JPS6163107A - 水晶振動子 - Google Patents
水晶振動子Info
- Publication number
- JPS6163107A JPS6163107A JP18445984A JP18445984A JPS6163107A JP S6163107 A JPS6163107 A JP S6163107A JP 18445984 A JP18445984 A JP 18445984A JP 18445984 A JP18445984 A JP 18445984A JP S6163107 A JPS6163107 A JP S6163107A
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- Japan
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- crystal
- electrode
- chip
- piece
- crystal chip
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は耐衝撃性が良好で作業性、経時変化特性の優れ
た比較的高い共振周波数の水晶振動子に関する・ 〔発明の技術的背景〕 従来、たとえばＡＴ力、トの厚みすベシ水晶振動子では
、水晶の結晶軸に対して所定角度に切断した板体から円
板状、矩形状等の水晶素片を得る。そしてこの水晶素片
の両側板面の中央に金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、等からな
る電極を蒸着等によシ形成する。そしてこの電極を、た
とえば同様に板面に蒸着し九導出電極をもりて端縁部へ
導出し、保持用のリード端子の先端に形成したスリ、ト
に上記端縁部をさし込んで、ここに上記電極を導出し、
このリード端子を介して厚みすベシ振動を励振するよう
Ｋしている。
た比較的高い共振周波数の水晶振動子に関する・ 〔発明の技術的背景〕 従来、たとえばＡＴ力、トの厚みすベシ水晶振動子では
、水晶の結晶軸に対して所定角度に切断した板体から円
板状、矩形状等の水晶素片を得る。そしてこの水晶素片
の両側板面の中央に金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、等からな
る電極を蒸着等によシ形成する。そしてこの電極を、た
とえば同様に板面に蒸着し九導出電極をもりて端縁部へ
導出し、保持用のリード端子の先端に形成したスリ、ト
に上記端縁部をさし込んで、ここに上記電極を導出し、
このリード端子を介して厚みすベシ振動を励振するよう
Ｋしている。
しかしながら、このようなものでは、リード端子に水晶
片をさし込む際の応力によシ生じる歪のために、発振周
波数が変動し易い。ｉた厚みの薄い水晶片の場合、落下
、外部からの衝撃等によシ破損し易い。さらに水晶片の
板面の電極と水晶片との境界に発生する歪のために発振
周波が変動する問題もあった。
片をさし込む際の応力によシ生じる歪のために、発振周
波数が変動し易い。ｉた厚みの薄い水晶片の場合、落下
、外部からの衝撃等によシ破損し易い。さらに水晶片の
板面の電極と水晶片との境界に発生する歪のために発振
周波が変動する問題もあった。
このためにリード端子の曲シ、平行度、ねじれ等を厳し
く管理して水晶片に歪を与えないようＫする必要があっ
た。そして水晶片に歪応力が作用した場合は、水晶片の
電気的、機械的な特性を劣化させる問題があった。
く管理して水晶片に歪を与えないようＫする必要があっ
た。そして水晶片に歪応力が作用した場合は、水晶片の
電気的、機械的な特性を劣化させる問題があった。
本発明は上記の事情に鎌みてなされたもので水晶片の機
械的な強度を高め得、それによって水晶片に作用する歪
応力を軽減することができ、しかも経年変化による特性
の劣化を防止でき電気的、機械的な特性が良好で、特性
劣化の少ない水晶振動子を提供することを目的とするも
のである。
械的な強度を高め得、それによって水晶片に作用する歪
応力を軽減することができ、しかも経年変化による特性
の劣化を防止でき電気的、機械的な特性が良好で、特性
劣化の少ない水晶振動子を提供することを目的とするも
のである。
本発明は圧電振動を励振する水晶片の両側にスペーサを
介して対向面側の板面に電極膜を形成した一対の電極片
を設けたことを特徴とするものである。
介して対向面側の板面に電極膜を形成した一対の電極片
を設けたことを特徴とするものである。
以下本発明の一実施例を図面を参照して詳細Ｋｌ明する
第１図は本発明の一実施例の水晶振動子を示す断面図で
、図中１は圧電振動を励振する水晶片である。この水晶
片は、たとえば、水晶のＹ軸を２軸の方向へ約３５’１
５’だけ回転したＹ軸に直交する面から切シ出したＡＴ
カットの円板状の水晶片である。そしてこの水晶片１０
両側板面にそれぞれ電極片２を板面を相対向させて設け
ている。この電極片２は、水晶片ノと同一外形形状で、
たとえば水晶の２板からなシ、かつ対向面側に蒸着等に
よシミ極膜２１を形成している。そして３は、水晶片１
と同一外形形状に成形した所定の厚み、たとえば数十μ
ｍの厚みを有するリング状のスペーサである。なお、水
晶片１の周縁部には透孔１１を穿設して両側板面を均圧
するよ５ＪＣしている。上記電極片２は、水晶、プラス
等のように水晶片１の熱膨張率に略等しい熱膨張率を有
する絶縁材を用いることが望まし区。したがって水晶の
２軸に直交する面から切シ出した２板の熱膨張率はＡＴ
力、トの水晶片に略等しく、シかも圧電特性を示さない
ので電極片として好都合である。
第１図は本発明の一実施例の水晶振動子を示す断面図で
、図中１は圧電振動を励振する水晶片である。この水晶
片は、たとえば、水晶のＹ軸を２軸の方向へ約３５’１
５’だけ回転したＹ軸に直交する面から切シ出したＡＴ
カットの円板状の水晶片である。そしてこの水晶片１０
両側板面にそれぞれ電極片２を板面を相対向させて設け
ている。この電極片２は、水晶片ノと同一外形形状で、
たとえば水晶の２板からなシ、かつ対向面側に蒸着等に
よシミ極膜２１を形成している。そして３は、水晶片１
と同一外形形状に成形した所定の厚み、たとえば数十μ
ｍの厚みを有するリング状のスペーサである。なお、水
晶片１の周縁部には透孔１１を穿設して両側板面を均圧
するよ５ＪＣしている。上記電極片２は、水晶、プラス
等のように水晶片１の熱膨張率に略等しい熱膨張率を有
する絶縁材を用いることが望まし区。したがって水晶の
２軸に直交する面から切シ出した２板の熱膨張率はＡＴ
力、トの水晶片に略等しく、シかも圧電特性を示さない
ので電極片として好都合である。
このようにすれば、たとえば基本波が３０ ＰＫＨｚの
ＡＴカットの水晶振動子では水晶片Ｉの厚みは約５０μ
ｍである。そしてこの両側板面に水晶板からなる電極片
２を設ける場合、その厚みは０．１餌程度でよく、スペ
ーサ３の厚みは２０μｍ程度でよい。そして、この場合
、振動子全体の厚みは約０．２５ｍとな多、水晶片１を
単体として直接、電極を形成したものに比して機械的な
強度を大幅に増すことができる。
ＡＴカットの水晶振動子では水晶片Ｉの厚みは約５０μ
ｍである。そしてこの両側板面に水晶板からなる電極片
２を設ける場合、その厚みは０．１餌程度でよく、スペ
ーサ３の厚みは２０μｍ程度でよい。そして、この場合
、振動子全体の厚みは約０．２５ｍとな多、水晶片１を
単体として直接、電極を形成したものに比して機械的な
強度を大幅に増すことができる。
そして水晶片１には電極が密着することなく、その板面
には空隙を存して電極膜２１が対面するので水晶片１の
振動を阻害することなく、かつ電極の酸化等による経時
的な変化の影響を受けることがなく、経年変化による周
波数の変動を防止することができる。
には空隙を存して電極膜２１が対面するので水晶片１の
振動を阻害することなく、かつ電極の酸化等による経時
的な変化の影響を受けることがなく、経年変化による周
波数の変動を防止することができる。
またリング３を用いることによシ水晶片１と電極片２と
の間隙を正確に規制することができ、かつ水晶片１と電
極片２とを微小な間隙で千行く保持することができる。
の間隙を正確に規制することができ、かつ水晶片１と電
極片２とを微小な間隙で千行く保持することができる。
さらに水晶片１と電極片２の熱膨張率の略等しいものを
用いることにより異材を積層したことによる温度特性へ
の悪影響も防止することができる。
用いることにより異材を積層したことによる温度特性へ
の悪影響も防止することができる。
さらにスペーサ３の厚みに応じて周波数の調整を正確か
つ容易に行なうこともできる。なおこのような水晶振動
子の等化回路は一般に第２図に示すようになる。すなわ
ちインダクタンスＬ、とコンデンサＣ１の直列回路に並
列にコンデンサＣＯを接続し、この回路にコンデンサｃ
Ｌを直列に接続したものである。そしてスペーサ３はコ
ンデンサＣＬ ＊ ０６に対して同時制約条件を与える
のでその厚みによって周波数および発振レベルの調整が
可能となる。
つ容易に行なうこともできる。なおこのような水晶振動
子の等化回路は一般に第２図に示すようになる。すなわ
ちインダクタンスＬ、とコンデンサＣ１の直列回路に並
列にコンデンサＣＯを接続し、この回路にコンデンサｃ
Ｌを直列に接続したものである。そしてスペーサ３はコ
ンデンサＣＬ ＊ ０６に対して同時制約条件を与える
のでその厚みによって周波数および発振レベルの調整が
可能となる。
なお本発明は上記実施例に限定されるものではなく、た
とえばスペーサ３は電極片２の一側板面の外周縁部に金
属、非金属等を一定の厚みにリング状に蒸着してもよい
。そしてこの電極片２の一側板面に電極膜２１を形成す
ればよい。
とえばスペーサ３は電極片２の一側板面の外周縁部に金
属、非金属等を一定の厚みにリング状に蒸着してもよい
。そしてこの電極片２の一側板面に電極膜２１を形成す
ればよい。
また第４図に示すように、電極片２の一側板面に電極膜
２１を形成し、ここに重ねて外周縁部に金属、非金属等
のスペーサ３をリング状に形成してもよい。
２１を形成し、ここに重ねて外周縁部に金属、非金属等
のスペーサ３をリング状に形成してもよい。
なお水晶片１はＡＴ力、トだけでなく、適宜なカットで
圧電振動を励振するものでよく、マた形状も丸板だけで
なく矩形板等も用い得ることは勿論である。
圧電振動を励振するものでよく、マた形状も丸板だけで
なく矩形板等も用い得ることは勿論である。
さらに第５図に断面図、第６図に斜視図を示すように全
体を直方体に成形し、かつリード端子を省略したチップ
部品とするようにしてもよい。すなわち両端部に電極片
２の電極Ｍ２１に導通する外部引出し電極４を形成する
。またこの外部引出し電極４間の外周にシールド電極５
を形成する。そして、電子回路の水晶振動子を接続すべ
き端子間に外部引出し電極４を対応させて載置し、ノ・
ンダ等で接続し、さらにシールド電極５を基準電位に接
続すればよい。
体を直方体に成形し、かつリード端子を省略したチップ
部品とするようにしてもよい。すなわち両端部に電極片
２の電極Ｍ２１に導通する外部引出し電極４を形成する
。またこの外部引出し電極４間の外周にシールド電極５
を形成する。そして、電子回路の水晶振動子を接続すべ
き端子間に外部引出し電極４を対応させて載置し、ノ・
ンダ等で接続し、さらにシールド電極５を基準電位に接
続すればよい。
〔発明の効果〕 ゛
以上のように本発明によれば、特に水晶振動子の機械的
強度を向上し、耐振・耐衝撃性が良好で経時変化が少な
く、電気的、機械的な特性が安定で生産性も優れを水晶
振動子を提供することができる。
強度を向上し、耐振・耐衝撃性が良好で経時変化が少な
く、電気的、機械的な特性が安定で生産性も優れを水晶
振動子を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は水晶
振動子の等価回路を示す図、第３図第４図は本発明の各
別の他の実施例の電極片を示す図、第５図は本発明の他
の実施例の振動子を示す断面図、第６図は第５図に示す
振動子の １斜視図である。 １・・・水晶片、２・・・電極片、２１・・・電極膜。
振動子の等価回路を示す図、第３図第４図は本発明の各
別の他の実施例の電極片を示す図、第５図は本発明の他
の実施例の振動子を示す断面図、第６図は第５図に示す
振動子の １斜視図である。 １・・・水晶片、２・・・電極片、２１・・・電極膜。
Claims (5)
- （１）圧電振動を励振される水晶片と、この水晶片の両
側板面にそれぞれ間隙を存して相対面する一対の電極片
と、この電極片のそれぞれ対向面側の板面に形成した電
極膜と、上記各電極片と水晶片との間に介在して一定の
間隙に保持するスペーサとを具備する水晶振動子。 - （２）特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、一対
の電極片の熱膨張率は水晶片に等しいことを特徴とする
水晶振動子。 - （３）特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、一対
の電極片はガラスからなることを特徴とする水晶振動子
。 - （４）特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、一対
の電極片は水晶板からなることを特徴とする水晶振動子
。 - （５）特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、水晶
片はＡＴ板、一対の電極片はＺ板からなることを特徴と
する水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18445984A JPS6163107A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18445984A JPS6163107A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6163107A true JPS6163107A (ja) | 1986-04-01 |
Family
ID=16153519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18445984A Pending JPS6163107A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6163107A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0220909A (ja) * | 1988-01-30 | 1990-01-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電発振器 |
| JPH0257009A (ja) * | 1988-08-23 | 1990-02-26 | Yokogawa Electric Corp | 圧電共振器 |
| JPH03139912A (ja) * | 1989-10-25 | 1991-06-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子 |
| JPH0377526U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-05 | ||
| JPH03210809A (ja) * | 1990-01-12 | 1991-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | チップ状圧電部品 |
| JPH06291589A (ja) * | 1992-04-15 | 1994-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子とその製造方法 |
| JPH06291587A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子 |
| JPH07231100A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-08-29 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
| US5668057A (en) * | 1991-03-13 | 1997-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Methods of manufacture for electronic components having high-frequency elements |
| US5747857A (en) * | 1991-03-13 | 1998-05-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electronic components having high-frequency elements and methods of manufacture therefor |
| US6413805B1 (en) | 1993-03-12 | 2002-07-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device forming method |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5159290A (ja) * | 1974-11-20 | 1976-05-24 | Seiko Instr & Electronics | Atsumisuberishindoshino shijisochi |
| JPS54116862A (en) * | 1978-01-27 | 1979-09-11 | France Etat | Piezooelectric resonator |
| JPS5550721A (en) * | 1978-10-09 | 1980-04-12 | France Etat | Piezooelectric twin resonator |
-
1984
- 1984-09-05 JP JP18445984A patent/JPS6163107A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5159290A (ja) * | 1974-11-20 | 1976-05-24 | Seiko Instr & Electronics | Atsumisuberishindoshino shijisochi |
| JPS54116862A (en) * | 1978-01-27 | 1979-09-11 | France Etat | Piezooelectric resonator |
| JPS5550721A (en) * | 1978-10-09 | 1980-04-12 | France Etat | Piezooelectric twin resonator |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0220909A (ja) * | 1988-01-30 | 1990-01-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電発振器 |
| JPH0257009A (ja) * | 1988-08-23 | 1990-02-26 | Yokogawa Electric Corp | 圧電共振器 |
| JPH03139912A (ja) * | 1989-10-25 | 1991-06-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子 |
| JPH0377526U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-05 | ||
| JPH03210809A (ja) * | 1990-01-12 | 1991-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | チップ状圧電部品 |
| US5668057A (en) * | 1991-03-13 | 1997-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Methods of manufacture for electronic components having high-frequency elements |
| US5747857A (en) * | 1991-03-13 | 1998-05-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electronic components having high-frequency elements and methods of manufacture therefor |
| JPH06291589A (ja) * | 1992-04-15 | 1994-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子とその製造方法 |
| JPH06291587A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子 |
| US5548178A (en) * | 1992-07-08 | 1996-08-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric vibrator and manufacturing method thereof |
| US6413805B1 (en) | 1993-03-12 | 2002-07-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device forming method |
| JPH07231100A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-08-29 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
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