JP3176642B2 - Ｋｔカット水晶振動子 - Google Patents
Ｋｔカット水晶振動子Info
- Publication number
- JP3176642B2 JP3176642B2 JP00785491A JP785491A JP3176642B2 JP 3176642 B2 JP3176642 B2 JP 3176642B2 JP 00785491 A JP00785491 A JP 00785491A JP 785491 A JP785491 A JP 785491A JP 3176642 B2 JP3176642 B2 JP 3176642B2
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- Japan
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- excitation electrode
- excitation
- width
- cut
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は幅縦水晶振動子のカット
角に関する。特に、小型化、高精度化、耐衝撃性、低廉
化の要求の強いポケットベル、ＩＣカードや移動無線等
の基準信号源として最適な新カットの幅縦水晶振動子に
関する。
角に関する。特に、小型化、高精度化、耐衝撃性、低廉
化の要求の強いポケットベル、ＩＣカードや移動無線等
の基準信号源として最適な新カットの幅縦水晶振動子に
関する。
【０００２】
【従来の技術】周波数が４ＭＨｚ以上の水晶振動子は、
板厚によって大略周波数が決定される厚みすべり水晶振
動子が用いられてきた。特に、周波数温度特性に優れた
ＡＴカットが多用されてきた。又、これらの振動子は機
械加工にて振動子を形成する方法が採られていた。
板厚によって大略周波数が決定される厚みすべり水晶振
動子が用いられてきた。特に、周波数温度特性に優れた
ＡＴカットが多用されてきた。又、これらの振動子は機
械加工にて振動子を形成する方法が採られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来か
ら多用されているＡＴカット水晶振動子は、機械加工に
より形成するために小型化した場合、振動子の支持方法
が難しく、振動漏れによる等価直列抵抗Ｒ1 の増加やス
プリアス振動の発生が多くなり、小型化には限界があっ
た。又、衝撃に弱く、更には、振動子を１個ずつ機械的
に加工するため低廉化には限界があるなど、超小型の携
帯機器用水晶振動子としては、極めて重要な課題が残さ
れていた。このことから、周波数が４ＭＨｚ以上で、し
かも超小型で、零温度係数を有するエッチング加工が容
易な新カットの水晶振動子が望まれていた。
ら多用されているＡＴカット水晶振動子は、機械加工に
より形成するために小型化した場合、振動子の支持方法
が難しく、振動漏れによる等価直列抵抗Ｒ1 の増加やス
プリアス振動の発生が多くなり、小型化には限界があっ
た。又、衝撃に弱く、更には、振動子を１個ずつ機械的
に加工するため低廉化には限界があるなど、超小型の携
帯機器用水晶振動子としては、極めて重要な課題が残さ
れていた。このことから、周波数が４ＭＨｚ以上で、し
かも超小型で、零温度係数を有するエッチング加工が容
易な新カットの水晶振動子が望まれていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は以下の方法で従
来の課題を解決するものである。すなわち、幅縦振動モ
ードで振動する水晶振動子で、ｚ軸（光軸）と垂直とな
るｚ板水晶をｘ軸（電気軸）を回転軸として、２０゜か
ら３５゜回転した水晶板から前記振動子を形成すること
により課題を解決している。
来の課題を解決するものである。すなわち、幅縦振動モ
ードで振動する水晶振動子で、ｚ軸（光軸）と垂直とな
るｚ板水晶をｘ軸（電気軸）を回転軸として、２０゜か
ら３５゜回転した水晶板から前記振動子を形成すること
により課題を解決している。
【０００５】
【作用】このように、本発明は幅縦水晶振動子で、しか
もカット角φがｚ板をｘ軸の回りにφ＝２０゜〜３５゜
回転し、この板より振動子をエッチング法により形成す
ることにより、零温度係数を持った幅縦水晶振動子が得
られる。
もカット角φがｚ板をｘ軸の回りにφ＝２０゜〜３５゜
回転し、この板より振動子をエッチング法により形成す
ることにより、零温度係数を持った幅縦水晶振動子が得
られる。
【０００６】
【実施例】次に、本発明を実施例に基づいて具体的に述
べる。図１は本発明の幅縦水晶振動子１とその座標系を
斜視図で示す。座標系は原点０、電気軸ｘ、機械軸ｙ、
光軸ｚから成り、０−ｘｙｚを構成している。まず、幅
ｘ0、 厚みｚ0、 長さｙ0 からなり、幅ｘ0 方向に伸縮
の振動をする幅縦水晶振動子１はｚ軸と垂直となるｚ板
水晶に一致するように置く。次に、ｘ軸を回転軸として
反時計方向に角度φ＝２０゜〜３５゜回転した裁出方位
から切り出される。以後、このカットをＫＴカットと呼
ぶ。この様子は図１の破線で示され、座標回転後の幅縦
水晶振動子２で示される。この角度φによって、弾性ス
チフネス定数の温度係数と膨張係数が変化するため、任
意の周波数温度特性が得られる。次に、カット角の変化
による温度特性の挙動について述べる。
べる。図１は本発明の幅縦水晶振動子１とその座標系を
斜視図で示す。座標系は原点０、電気軸ｘ、機械軸ｙ、
光軸ｚから成り、０−ｘｙｚを構成している。まず、幅
ｘ0、 厚みｚ0、 長さｙ0 からなり、幅ｘ0 方向に伸縮
の振動をする幅縦水晶振動子１はｚ軸と垂直となるｚ板
水晶に一致するように置く。次に、ｘ軸を回転軸として
反時計方向に角度φ＝２０゜〜３５゜回転した裁出方位
から切り出される。以後、このカットをＫＴカットと呼
ぶ。この様子は図１の破線で示され、座標回転後の幅縦
水晶振動子２で示される。この角度φによって、弾性ス
チフネス定数の温度係数と膨張係数が変化するため、任
意の周波数温度特性が得られる。次に、カット角の変化
による温度特性の挙動について述べる。
【０００７】図２は本発明の幅縦水晶振動子の厚みｚ0
が幅ｘ0より非常に小さく、かつ長さｙ0 が幅ｘ0 より
非常に大きいときのカット角φと１次、２次温度係数
α、βとの関係の特性図である。カット角φが零度から
大きくなるにつれて、１次温度係数αは大きくなりカッ
ト角φ＝２４．６゜でα＝０となり、常温付近で零温度
係数を持つ幅縦水晶振動子が得られる。更に角度を増や
すとαはさらに大きくなる。このように、φによって特
に、１次温度係数αが著しく変化するので、任意の温度
に頂点温度を設定することができる。一方、２次温度係
数βは、φ＝２０゜のときβ＝−１．２１×１０-8／℃
2 で、φが大きくなるにつれて、βの絶対値は小さくな
り、φ＝３５゜で、β＝−０．９２５×１０-10 ／℃2
となる。
が幅ｘ0より非常に小さく、かつ長さｙ0 が幅ｘ0 より
非常に大きいときのカット角φと１次、２次温度係数
α、βとの関係の特性図である。カット角φが零度から
大きくなるにつれて、１次温度係数αは大きくなりカッ
ト角φ＝２４．６゜でα＝０となり、常温付近で零温度
係数を持つ幅縦水晶振動子が得られる。更に角度を増や
すとαはさらに大きくなる。このように、φによって特
に、１次温度係数αが著しく変化するので、任意の温度
に頂点温度を設定することができる。一方、２次温度係
数βは、φ＝２０゜のときβ＝−１．２１×１０-8／℃
2 で、φが大きくなるにつれて、βの絶対値は小さくな
り、φ＝３５゜で、β＝−０．９２５×１０-10 ／℃2
となる。
【０００８】図３は図２で示した本発明の幅縦水晶振動
子のカット角φをパラメータにしたときの周波数温度特
性の例を示す。φ＝２０゜のときには、α、βが負の値
を持つために、頂点温度ＴＰは大きく負側に存在する。
しかし、φ＝２５゜で近似的にα＝０となるためにＴＰ
は常温にくる。更にφ＝３５゜と大きくすると、αはよ
り大きな正値を持つために頂点温度ＴＰは高くなる。こ
のようにカット角φの選択により頂点温度ＴＰを任意の
温度に設定できるので、使用条件により低温側で周波数
温度特性に優れた振動子を必要とする場合には、φをφ
＝２０゜付近に設定し、一方、高温側で要求する場合に
はφ＝３５゜付近と大きくすれば良い。勿論、常温付近
ではφ＝２５゜付近に設定すれば良いことは言うまでも
ない。又、２次温度係数βは図２で述べたように、φ＝
２０゜のとき、β＝−１．２１×１０-8／℃2 で、φが
大きくなるとβの絶対値はより小さくなるので、高温側
で使用したときの方が低温側のそれより、より周波数温
度特性に優れた幅縦水晶振動子が得られる。
子のカット角φをパラメータにしたときの周波数温度特
性の例を示す。φ＝２０゜のときには、α、βが負の値
を持つために、頂点温度ＴＰは大きく負側に存在する。
しかし、φ＝２５゜で近似的にα＝０となるためにＴＰ
は常温にくる。更にφ＝３５゜と大きくすると、αはよ
り大きな正値を持つために頂点温度ＴＰは高くなる。こ
のようにカット角φの選択により頂点温度ＴＰを任意の
温度に設定できるので、使用条件により低温側で周波数
温度特性に優れた振動子を必要とする場合には、φをφ
＝２０゜付近に設定し、一方、高温側で要求する場合に
はφ＝３５゜付近と大きくすれば良い。勿論、常温付近
ではφ＝２５゜付近に設定すれば良いことは言うまでも
ない。又、２次温度係数βは図２で述べたように、φ＝
２０゜のとき、β＝−１．２１×１０-8／℃2 で、φが
大きくなるとβの絶対値はより小さくなるので、高温側
で使用したときの方が低温側のそれより、より周波数温
度特性に優れた幅縦水晶振動子が得られる。
【０００９】図４はカット角φ＝２５゜を有する本発明
の幅縦水晶振動子の辺比γ（＝ｚ0 ／ｘ0 ：厚みｚ0 と
幅ｘ0 の比）と１次温度係数αとの関係を示す。今まで
は辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0 が非常に小さいときの周波数温度
特性について示したが、図４では辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0 を
少しずつ大きくしたときに、１次温度係数αがどのよう
に変化するのかを示している。図４から明らかなように
辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0 を大きくすると厚みｚ0 の影響が出
てきて、αの値がそれにより変化する。更に、その理由
を詳述すると、厚みｚ0 に依存する （１）厚みすべり振動 （２）厚み縦振動 （３）ポアソン比に依存する厚み方向の断面変形振動 の３つの振動が主に幅縦水晶振動子に影響を及ぼすため
である。この３つの振動の内、（３）は厚みｚ0 の大小
にかかわらず、その影響の大きさは別として、常にαに
影響を及ぼしている。図４から辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0 が大
きくなると（ｘ0 を一定とすると厚みｚ0 が大きくな
る）、厚みに依存する厚みすべり振動が主振動が幅縦水
晶振動子に結合するために、αは更に正値を持つ。この
ときには厚み縦振動はほとんど主振動とは結合しない。
しかしながら、更に辺比γ＝ｚ0 ／ｘ 0 を大きくする
と、今度は厚みすべり振動との結合は弱くなり、（２）
の厚み縦振動との結合が強くなるために、αは負値へと
変化して行く。この様子は図４の実験値からもよく理解
できる。
の幅縦水晶振動子の辺比γ（＝ｚ0 ／ｘ0 ：厚みｚ0 と
幅ｘ0 の比）と１次温度係数αとの関係を示す。今まで
は辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0 が非常に小さいときの周波数温度
特性について示したが、図４では辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0 を
少しずつ大きくしたときに、１次温度係数αがどのよう
に変化するのかを示している。図４から明らかなように
辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0 を大きくすると厚みｚ0 の影響が出
てきて、αの値がそれにより変化する。更に、その理由
を詳述すると、厚みｚ0 に依存する （１）厚みすべり振動 （２）厚み縦振動 （３）ポアソン比に依存する厚み方向の断面変形振動 の３つの振動が主に幅縦水晶振動子に影響を及ぼすため
である。この３つの振動の内、（３）は厚みｚ0 の大小
にかかわらず、その影響の大きさは別として、常にαに
影響を及ぼしている。図４から辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0 が大
きくなると（ｘ0 を一定とすると厚みｚ0 が大きくな
る）、厚みに依存する厚みすべり振動が主振動が幅縦水
晶振動子に結合するために、αは更に正値を持つ。この
ときには厚み縦振動はほとんど主振動とは結合しない。
しかしながら、更に辺比γ＝ｚ0 ／ｘ 0 を大きくする
と、今度は厚みすべり振動との結合は弱くなり、（２）
の厚み縦振動との結合が強くなるために、αは負値へと
変化して行く。この様子は図４の実験値からもよく理解
できる。
【００１０】図５は本発明の幅縦水晶振動子の周波数温
度特性の他の例を示す。振動子の条件はカット角φ＝２
４゜、辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0 ＝０．５、周波数ｆ＝１３．
５ＭＨｚの場合である。このとき、１次温度係数α＝−
１．３６×１０-8／℃、２次温度係数β＝−１．２８×
１０-8／℃2 とαが近似的に零で、又、βが従来よく知
られているＤＴカット（β＝−１．８×１０-8／℃2 ）
より小さくなり、優れた周波数温度特性を得ることがで
きた。
度特性の他の例を示す。振動子の条件はカット角φ＝２
４゜、辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0 ＝０．５、周波数ｆ＝１３．
５ＭＨｚの場合である。このとき、１次温度係数α＝−
１．３６×１０-8／℃、２次温度係数β＝−１．２８×
１０-8／℃2 とαが近似的に零で、又、βが従来よく知
られているＤＴカット（β＝−１．８×１０-8／℃2 ）
より小さくなり、優れた周波数温度特性を得ることがで
きた。
【００１１】次に、本発明の幅縦水晶振動子の幅寸法と
周波数ｆとの関係を示す。
周波数ｆとの関係を示す。
【００１２】図６は本発明の幅縦水晶振動子の幅ｘ0 と
周波数ｆとの関係を示す。本発明のＫＴカット水晶振動
子の周波数定数（ｆ・ｘ0 ）はカット角φによって、若
干変化するが基本波のとき大略２７０ＫＨｚ・ｃｍであ
るので、周波数ｆ＝４．０ＭＨｚ以上の振動子を実現す
るには、幅ｘ0は大略ｘ0 ＝６７５μｍより小さくすれ
ばよいことになる。勿論、高調波を使用すれば基本波の
３．５７倍等奇数倍の周波数が得られる。又、長さｙ0
に依存する長辺振動との結合を避けるために、長さｙ0
は幅ｘ0 より極めて大きくとり、更に、等価直列抵抗Ｒ
1 を小さくするために、通常はｘ0 ／ｙ0 ＜０．１に設
計される。但し、周波数が７ＭＨｚ以下と低くなると、
幅ｘ0 は大きくなるので、小型化した振動子を得るため
に、ｘ0 ／ｙ0 ＜０．２に設計されるが、この場合でも
長辺振動による影響は全く存在しない。
周波数ｆとの関係を示す。本発明のＫＴカット水晶振動
子の周波数定数（ｆ・ｘ0 ）はカット角φによって、若
干変化するが基本波のとき大略２７０ＫＨｚ・ｃｍであ
るので、周波数ｆ＝４．０ＭＨｚ以上の振動子を実現す
るには、幅ｘ0は大略ｘ0 ＝６７５μｍより小さくすれ
ばよいことになる。勿論、高調波を使用すれば基本波の
３．５７倍等奇数倍の周波数が得られる。又、長さｙ0
に依存する長辺振動との結合を避けるために、長さｙ0
は幅ｘ0 より極めて大きくとり、更に、等価直列抵抗Ｒ
1 を小さくするために、通常はｘ0 ／ｙ0 ＜０．１に設
計される。但し、周波数が７ＭＨｚ以下と低くなると、
幅ｘ0 は大きくなるので、小型化した振動子を得るため
に、ｘ0 ／ｙ0 ＜０．２に設計されるが、この場合でも
長辺振動による影響は全く存在しない。
【００１３】今までは周波数温度特性と周波数について
述べてきたが、次に、本発明の幅縦水晶振動子を励振す
る電極の配置について述べる。
述べてきたが、次に、本発明の幅縦水晶振動子を励振す
る電極の配置について述べる。
【００１４】図７（ａ)、（ｂ)、（ｃ）は本発明のＫＴカ
ット幅縦水晶振動子の励振電極配置例の断面図を示す。
図７（ａ）は幅縦水晶振動子２のｚ’軸に垂直な面に励
振電極３、４、５、６が設けられ、対向電極３、４と対
向電極５、６が同極となるように形成され、各々電極端
子Ａ，Ｂを形成している。又、図７（ｂ）は幅縦水晶振
動子２のｘ軸に垂直でエッチングされた面にそれぞれ励
振電極７、８が設けられている場合の例で、（ａ）と同
様電極端子Ａ，Ｂを形成している。更に、図７（ｃ）は
幅縦水晶振動子２のｚ’軸とｘ軸に垂直でエッチングさ
れた面に励振電極９、１０を設けた場合の例である、同
様に電極端子Ａ，Ｂを形成している。従って、電極端子
Ａ，Ｂ間に交番電圧を印加することによって、ｘ軸方向
に電界が発生する、これにより、幅ｘ0 方向に大きく振
動する幅縦水晶振動子を容易に励振することができる。
その結果、等価直列抵抗Ｒ1 の小さい幅縦水晶振動子を
得ることができる。又、図７（ａ)、（ｂ)、（ｃ）に設け
られた励振電極３−１０の大きさは、スプリアス振動や
電界効率等を考慮して決められる。特に、ｙ’軸方向の
電極の長さは、長さｙ0 に全面に配置したときが最もＲ
1 を低下させることができる。
ット幅縦水晶振動子の励振電極配置例の断面図を示す。
図７（ａ）は幅縦水晶振動子２のｚ’軸に垂直な面に励
振電極３、４、５、６が設けられ、対向電極３、４と対
向電極５、６が同極となるように形成され、各々電極端
子Ａ，Ｂを形成している。又、図７（ｂ）は幅縦水晶振
動子２のｘ軸に垂直でエッチングされた面にそれぞれ励
振電極７、８が設けられている場合の例で、（ａ）と同
様電極端子Ａ，Ｂを形成している。更に、図７（ｃ）は
幅縦水晶振動子２のｚ’軸とｘ軸に垂直でエッチングさ
れた面に励振電極９、１０を設けた場合の例である、同
様に電極端子Ａ，Ｂを形成している。従って、電極端子
Ａ，Ｂ間に交番電圧を印加することによって、ｘ軸方向
に電界が発生する、これにより、幅ｘ0 方向に大きく振
動する幅縦水晶振動子を容易に励振することができる。
その結果、等価直列抵抗Ｒ1 の小さい幅縦水晶振動子を
得ることができる。又、図７（ａ)、（ｂ)、（ｃ）に設け
られた励振電極３−１０の大きさは、スプリアス振動や
電界効率等を考慮して決められる。特に、ｙ’軸方向の
電極の長さは、長さｙ0 に全面に配置したときが最もＲ
1 を低下させることができる。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のＫＴカット
幅縦水晶振動子は、次の著しい効果を有する。 （１）カット角φ＝２０゜〜３５゜の幅縦水晶振動子は
頂点温度ＴＰを任意の温度に設定できるので、要求に応
じて低温側でも高温側でも優れた周波数温度特性を得る
ことができる。
幅縦水晶振動子は、次の著しい効果を有する。 （１）カット角φ＝２０゜〜３５゜の幅縦水晶振動子は
頂点温度ＴＰを任意の温度に設定できるので、要求に応
じて低温側でも高温側でも優れた周波数温度特性を得る
ことができる。
【００１６】（２）カット角φ＝２０゜〜３５゜のＫＴ
カットは、エッチング法によって容易に形成できるの
で、小型化、薄型化ができる。 （３）周波数が幅ｘ0 によって大略決まるので、４ＭＨ
ｚ以上の周波数は、特に超小型化が可能である。 （４）１枚のウエーハ上に多数個の振動子を一度にバッ
チ処理できるので、低廉化が可能である。
カットは、エッチング法によって容易に形成できるの
で、小型化、薄型化ができる。 （３）周波数が幅ｘ0 によって大略決まるので、４ＭＨ
ｚ以上の周波数は、特に超小型化が可能である。 （４）１枚のウエーハ上に多数個の振動子を一度にバッ
チ処理できるので、低廉化が可能である。
【００１７】（５）振動子の上下面あるいは側面、又は
上下面と側面に励振電極を配置することにより、等価直
列抵抗Ｒ1 の小さい幅縦水晶振動子が得られる。 （６）本振動子は任意の形状をエッチング法にて形成で
きるので、耐衝撃性に優れた振動子が得られる。
上下面と側面に励振電極を配置することにより、等価直
列抵抗Ｒ1 の小さい幅縦水晶振動子が得られる。 （６）本振動子は任意の形状をエッチング法にて形成で
きるので、耐衝撃性に優れた振動子が得られる。
【図１】本発明の幅縦水晶振動子とその座標系を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】本発明の幅縦水晶振動子のカット角φと１次、
２次温度係数α、βとの関係を示す特性図である。
２次温度係数α、βとの関係を示す特性図である。
【図３】本発明の幅縦水晶振動子のカット角φをパラメ
ータにしたときの周波数温度特性の一例を示す特性図で
ある。
ータにしたときの周波数温度特性の一例を示す特性図で
ある。
【図４】本発明の幅縦水晶振動子の辺比γ＝ｚ0 ／ｘ0
と１次温度係数αとの関係の特性図である。
と１次温度係数αとの関係の特性図である。
【図５】本発明の幅縦水晶振動子の周波数温度特性の他
の例を示す特性図である。
の例を示す特性図である。
【図６】本発明の幅縦水晶振動子の幅ｘ0 と周波数ｆと
の関係の特性図である。
の関係の特性図である。
【図７】（ａ)、（ｂ)、（ｃ）は本発明のＫＴカット幅縦
水晶振動子の励振電極配置の３様の断面図である。
水晶振動子の励振電極配置の３様の断面図である。
１ 幅縦水晶振動子 ２ 座標回転後の幅縦水晶振動子 ３−１０ 励振電極 Ａ，Ｂ 電極端子 ｘ0 振動子の幅 ｙ0 振動子の長さ ｚ0 振動子の厚み ｘ 電気軸 ｙ 機械軸 ｚ 光軸 φ カット角
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−30736（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−138394（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−57631（ＪＰ，Ｕ) 1992 ＩＥＥＥ ＦＲＥＱＵＥＮＣＹ ＣＯＮＴＲＯＬ ＳＹＭＰＯＳＩＵＭ Ｐ．525−531 1993 ＩＥＥＥ ＩＮＴＥＲＮＡＴＩ ＯＮＡＬ ＦＲＥＱＵＥＮＣＹ ＣＯＮ ＴＲＯＬ ＳＹＭＰＯＳＩＵＭ Ｐ. 527−534 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/00 - 9/215 H03H 9/54 - 9/60
Claims (5)
- 【請求項１】 幅縦振動モードで振動する水晶振動子に
おいて、ｚ軸（光軸）と垂直となるＺ板水晶をｘ軸（電
気軸）を回転軸として反時計方向に２０°から３５°座
標が回転した水晶板から前記振動子を形成し、且つ、ｘ
軸方向に電界を発生する複数の励振電極を有することを
特徴とするＫＴカット水晶振動子。 - 【請求項２】 前記複数の励振電極は、前記振動子の座
標回転後のｚ‘軸に垂直で、且つｙ’軸に平行な上面
に、互いに離間して設けられた励振電極３と励振電極５
と、 下面の前記励振電極３と前記励振電極５ぞれぞれに対向
する位置に互いに離間して設けられた励振電極４と励振
電極６とからなり、 前記励振電極３と前記励振電極４とが電気的に接続さ
れ、前記励振電極５と前記励振電極６とが電気的に接続
されていることを特徴とする請求項１記載のＫＴカット
水晶振動子。 - 【請求項３】 前記複数の励振電極は、前記振動子の座
標回転後のｘ軸に垂直で、且つｙ‘軸に平行な面のうち
一方に設けられた励振電極７と、 他方に設けられた励振電極８からなることを特徴とする
請求項１記載のＫＴカット水晶振動子。 - 【請求項４】 前記複数の励振電極は、ぞれぞれ前記振
動子の座標回転後のｚ‘軸に垂直で、且つｙ’軸に平行
な上面および下面と、座標回転後のｘ軸に垂直で、且つ
ｙ‘軸に平行な面とにわたり一体に設けられ、且つ、互
いに離間した励振電極９と励振電極１０であることを特
徴とする請求項１記載のＫＴカット水晶振動子。 - 【請求項５】 前記振動子の長さｙ 0 と幅ｘ 0 の比がｘ 0
／ｙ 0 ＜０．１であることを特徴とする請求項１記載の
ＫＴカット水晶振動子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00785491A JP3176642B2 (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | Ｋｔカット水晶振動子 |
| US07/822,532 US5311096A (en) | 1991-01-25 | 1992-01-17 | KT cut width-extensional mode quartz crystal resonator |
| DE69225250T DE69225250T2 (de) | 1991-01-25 | 1992-01-21 | Quarzkristall-Resonator im Breitenausdehnungsmodus mit KT-Schnitt |
| EP92300508A EP0496583B1 (en) | 1991-01-25 | 1992-01-21 | KT cut width-extensional mode quartz crystal resonator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00785491A JP3176642B2 (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | Ｋｔカット水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04240911A JPH04240911A (ja) | 1992-08-28 |
| JP3176642B2 true JP3176642B2 (ja) | 2001-06-18 |
Family
ID=11677217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00785491A Expired - Lifetime JP3176642B2 (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | Ｋｔカット水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3176642B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015142150A (ja) * | 2014-01-27 | 2015-08-03 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 輪郭すべり振動子 |
-
1991
- 1991-01-25 JP JP00785491A patent/JP3176642B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| １９９２ ＩＥＥＥ ＦＲＥＱＵＥＮＣＹ ＣＯＮＴＲＯＬ ＳＹＭＰＯＳＩＵＭ Ｐ．５２５−５３１ |
| １９９３ ＩＥＥＥ ＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ ＦＲＥＱＵＥＮＣＹ ＣＯＮＴＲＯＬ ＳＹＭＰＯＳＩＵＭ Ｐ．５２７−５３４ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04240911A (ja) | 1992-08-28 |
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