの範囲におけるインダクタンス値とQ値を電子回路シミュレーターにより計算した結果を示したものである。
図2より、周波数50MHzから2GHzまでの範囲において、インダクタンス値は約20nHとほぼ一定であり、Q値は0.4から9と非常に小さいことが明らかとなった。コイルのインダクタンス値が約20nHであることは、発振器の周波数可変幅を拡大するのに十分な値である。また、コイルのQ値が小さいことは、発振回路における各電極間の浮遊容量などの不要な容量CとコイルのLとにより生じるLC発振を回避できるため、非常に有利である。従って、水晶振動片10上に形成した矩形の渦巻き形状の電極によるインダクタンスは、不要なスプリアスの発生を回避し、発振器の周波数可変幅を大きくする上で、非常に効果がある。
ここで、インダクタンス用の電極パターン30である矩形の渦巻き形状のコイルのインダクタンスの値について説明する。図2は内径0.5mm、ライン幅0.02mm、ライン間隔0.03mm、巻き数4、膜厚0.001mmである矩形の渦巻き形状のコイルの周波数50MHzから2GHzまでの範囲におけるインダクタンス値とQ値を電子回路シミュレーターにより計算した結果を示したものである。
図2より、周波数50MHzから2GHzまでの範囲において、インダクタンス値は約20nHとほぼ一定であり、Q値は0.4から9と非常に小さいことが明らかとなった。コイルのインダクタンス値が約20nHであることは、発振器の周波数可変幅を拡大するのに十分な値である。また、コイルのQ値が小さいことは、発振回路における各電極間の浮遊容量などの不要な容量CとコイルのLとにより生じるLC発振を回避できるため、非常に有利である。従って、水晶振動片10上に形成した矩形の渦巻き形状の電極によるインダクタンスは、不要なスプリアスの発生を回避し、発振器の周波数可変幅を大きくする上で、非常に効果がある。
このような励振電極20a、20bや電極パターン30などの電極は、水晶ウェハをエッチングして水晶振動片10の外形を形成した後に、蒸着又はスパッタリングにより、例えばニッケル(Ni)又はクロム(Cr)を下地層として、その上に例えば金(Au)による金属膜を成膜し、その後フォトリソグラフィーを用いて電極をパターニングすることにより形成できる。
(振動素子の実施例2)
図3は、振動素子の第2の実施形態を説明するものであり、図3(a)は本発明の第2の実施形態に係る水晶振動素子の構造を上側から視た概略平面図、図3(b)は図3(a)のB−B断面図である。
図1に示す実施形態の水晶振動素子1の第2の実施例である水晶振動素子101は、図3(a)に示すように、水晶振動片110と、励振電極120a、120bと、パッド電極122a、122bと、インダクタンス用の電極パターン130と、を備えている。ここで、本実施例の振動部112は、水晶振動片110の両主面に形成されたメサ部116を含んでいることが特徴である。メサ部116が形成された振動部112の両主面上には一対の励振電極120a、120bが対向させて設けられている。なお、電極の配線や構成は、図1に示す実施形態の水晶振動素子1と同一なので説明を省略する。
本実施例の水晶振動素子101は、水晶振動片110の両主面にメサ部116が形成されたメサ構造であるため、輪郭系スプリアスとの結合を回避し、主振動のみの振動エネルギーを閉じ込めることができ、CIを小さくし、共振周波数近傍のスプリアスを抑制した振動素子とすることができる。
図3は、振動素子の第2の実施形態を説明するものであり、図3(a)は本発明の第2の実施形態に係る水晶振動素子の構造を上側から視た概略平面図、図3(b)は図3(a)のB−B断面図である。
図1に示す実施形態の水晶振動素子1の第2の実施例である水晶振動素子101は、図3(a)に示すように、水晶振動片110と、励振電極120a、120bと、パッド電極122a、122bと、インダクタンス用の電極パターン130と、を備えている。ここで、本実施例の振動部112は、水晶振動片110の両主面に形成されたメサ部116を含んでいることが特徴である。メサ部116が形成された振動部112の両主面上には一対の励振電極120a、120bが対向させて設けられている。なお、電極の配線や構成は、図1に示す実施形態の水晶振動素子1と同一なので説明を省略する。
本実施例の水晶振動素子101は、水晶振動片110の両主面にメサ部116が形成されたメサ構造であるため、輪郭系スプリアスとの結合を回避し、主振動のみの振動エネルギーを閉じ込めることができ、CIを小さくし、共振周波数近傍のスプリアスを抑制した振動素子とすることができる。
図3(a)に示した実施形態では、メサ部116の面積が励振電極120a、120bの面積よりも大きい例を示したが、これに限定する必要はなく、メサ部116の面積が励振電極120a、120bの面積と同じ、又は小さくてもよい。また、励振電極120a、120bとメサ部116の形状が矩形の例を示したが、これに限定する必要はなく、励振電極120a、120bとメサ部116の形状は円形や楕円形であってもよい。更に、振動部112の両主面上に段差が1段のメサ部116の例を示したが、これに限定する必要はなく、振動部112の両主面上に多段のメサ形状や振動部112の一方の面、又は他方の面のどちらか一方に1段から多段のメサ形状を有していてもよい。
(振動素子の実施例3)
図4は、振動素子の第3の実施形態を説明するものであり、図4(a)は本発明の第3の実施形態に係る水晶振動素子の構造を上側から視た概略平面図、図4(b)は図4(a)のC−C断面図である。
図1に示す実施形態の水晶振動素子1の第3の実施例である水晶振動素子201は、図4(a)に示すように、水晶振動片210と、励振電極220a、220bと、パッド電極222a、222bと、電極パターン230と、を備えている。ここで、本実施例の振動部212は、水晶振動片210の一方の主面に形成された凹部218の内低部と凹部218が形成されていない側の主面との間に挟まれていることが特徴である。また、支持部214は、水晶振動片210の両主面に挟まれた厚肉の部分で、且つ、振動部212と水晶振動片210の固定端(左側)との間の領域である。凹部218が形成された振動部212の両主面上には一対の励振電極220a、220bが対向させて設けられている。また、励振電極220a、220bからそれぞれのパッド電極222a、222bに接続するためのリード電極221a、221bは励振電極220a、220bからZ’軸方向に引き出されているが、これは、凹部218の形成によって生じる薄肉部と厚肉部による段差部分での断線を回避するためである。特に、X軸方向の薄肉部と厚肉部による段差部分は水晶の結晶異方性により、非常に鋭角で電極パターンの断線を生じ易い。なお、その他の電極の配線や構成は、図1に示す実施形態の水晶振動素子1とほぼ同一なので説明を省略する。
図4は、振動素子の第3の実施形態を説明するものであり、図4(a)は本発明の第3の実施形態に係る水晶振動素子の構造を上側から視た概略平面図、図4(b)は図4(a)のC−C断面図である。
図1に示す実施形態の水晶振動素子1の第3の実施例である水晶振動素子201は、図4(a)に示すように、水晶振動片210と、励振電極220a、220bと、パッド電極222a、222bと、電極パターン230と、を備えている。ここで、本実施例の振動部212は、水晶振動片210の一方の主面に形成された凹部218の内低部と凹部218が形成されていない側の主面との間に挟まれていることが特徴である。また、支持部214は、水晶振動片210の両主面に挟まれた厚肉の部分で、且つ、振動部212と水晶振動片210の固定端(左側)との間の領域である。凹部218が形成された振動部212の両主面上には一対の励振電極220a、220bが対向させて設けられている。また、励振電極220a、220bからそれぞれのパッド電極222a、222bに接続するためのリード電極221a、221bは励振電極220a、220bからZ’軸方向に引き出されているが、これは、凹部218の形成によって生じる薄肉部と厚肉部による段差部分での断線を回避するためである。特に、X軸方向の薄肉部と厚肉部による段差部分は水晶の結晶異方性により、非常に鋭角で電極パターンの断線を生じ易い。なお、その他の電極の配線や構成は、図1に示す実施形態の水晶振動素子1とほぼ同一なので説明を省略する。
本実施例の水晶振動素子201は、振動部212に凹部218が形成された逆メサ構造であるため、振動部212を非常に薄くでき、高周波化が図れる。また、振動部212と一体化された厚肉部の支持部214でマウントができるため、耐衝撃性や耐振動性に優れた高信頼性の振動素子とすることができる。
図4(a)に示した実施形態では、励振電極220a、220bの形状が矩形で、それぞれの電極面積が異なる例を示したが、これに限定する必要はなく、励振電極220a、220bの形状は円形や楕円形で、それぞれの電極面積は同一であってもよい。また、振動部212の一方の主面に凹部218を形成した例を示したが、これに限定する必要はなく、振動部212の両主面上に凹部218を形成した構成であってもよい。
図4(a)に示した実施形態では、励振電極220a、220bの形状が矩形で、それぞれの電極面積が異なる例を示したが、これに限定する必要はなく、励振電極220a、220bの形状は円形や楕円形で、それぞれの電極面積は同一であってもよい。また、振動部212の一方の主面に凹部218を形成した例を示したが、これに限定する必要はなく、振動部212の両主面上に凹部218を形成した構成であってもよい。
(振動素子の実施例4)
図5は、振動素子の第4の実施形態を説明するものであり、図5(a)は本発明の第4の実施形態に係る水晶振動素子の構造を上側から視た概略平面図、図5(b)は図5(a)のD−D断面図である。
図1に示す実施形態の水晶振動素子1の第4の実施例である水晶振動素子301は、図5(a)に示すように、水晶振動片10と、励振電極320a、320bと、パッド電極322a、322bと、電極パターン330と、を備えている。ここで、本実施例の支持部14には、水晶振動片10の両主面にパッド電極322a、322bが形成されていることが特徴である。水晶振動片10の一方の主面には、励振電極320aと、パッド電極322aと、インダクタンス用の電極パターン330とが形成されており、図1に示す実施形態の水晶振動素子1と同じ構成である。また、水晶振動片10の他方の主面には、励振電極320bと、パッド電極322bとが形成され、リード電極321bにより電気的に接続されている。
図5は、振動素子の第4の実施形態を説明するものであり、図5(a)は本発明の第4の実施形態に係る水晶振動素子の構造を上側から視た概略平面図、図5(b)は図5(a)のD−D断面図である。
図1に示す実施形態の水晶振動素子1の第4の実施例である水晶振動素子301は、図5(a)に示すように、水晶振動片10と、励振電極320a、320bと、パッド電極322a、322bと、電極パターン330と、を備えている。ここで、本実施例の支持部14には、水晶振動片10の両主面にパッド電極322a、322bが形成されていることが特徴である。水晶振動片10の一方の主面には、励振電極320aと、パッド電極322aと、インダクタンス用の電極パターン330とが形成されており、図1に示す実施形態の水晶振動素子1と同じ構成である。また、水晶振動片10の他方の主面には、励振電極320bと、パッド電極322bとが形成され、リード電極321bにより電気的に接続されている。
本実施例の水晶振動素子301は、水晶振動片10の他方の主面に励振電極320bとパッド電極322bとが形成されているため、側面電極などによる水晶振動片10の一方の主面への引き回しが必要なく、側面部での断線を回避できるので、信頼性の高い振動素子を得ることができる。
図5(a)に示した実施形態では、励振電極320a、320bの形状が矩形の例を示したが、これに限定する必要はなく、励振電極320a、320bの形状は円形や楕円形であってもよい。
図5(a)に示した実施形態では、励振電極320a、320bの形状が矩形の例を示したが、これに限定する必要はなく、励振電極320a、320bの形状は円形や楕円形であってもよい。
(振動素子の実施例5)
図6は、振動素子の第5の実施形態を説明するものであり、図6(a)は本発明の第5の実施形態に係る水晶振動素子の構造を上側から視た概略平面図、図6(b)は図6(a)のE−E断面図である。
図1に示す実施形態の水晶振動素子1の第5の実施例である水晶振動素子401は、図6(a)に示すように、水晶振動片10と、励振電極420a、420bと、パッド電極422a、422bと、424aと、電極パターン430と、を備えている。ここで、本実施例の水晶振動素子401は、パッケージ端子との接続用のパッド電極422a、422b間に、電極パターン430によるインダクタンスと励振電極420a、420bによる水晶振動素子が並列接続されていることが特徴である。水晶振動片10の一方の主面には、励振電極420aと、パッド電極422a、422b、424aと、電極パターン430と、が形成されている。励振電極420aはリード電極421aによりパッド電極422aと電気的に接続されている。また、電極パターン430と電気的に接続されている内周部に形成されたパッド電極424aと一方のパッケージ端子との接続用のパッド電極422aとは、リード電極423aにより電気的に接続されている。なお、電極パターン430とリード電極423aとのショートを防止するために、電極パターン430上に絶縁膜55例えばシリコン酸化膜が形成されている。更に、他方のパッケージ端子との接続用のパッド電極422bは、リード電極425bにより電極パターン430と電気的に接続され、水晶振動片10の他方の主面に形成された励振電極420bとは、リード電極421b、424bと側面電極423により電気的に接続されている。
図6は、振動素子の第5の実施形態を説明するものであり、図6(a)は本発明の第5の実施形態に係る水晶振動素子の構造を上側から視た概略平面図、図6(b)は図6(a)のE−E断面図である。
図1に示す実施形態の水晶振動素子1の第5の実施例である水晶振動素子401は、図6(a)に示すように、水晶振動片10と、励振電極420a、420bと、パッド電極422a、422bと、424aと、電極パターン430と、を備えている。ここで、本実施例の水晶振動素子401は、パッケージ端子との接続用のパッド電極422a、422b間に、電極パターン430によるインダクタンスと励振電極420a、420bによる水晶振動素子が並列接続されていることが特徴である。水晶振動片10の一方の主面には、励振電極420aと、パッド電極422a、422b、424aと、電極パターン430と、が形成されている。励振電極420aはリード電極421aによりパッド電極422aと電気的に接続されている。また、電極パターン430と電気的に接続されている内周部に形成されたパッド電極424aと一方のパッケージ端子との接続用のパッド電極422aとは、リード電極423aにより電気的に接続されている。なお、電極パターン430とリード電極423aとのショートを防止するために、電極パターン430上に絶縁膜55例えばシリコン酸化膜が形成されている。更に、他方のパッケージ端子との接続用のパッド電極422bは、リード電極425bにより電極パターン430と電気的に接続され、水晶振動片10の他方の主面に形成された励振電極420bとは、リード電極421b、424bと側面電極423により電気的に接続されている。
本実施例の水晶振動素子401は、水晶振動素子と電極パターン430によるインダクタンスとが並列接続された構成であるため、発振器に搭載した場合に発振回路における各電極間の浮遊容量などの不要な容量の影響を抑制することができる。
図6(a)に示した実施形態では、電極パターン430の内周部のパッド電極424aはリード電極423aにより、パッド電極422aと電気的に接続されている例を示したが、これに限定する必要はなく、例えばワイヤーボンディングにより電気的に接続されてもよい。また、励振電極420a、420bの形状が矩形の例を示したが、これに限定する必要はなく、励振電極420a、420bの形状は円形や楕円形であってもよい。
図6(a)に示した実施形態では、電極パターン430の内周部のパッド電極424aはリード電極423aにより、パッド電極422aと電気的に接続されている例を示したが、これに限定する必要はなく、例えばワイヤーボンディングにより電気的に接続されてもよい。また、励振電極420a、420bの形状が矩形の例を示したが、これに限定する必要はなく、励振電極420a、420bの形状は円形や楕円形であってもよい。
(振動子)
図7(a)は、本発明の第6の実施形態に係る振動子としての水晶振動子の一例を上側から視た概略平面図、図7(b)は図7(a)のF−F断面図である。なお、図7(a)において、水晶振動子の内部の構成を説明する便宜上、蓋部材を取り外した状態を図示している。
水晶振動子2は、水晶振動素子1と、水晶振動素子1を収容するために矩形の箱状に形成されているパッケージ本体60と、金属、セラミック、ガラスなどから成る蓋部材70と、で構成されている。
パッケージ本体60は、図7(b)に示すように、第1の基板61と、第2の基板62と、シールリング68と、実装端子86と、を積層して形成されている。実装端子86は、第1の基板61の外部低面に複数形成されている。第2の基板62は中央部が除去された環状体であり、第2の基板62の上部周縁に例えばコバールなどのシールリング68が形成されている。
第2の基板62により、水晶振動素子1を収容するキャビティー65が形成される。第1の基板61の上面の所定の位置には、第1の基板61の内部に形成された導体(図示せず)により実装端子86と電気的に導通する複数の素子搭載電極81が設けられている。
図7(a)は、本発明の第6の実施形態に係る振動子としての水晶振動子の一例を上側から視た概略平面図、図7(b)は図7(a)のF−F断面図である。なお、図7(a)において、水晶振動子の内部の構成を説明する便宜上、蓋部材を取り外した状態を図示している。
水晶振動子2は、水晶振動素子1と、水晶振動素子1を収容するために矩形の箱状に形成されているパッケージ本体60と、金属、セラミック、ガラスなどから成る蓋部材70と、で構成されている。
パッケージ本体60は、図7(b)に示すように、第1の基板61と、第2の基板62と、シールリング68と、実装端子86と、を積層して形成されている。実装端子86は、第1の基板61の外部低面に複数形成されている。第2の基板62は中央部が除去された環状体であり、第2の基板62の上部周縁に例えばコバールなどのシールリング68が形成されている。
第2の基板62により、水晶振動素子1を収容するキャビティー65が形成される。第1の基板61の上面の所定の位置には、第1の基板61の内部に形成された導体(図示せず)により実装端子86と電気的に導通する複数の素子搭載電極81が設けられている。
以上、説明したパッケージ本体60の、第1の基板61と第2の基板62は、セラミックなどの絶縁材料からなる。また、パッケージ本体60に設けられた各電極、端子、あるいはそれらを電気的に接続する配線パターンや層内配線パターンなどは、一般的に、タングステン(W)、モリブデン(Mo)などの金属配線材料を絶縁材料上にスクリーン印刷して焼成し、その上にニッケル(Ni)、金(Au)などのめっきを施すことにより形成される。
水晶振動素子1をパッケージ本体60に支持固定する際には、先ず、水晶振動素子1の支持部14に対応する位置に接合部材40例えば接着剤を塗布し、その上に、水晶振動素子1を載置して荷重をかける。
次に、接合部材40を硬化させるために、所定の温度の高温炉に所定の時間入れる。接合部材40を硬化させた後、ボンディングワイヤー44例えば金(Au)線やアルミ(Al)線により水晶振動素子1のパッド電極22a、22bとパッケージ本体60に形成された素子搭載電極81とを接続する。アニール処理を施し、励振電極20aに質量を付加するか、又は質量を減じて周波数調整を行う。その後、パッケージ本体60の第2の基板62の上面に形成したシールリング68上に蓋部材70を載置し、ほぼ真空の減圧空間、又は窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気中で蓋部材70をシーム溶接して密封し、水晶振動子2が完成する。また、パッケージ本体60の上面に塗布した低融点ガラスに蓋部材70を載置し、溶融して密着する方法もある。この場合もパッケージ本体60のキャビティー65内はほぼ真空の減圧空間にするか、又は窒素ガスなどの不活性ガスを充填して、水晶振動子2が完成する。
次に、接合部材40を硬化させるために、所定の温度の高温炉に所定の時間入れる。接合部材40を硬化させた後、ボンディングワイヤー44例えば金(Au)線やアルミ(Al)線により水晶振動素子1のパッド電極22a、22bとパッケージ本体60に形成された素子搭載電極81とを接続する。アニール処理を施し、励振電極20aに質量を付加するか、又は質量を減じて周波数調整を行う。その後、パッケージ本体60の第2の基板62の上面に形成したシールリング68上に蓋部材70を載置し、ほぼ真空の減圧空間、又は窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気中で蓋部材70をシーム溶接して密封し、水晶振動子2が完成する。また、パッケージ本体60の上面に塗布した低融点ガラスに蓋部材70を載置し、溶融して密着する方法もある。この場合もパッケージ本体60のキャビティー65内はほぼ真空の減圧空間にするか、又は窒素ガスなどの不活性ガスを充填して、水晶振動子2が完成する。
(振動子の実施例7)
図8は、振動子の第7の実施形態を説明するものであり、図8(a)は本発明の第7の実施形態に係る水晶振動子の構造を上側から視た概略平面図、図8(b)は図8(a)のG−G断面図である。なお、図8(a)において、水晶振動子の内部の構成を説明する便宜上、蓋部材を取り外した状態を図示している。
図8に示すように、水晶振動子102は、図7に示す実施形態の水晶振動子2と同様に、水晶振動素子1と、水晶振動素子1を収容するために矩形の箱状に形成されているパッケージ本体60と、蓋部材70と、で構成されている。ここで、本実施例の水晶振動子102は、水晶振動素子1の主面が上下反転され、励振電極20aとパッド電極22a、22bと電極パターン30が形成された面をパッケージ本体60の第1の基板61の上面に対向するように載置されていることが特徴である。
水晶振動素子1の支持固定は、先ず、水晶振動素子1の主面を上下反転し、励振電極20aと、パッド電極22a、22bと、電極パターン30と、が形成された面をパッケージ本体60の第1の基板61の上面に対向するようにした後、パッド電極22a、22bとパッケージ本体60の素子搭載電極81とが位置合わせされ、接合部材40を介して接合されている。接合部材40は、例えば金属あるいは半田などからなるバンプや導電性接着剤などの導電性の接合部材を用いることにより、電気的な接続を図るとともに機械的な接合を行うことができる。また、水晶振動片10の振動部12は、接合部材40によりパッケージ本体60の第1の基板61の上面に隙間を設けて配置される。
本実施例の水晶振動子102は、水晶振動素子1をフェースダウン接合した構成であるため、ボンディングワイヤーなどを用いないので、水晶振動素子1の薄型化(低背下)に有利である。
図8は、振動子の第7の実施形態を説明するものであり、図8(a)は本発明の第7の実施形態に係る水晶振動子の構造を上側から視た概略平面図、図8(b)は図8(a)のG−G断面図である。なお、図8(a)において、水晶振動子の内部の構成を説明する便宜上、蓋部材を取り外した状態を図示している。
図8に示すように、水晶振動子102は、図7に示す実施形態の水晶振動子2と同様に、水晶振動素子1と、水晶振動素子1を収容するために矩形の箱状に形成されているパッケージ本体60と、蓋部材70と、で構成されている。ここで、本実施例の水晶振動子102は、水晶振動素子1の主面が上下反転され、励振電極20aとパッド電極22a、22bと電極パターン30が形成された面をパッケージ本体60の第1の基板61の上面に対向するように載置されていることが特徴である。
水晶振動素子1の支持固定は、先ず、水晶振動素子1の主面を上下反転し、励振電極20aと、パッド電極22a、22bと、電極パターン30と、が形成された面をパッケージ本体60の第1の基板61の上面に対向するようにした後、パッド電極22a、22bとパッケージ本体60の素子搭載電極81とが位置合わせされ、接合部材40を介して接合されている。接合部材40は、例えば金属あるいは半田などからなるバンプや導電性接着剤などの導電性の接合部材を用いることにより、電気的な接続を図るとともに機械的な接合を行うことができる。また、水晶振動片10の振動部12は、接合部材40によりパッケージ本体60の第1の基板61の上面に隙間を設けて配置される。
本実施例の水晶振動子102は、水晶振動素子1をフェースダウン接合した構成であるため、ボンディングワイヤーなどを用いないので、水晶振動素子1の薄型化(低背下)に有利である。
(電子デバイス)
図9(a)は、本発明の第8の実施形態に係る電子デバイスとしての水晶発振器の一例を上側から視た概略平面図、図9(b)は図9(a)のH−H断面図である。なお、図9(a)において、水晶発振器の内部の構成を説明する便宜上、蓋部材を取り外した状態を図示している。
水晶発振器3は、パッケージ本体60bと、蓋部材70と、水晶振動素子1と、水晶振動素子1を励振させる発振回路を搭載したICチップ50と、を備えている。
本実施形態の水晶発振器3は、水晶振動素子1と発振回路を含むICチップ50とがパッケージ本体60bの内部キャビティー65に接合されて封止された、表面実装が可能な所謂SMD(Surface Mount Device)タイプの1チップの水晶発振器である。また、表面実装部品として規格化されているSMDタイプの水晶発振器3は、例えば、基板に接合した水晶振動素子を筒状のキャップで覆うことにより封止するタイプの水晶振動子のように、外部接続用のリード線を外部基板の接続端子形状に合わせて切断したり成形したりする必要がなく、外部基板への搭載の自動化も図りやすいので、実装工程の簡略化や低コスト化に有利である。
図9(a)は、本発明の第8の実施形態に係る電子デバイスとしての水晶発振器の一例を上側から視た概略平面図、図9(b)は図9(a)のH−H断面図である。なお、図9(a)において、水晶発振器の内部の構成を説明する便宜上、蓋部材を取り外した状態を図示している。
水晶発振器3は、パッケージ本体60bと、蓋部材70と、水晶振動素子1と、水晶振動素子1を励振させる発振回路を搭載したICチップ50と、を備えている。
本実施形態の水晶発振器3は、水晶振動素子1と発振回路を含むICチップ50とがパッケージ本体60bの内部キャビティー65に接合されて封止された、表面実装が可能な所謂SMD(Surface Mount Device)タイプの1チップの水晶発振器である。また、表面実装部品として規格化されているSMDタイプの水晶発振器3は、例えば、基板に接合した水晶振動素子を筒状のキャップで覆うことにより封止するタイプの水晶振動子のように、外部接続用のリード線を外部基板の接続端子形状に合わせて切断したり成形したりする必要がなく、外部基板への搭載の自動化も図りやすいので、実装工程の簡略化や低コスト化に有利である。
パッケージ本体60bは、図9(b)に示すように、第1の基板61bと、第2の基板62と、第3の基板63と、シールリング68と、実装端子86と、を積層して形成されている。実装端子86は、第1の基板61bの外部低面に複数形成されている。第2の基板62と第3の基板63とは中央部が除去された環状体であり、第2の基板62の上部周縁に例えばコバールなどのシールリング68が形成されている。
第2の基板62と第3の基板63とにより、水晶振動素子1を収容するキャビティー65と水晶振動素子1を励振させる発振回路を搭載したICチップ50を収容する凹部66が形成される。凹部66の凹低部分となる第1の基板61bの上面には、ICチップ50が接続される複数のIC接合端子84が設けられている。第3の基板63の上面の所定の位置には、第1の基板61bと第3の基板63との内部に形成された導体(図示せず)により実装端子86と電気的に導通する複数の素子搭載電極81が設けられている。
第2の基板62と第3の基板63とにより、水晶振動素子1を収容するキャビティー65と水晶振動素子1を励振させる発振回路を搭載したICチップ50を収容する凹部66が形成される。凹部66の凹低部分となる第1の基板61bの上面には、ICチップ50が接続される複数のIC接合端子84が設けられている。第3の基板63の上面の所定の位置には、第1の基板61bと第3の基板63との内部に形成された導体(図示せず)により実装端子86と電気的に導通する複数の素子搭載電極81が設けられている。
図9(b)において、水晶振動素子1を励振させる発振回路を含む半導体回路素子としてのICチップ50は、パッケージ本体60bの凹部66の凹低部分に設けられたIC接合端子84に、例えばろう材あるいは接着剤によって接合される。本実施形態では、ICチップ50の電極パット(図示せず)に予め設けられた金属あるいは半田などからなるバンプ46により、IC接合端子84上にICチップ50がフェースダウン接合されている。フェースダウン接合によるICチップ50の接合は、水晶発振器3の薄型化(低背下)に有利である。なお、バンプ46によりICチップ50をフェースダウン接合した後に、ICチップ50とパッケージ本体60bの凹部66の凹低部分との間にアンダーフィル材を充填して硬化させることにより、ICチップ50の接合強度をより高めることができる。また、パッケージ本体60bへのICチップ50の接合はフェースダウン接合に限らず、ワイヤーボンディングなどの他のIC実装技術を用いて行うことができる。
水晶振動素子1は、パッケージ本体60bの第1の基板61bの上面に、接合部材40例えば接着剤により接合され、水晶振動素子1のパッド電極22a、22bと素子搭載電極81とはボンディングワイヤー44により電気的に接続されている。なお、素子搭載電極81の位置や個数については図9に示す態様に限定されるものではなく、水晶振動素子1とICチップ50との接続関係に応じて適宜変更してもよい。また、水晶振動素子1と素子搭載電極81との接続についてもワイヤーボンディングによる接続に限らず、図8で示した水晶振動子102のように、フェースダウン接合を行ってもよいし、或いは、フェースダウン接合とワイヤーボンディングの組み合わせによる接続でもよい。
これにより、水晶振動素子1を励振させる発振回路を含むICチップ50と、水晶振動素子1とは、間に電極パターン30によるインダクタンスを介して直列接続させることができる。図10は、水晶発振器におけるインダクタンス用の電極パターン30を有した水晶振動素子1とICチップ50との回路の一例を示す回路図である。図10に示すように、水晶発振器において、ICチップ50は端子50a、50bを備えており、これら二つの端子間に、直列接続した電極パターン30によるインダクタンスを有する水晶振動素子1によって直列回路を構成することができる。
これにより、水晶振動素子1を励振させる発振回路を含むICチップ50と、水晶振動素子1とは、間に電極パターン30によるインダクタンスを介して直列接続させることができる。図10は、水晶発振器におけるインダクタンス用の電極パターン30を有した水晶振動素子1とICチップ50との回路の一例を示す回路図である。図10に示すように、水晶発振器において、ICチップ50は端子50a、50bを備えており、これら二つの端子間に、直列接続した電極パターン30によるインダクタンスを有する水晶振動素子1によって直列回路を構成することができる。
再び図9において、ICチップ50と水晶振動素子1が接合されたパッケージ本体60bの第2の基板62上には、蓋部材70が接合されている。具体的には、例えば、42アロイ(敵にニッケルが42%含有された合金)やコバール(鉄、ニッケル及びコバルトの合金)などの金属製の蓋部材70が、鉄−ニッケル(Fe−Ni)合金などをフレーム状に型抜きして形成されたシールリング68を介してシーム溶接されている。なお、蓋部材70には、上記した金属以外に、セラミック、あるいはガラスなどを用いることができ、例えばガラス製の蓋部材70を用いた場合には、低融点ガラスを接合部材として用いるなど、蓋部材70の材料に応じて適宜に接合部材を選定し、パッケージ本体60bと蓋部材70との接合を行うことができる。
パッケージ本体60b及び蓋部材70によって形成されるキャビティー65は、水晶振動素子1が動作するための空間となる。このキャビティー65は、本実施形態の水晶発振器3において、減圧空間又は不活性ガス雰囲気に密閉封止することができる。例えば、キャビティー65内を減圧空間にして密閉封止する場合には、パッケージ本体60bの図示しない封止孔に固形の封止材を配置させた状態で真空チャンバー内に入れ、所定の真空度まで減圧させて水晶発振器3の内側から出るガスを封止孔から排出させた後、固形の封止材を溶融してから固化させることにより封止孔を閉塞させて封止する。これより、パッケージ本体60b内に接合された水晶振動素子1及びICチップ50を気密封止することができる。
なお、封止材の材料としては、完成した水晶発振器3を外部実装基板に実装する際のリフロー温度よりも高い温度を融点として有したものが望ましく、例えば、金と錫(Sn)との合金、あるいは、金とゲルマニウム(Ge)との合金などを用いることができる。
なお、封止材の材料としては、完成した水晶発振器3を外部実装基板に実装する際のリフロー温度よりも高い温度を融点として有したものが望ましく、例えば、金と錫(Sn)との合金、あるいは、金とゲルマニウム(Ge)との合金などを用いることができる。
上記実施形態の水晶発振器3によれば、パッケージ本体60b内に、発振回路を含む半導体回路素子としてのICチップ50と、水晶振動素子1に接続された電極パターン30によるインダクタンスを有しているので、ワンシール構造のため信頼性が高く、周波数可変幅が大きいワンチップの水晶発振器3を提供することができる。
特に、上記実施形態の水晶発振器3では、電極パターン30によるインダクタンスが励振電極20a、20b(水晶振動素子部)に直列接続されているので、水晶発振器3の発振ループ中にインダクタンスを挿入することで周波数可変幅を大きくする効果をより顕著に奏することができる。
特に、上記実施形態の水晶発振器3では、電極パターン30によるインダクタンスが励振電極20a、20b(水晶振動素子部)に直列接続されているので、水晶発振器3の発振ループ中にインダクタンスを挿入することで周波数可変幅を大きくする効果をより顕著に奏することができる。
また、図6に示す励振電極420a、420b(水晶振動素子部)と電極パターン430によるインダクタンスとが並列接続された構成の水晶振動素子401を用いると、発振回路における各電極間の浮遊容量などの不要な容量の影響を抑制し、安定な発振特性を有する水晶発振器3を提供することができる。
(電子機器)
次いで、本発明の第1の実施形態に係る振動素子の一例である水晶振動素子を適用した電子機器について、図13〜図15に基づき、詳細に説明する。
図13は、本発明の第1の実施形態に係る振動素子の一例である水晶振動素子を備える電子機器としてのモバイル型(又はノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部100を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、フィルター、共振器、基準クロックなどとして機能する水晶振動素子1が内蔵されている。
次いで、本発明の第1の実施形態に係る振動素子の一例である水晶振動素子を適用した電子機器について、図13〜図15に基づき、詳細に説明する。
図13は、本発明の第1の実施形態に係る振動素子の一例である水晶振動素子を備える電子機器としてのモバイル型(又はノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部100を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、フィルター、共振器、基準クロックなどとして機能する水晶振動素子1が内蔵されている。
図14は、本発明の第1の実施形態に係る振動素子の一例である水晶振動素子を備える電子機器としての携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204及び送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部100が配置されている。このような携帯電話機1200には、フィルター、共振器などの少なくとも一つとして機能する水晶振動素子1が内蔵されている。
図15は、本発明の第1の実施形態に係る振動素子の一例である水晶振動素子を備える電子機器としてのデジタルカメラの構成を示す斜視図である。尚、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
デジタルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部100が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部100は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部100に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。また、このデジタルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター(PC)1440が、それぞれ必要に応じて接続される。更に、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。このようなデジタルカメラ1300には、フィルター、共振器などとして機能する水晶振動素子1が内蔵されている。
デジタルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部100が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部100は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部100に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。また、このデジタルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター(PC)1440が、それぞれ必要に応じて接続される。更に、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。このようなデジタルカメラ1300には、フィルター、共振器などとして機能する水晶振動素子1が内蔵されている。
なお、本発明の第1の実施形態に係る振動素子の一例である水晶振動素子を備える電子機器は、図13のパーソナルコンピューター(モバイル型パーソナルコンピューター)、図14の携帯電話機、図15のデジタルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレーターなどに適用することができる。
(移動体)
図16は移動体の一具体例としての自動車2106を概略的に示す斜視図である。この図において、タイヤ2109を制御する電子制御ユニット2108に水晶振動素子1が内蔵され、車体2107に搭載されている。
自動車2106には本発明に係る振動素子を有する振動子や電子デバイスが搭載されており、例えば、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS:Antilock Brake System)、エアバック、タイヤプレッシャーモニタリングシステム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システムなどの電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)2108に広く適用できる。
図16は移動体の一具体例としての自動車2106を概略的に示す斜視図である。この図において、タイヤ2109を制御する電子制御ユニット2108に水晶振動素子1が内蔵され、車体2107に搭載されている。
自動車2106には本発明に係る振動素子を有する振動子や電子デバイスが搭載されており、例えば、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS:Antilock Brake System)、エアバック、タイヤプレッシャーモニタリングシステム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システムなどの電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)2108に広く適用できる。
1…水晶振動素子、2…水晶振動子、3…水晶発振器、10…水晶振動片、12…振動部、14…支持部、20a,20b…励振電極、21a,21b,24b…リード電極、22a,22b…パッド電極、23…側面電極、30…電極パターン、40…接合部材、44…ボンディングワイヤー、46…バンプ、50…ICチップ、50a,50b…端子、55…絶縁膜、60…パッケージ本体、61…第1の基板、62…第2の基板、63…第3の基板、65…キャビティー、66,218…凹部、68…シールリング、70…蓋部材、81…素子搭載電極、84…IC接合端子、86…実装端子、100…表示部、116…メサ部、1100…パーソナルコンピューター,1102…キーボード、1104…本体部、1106…表示ユニット、1200…携帯電話機、1202…操作ボタン、1204…受話口、1206…送話口、1300…デジタルカメラ、1302…ケース、1304…受光ユニット、1306…シャッターボタン、1308…メモリー、1312…ビデオ信号出力端子、1314…入出力端子、1430…テレビモニター、1440…パーソナルコンピューター、2106…自動車、2107…車体、2108…電子制御ユニット、2109…タイヤ。
Claims (8)
- 振動部及び支持部を含む振動片と、
前記振動部の主面に設けられている励振電極と、
前記支持部の少なくとも一方の主面に設けられているパッド電極と、
前記振動片の少なくとも一方の主面に設けられ、前記電極パッドの外縁に沿って設けられている螺旋状の電極パターンと、を含み、
前記電極パターンが、前記励振電極又は前記パッド電極に電気的に接続されていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1において、
前記電極パターンは、前記励振電極と直列接続又は並列接続されていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1又は2において、
前記振動片は、
振動部と、前記振動部の外縁に沿って一体化され、前記振動部よりも厚みが薄い外縁部と、を含み、
前記電極パターンは前記外縁部に設けられていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1又は2において、
前記振動片は、
振動部と、前記振動部の外縁に沿って一体化され、前記振動部よりも厚みが厚い外縁部と、を含み、
前記電極パターンは前記外縁部に設けられていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動素子と、
前記振動素子が搭載されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動子。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動素子と、
発振回路と、
前記振動素子と前記発振回路が搭載されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする電子デバイス。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする移動体。
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JP2012161282A JP2014023015A (ja) | 2012-07-20 | 2012-07-20 | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017069647A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 富士通株式会社 | コイル内蔵水晶振動子、発振器、及びコイル内蔵水晶振動子の製造方法 |
US9929692B2 (en) | 2015-09-28 | 2018-03-27 | Fujitsu Limited | Crystal unit, oscillator, and method for fabricating the crystal unit |
JP2021029013A (ja) * | 2019-08-09 | 2021-02-25 | 京セラ株式会社 | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 |
-
2012
- 2012-07-20 JP JP2012161282A patent/JP2014023015A/ja active Pending
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US9774296B2 (en) | 2015-09-28 | 2017-09-26 | Fujitsu Limited | Crystal unit, oscillator, and method for fabricating the crystal unit |
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JP7293037B2 (ja) | 2019-08-09 | 2023-06-19 | 京セラ株式会社 | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 |
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