JPH09162681A - 圧電振動子 - Google Patents

圧電振動子

Info

Publication number
JPH09162681A
JPH09162681A JP32141195A JP32141195A JPH09162681A JP H09162681 A JPH09162681 A JP H09162681A JP 32141195 A JP32141195 A JP 32141195A JP 32141195 A JP32141195 A JP 32141195A JP H09162681 A JPH09162681 A JP H09162681A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodes
piezoelectric vibrator
piezoelectric
pattern coil
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP32141195A
Other languages
English (en)
Inventor
Kozo Kawasaki
幸三 川崎
Hiroyasu Ikeda
弘康 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP32141195A priority Critical patent/JPH09162681A/ja
Publication of JPH09162681A publication Critical patent/JPH09162681A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電振動子の異常発振を防ぐことを目的とす
る。 【解決手段】 圧電基板1の励振電極2にパターンコイ
ル6を接続した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、発振子として用い
る圧電セラミックや水晶、リチウムナイオベート、リチ
ウムタンタレート等の圧電基板に電極を形成した圧電振
動子に関するものであり、なかでもMHz帯の発振子に
用いる厚み滑り振動や厚み縦振動を利用する圧電振動子
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年圧電セラミック振動子や水晶振動子
を用いた発振子はマイクロコンピュータのクロック信号
発生用としてあらゆる分野に使用されている。
【0003】以下に従来の発振子用圧電振動子を例にし
て説明する。図7は従来の発振子用圧電振動子で、1は
圧電セラミック、水晶、リチウムナイオベート、リチウ
ムタンタレート等の圧電基板、2,3は圧電振動子を励
振する励振電極で、4,5は外部端子と接続する端子電
極、6,7は励振電極2,3と端子電極4,5を接続す
る接続電極である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】圧電振動子を用いた発
振子は圧電振動子の共振特性を利用して安定な発振を得
るものであるが、圧電振動子には発振に利用する共振以
外に高次の共振が存在するため、高調波で異常発振する
ことがあり大きな課題になっている。
【0005】発振子の性能を評価する方法に、発振用ア
ンプ(インバーター)と発振子との総合性能であるオー
プンループゲインと位相差を測定する方法があり、一般
にオープンループゲインが0dB以上で位相差が0度に
なる周波数で発振する。
【0006】従来の発振子のオープンループゲインと位
相差の周波数特性例を図8に示す。ここでFoは圧電振
動子の主共振によりループゲインが最大になり、位相が
ゼロをクロスして大きく回転する周波数で、通常この周
波数で発振する。しかしこのFoより高い周波数におい
て圧電振動子の高次共振によりループゲインが0dB以
上になり、位相がゼロをクロスする周波数FHも存在
し、異常発振の原因になっていた。そこで本発明は異常
発振を防止することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は圧電振動子の励
振電極と端子電極の間にパターンコイルを設け、このコ
イルの一端を励振電極に他端を端子電極に接続すること
により初期の目的を達成するものである。
【0008】
【発明の実施の形態】一般に、前述の圧電振動子の共振
によるオープンループゲインのピーク値が高く、位相回
転が大きいほど発振は起動しやすくなる。
【0009】従って圧電振動子の高次共振によるループ
ゲインのピークを出来るだけ低くすることにより異常発
振は防ぐことができる。
【0010】本発明では圧電振動子の励振電極と端子電
極の間にパターンコイルを接続し、そのインピーダンス
値が周波数に比例して大きくなることを利用して圧電振
動子の高次共振周波数における発振子のインピーダンス
を大きくし異常発振の発生を防ぐものである。
【0011】(実施形態1)図1、図2において圧電基
板1の表面及び裏面には、励振電極2と3、端子電極4
と5を設け、励振電極2と端子電極4の間にはジグザグ
状のパターンコイル6を、励振電極3と端子電極5の間
にはジグザグ状のパターンコイル7を設け、それぞれの
励振電極2,3と端子電極4,5をパターンコイル6,
7で接続した構造になっている。
【0012】パターンコイル6と7は励振電極2と3に
対して互いに逆方向に配置されている。
【0013】(実施形態2)図3、図4は本発明の実施
形態2で、図1、図2のパターンコイル6及び7に対向
した圧電基板1の反体面にそれぞれコンデンサー電極9
及び8を設けるとともに、コンデンサー電極9及び8は
端子電極4及び5と圧電基板の端面10及び11にてそ
れぞれ接続する構成になっている。
【0014】この構成によりパターンコイル6,7に並
列にコンデンサーを形成することができ、パターンコイ
ルの効果をよりいっそう高めることができる。
【0015】(実施形態3)図5は本発明の実施形態3
で、圧電基板1が正方形に近い場合に有効なものであ
る。図5において励振電極2と端子電極4を接続するパ
ターンコイル6は励振電極2を中心とした渦巻状に形成
されている。圧電基板1の裏面にも励振電極2とそれを
中心した渦巻状のパターンコイル、端子電極が表面と同
様に形成されている。
【0016】この実施形態の場合、表面と裏面のパター
ンコイルが互いに対向する場合があり、圧電基板1の振
動モードに悪影響を与える場合があるため、パターンコ
イル6が形成されている部分は、外装のモールド樹脂な
どで振動をダンピングすることが望ましい。
【0017】図6に本発明の圧電振動子を用いた発振子
のオープンループゲインと位相差の周波数特性例を示
す。図8の従来の発振子の特性に比べて圧電振動子の高
次共振によるループゲインが0dB以下に小さくなって
おり、異常発振は発生しないことが明らかである。
【0018】
【発明の効果】以上のように本発明は圧電振動子の電極
形状だけで発振子の異常発振を防止できるため、コスト
アップもほとんどなく非常に有用な発明である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施形態の圧電振動子を示す上
面斜視図
【図2】同圧電振動子を示す下面斜視図
【図3】本発明の第二の実施形態の圧電振動子を示す上
面斜視図
【図4】同圧電振動子を示す下面斜視図
【図5】本発明の第三の実施形態の圧電振動子を示す下
面斜視図
【図6】本発明の効果を示すグラフ
【図7】従来の発振子用圧電振動子を示す上面斜視図
【図8】従来の発振子の特性例を示すグラフ
【符号の説明】
1 圧電基板 2 励振電極 3 励振電極 4 端子電極 5 端子電極 6 パターンコイル 7 パターンコイル 8 コンデンサー電極 9 コンデンサー電極

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電基板の両面に互いに対向するように
    設けた励振電極を有する圧電振動子であって前記励振電
    極に直列に接続されたパターンコイルを前記圧電基板の
    片面または両面に設けた圧電振動子。
  2. 【請求項2】 パターンコイルが励振電極から圧電基板
    の周辺に向かってジグザグ状に形成された請求項1記載
    の圧電振動子。
  3. 【請求項3】 パターンコイルが形成されている圧電基
    板表面の反対面にパターンコイルと対向する位置に電極
    を設け、パターンコイルの励振電極とは反対側の端部を
    前記電極と接続した請求項2記載の圧電振動子。
  4. 【請求項4】 パターンコイルが励振電極を中心として
    渦巻状に形成された請求項1記載の圧電振動子。
JP32141195A 1995-12-11 1995-12-11 圧電振動子 Pending JPH09162681A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32141195A JPH09162681A (ja) 1995-12-11 1995-12-11 圧電振動子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32141195A JPH09162681A (ja) 1995-12-11 1995-12-11 圧電振動子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09162681A true JPH09162681A (ja) 1997-06-20

Family

ID=18132254

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32141195A Pending JPH09162681A (ja) 1995-12-11 1995-12-11 圧電振動子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09162681A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030069543A (ko) * 2002-02-21 2003-08-27 엘지전자 주식회사 박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 전압제어발진기 및 그박막 용적 탄성파 공진기 제조방법
US8928419B2 (en) 2012-06-13 2015-01-06 Seiko Epson Corporation Resonating element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and moving body
JP2017069646A (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 富士通株式会社 コイル内蔵水晶振動子、発振器、及びコイル内蔵水晶振動子の製造方法
JP2017069647A (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 富士通株式会社 コイル内蔵水晶振動子、発振器、及びコイル内蔵水晶振動子の製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030069543A (ko) * 2002-02-21 2003-08-27 엘지전자 주식회사 박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 전압제어발진기 및 그박막 용적 탄성파 공진기 제조방법
US8928419B2 (en) 2012-06-13 2015-01-06 Seiko Epson Corporation Resonating element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and moving body
JP2017069646A (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 富士通株式会社 コイル内蔵水晶振動子、発振器、及びコイル内蔵水晶振動子の製造方法
JP2017069647A (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 富士通株式会社 コイル内蔵水晶振動子、発振器、及びコイル内蔵水晶振動子の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08242026A (ja) 圧電振動子及びこれを具備する圧電振動子デバイス並びに該デバイスを具備する回路装置
JPH11346139A (ja) 圧電共振子
JP3743913B2 (ja) 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器とそれらの製造方法
JPH0514442B2 (ja)
JPH11168343A (ja) 厚み縦圧電共振子
US4926086A (en) Piezoelectric resonator
JPH09162681A (ja) 圧電振動子
JPS6163107A (ja) 水晶振動子
JPS63135010A (ja) 弾性表面波共振子
JP3102869B2 (ja) 超薄板圧電共振子の構造
JP4310838B2 (ja) 圧電デバイス
JPH0228922B2 (ja) Atsudenshindoshi
JP2000332571A (ja) 圧電デバイス
JPS6357967B2 (ja)
JPH0870232A (ja) 弾性表面波素子及び発振器
JP2003273703A (ja) 水晶振動子と水晶振動子の製造方法
JPS6225039Y2 (ja)
JP3176642B2 (ja) Ktカット水晶振動子
JP2822647B2 (ja) エネルギ閉じ込め厚みすべり振動子
JPS5912810Y2 (ja) 圧電振動子
JPH08154032A (ja) 圧電共振子
JP3135286B2 (ja) 捩り水晶振動子
JPH0344451B2 (ja)
JP3135307B2 (ja) 捩り水晶振動子
JPH04220009A (ja) 高周波圧電共振子