JPS6098711A - 厚みすべり振動子 - Google Patents
厚みすべり振動子Info
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- JPS6098711A JPS6098711A JP20574583A JP20574583A JPS6098711A JP S6098711 A JPS6098711 A JP S6098711A JP 20574583 A JP20574583 A JP 20574583A JP 20574583 A JP20574583 A JP 20574583A JP S6098711 A JPS6098711 A JP S6098711A
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- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02157—Dimensional parameters, e.g. ratio between two dimension parameters, length, width or thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は厚みすべり振動子に関し、特に断面矩形状の圧
電体から成る厚みすべり振動子に関する。
電体から成る厚みすべり振動子に関する。
圧電セラミックを素材とするエネルギー閉じ込み型の厚
みすベリ振動子は発振子或いは通信用フィルタとして電
子機器に広く用いられている。
みすベリ振動子は発振子或いは通信用フィルタとして電
子機器に広く用いられている。
従来、厚み振動子は第１図に示す如く、断面矩形状の圧
電体１００の対向する主表面１０１，１０２にそれぞれ
主電極１１１，１１２とリード引出線１２１，１２２を
形成した構造を有しており、リード引出線１２１．１２
２を介してｎＩＪ記圧電圧電極１１１１２間に所定の交
番ｉＬ圧を印加し、圧電体１００に電界を印加する４（
により圧電体１００に所φの周波数に共振する厚みすべ
り振動を励起させている。
電体１００の対向する主表面１０１，１０２にそれぞれ
主電極１１１，１１２とリード引出線１２１，１２２を
形成した構造を有しており、リード引出線１２１．１２
２を介してｎＩＪ記圧電圧電極１１１１２間に所定の交
番ｉＬ圧を印加し、圧電体１００に電界を印加する４（
により圧電体１００に所φの周波数に共振する厚みすべ
り振動を励起させている。
かかる構成の厚みすべり振動子においては、圧電８＋１
１１，１１２間に所定の電圧を印加し、圧電体１００に
主振動である厚みすベリ振動を励起させた場合、同時に
多数の不要副振動が励起され、該不要副振動の作用によ
って多量のスプリアスが発生する為、圧電体１００の両
端部をナイフェツジ状にベベリング加工し、スプリアス
の発生を抑制している。
１１，１１２間に所定の電圧を印加し、圧電体１００に
主振動である厚みすベリ振動を励起させた場合、同時に
多数の不要副振動が励起され、該不要副振動の作用によ
って多量のスプリアスが発生する為、圧電体１００の両
端部をナイフェツジ状にベベリング加工し、スプリアス
の発生を抑制している。
しかしながら、近時の電子機器の小型化に伴ない、 ＋
ｊｉｊ記圧電体圧電体１００Ｑ１５ｍ＋ｎ以下として厚
みすベリ振動子の小型化を図った場合、圧電体＋００の
両端部をナイフェツジ状にベベリング加工する＝ｊｉか
極めて困難となり、この結果不要副振動の作用を完全に
抑制する事が出来ず、多ｊ、１のスプリアスを発生して
実用に供しなくなるという欠点をイｆしていた。
ｊｉｊ記圧電体圧電体１００Ｑ１５ｍ＋ｎ以下として厚
みすベリ振動子の小型化を図った場合、圧電体＋００の
両端部をナイフェツジ状にベベリング加工する＝ｊｉか
極めて困難となり、この結果不要副振動の作用を完全に
抑制する事が出来ず、多ｊ、１のスプリアスを発生して
実用に供しなくなるという欠点をイｆしていた。
又、仮りに圧電体１００の両端にベベリング加工が出来
たとしても該両端部は厚みが極めて薄く、機械的強度が
低下する為、外部リード端子等を取箔する際に外力が印
加されると容易に破損し、信頼性及び歩留りか極めて悪
いという欠点も有していた。
たとしても該両端部は厚みが極めて薄く、機械的強度が
低下する為、外部リード端子等を取箔する際に外力が印
加されると容易に破損し、信頼性及び歩留りか極めて悪
いという欠点も有していた。
更に、主゛電極１１１，１１２間に電圧を印加するため
の、リート引出線１２１，１２２が圧電体１００の両端
部にまで延長されており、一方圧電体１００の両端部は
ベベリング加工によりナイフェツジ状に斜めにカットさ
れている事から、該斜め加工布へのリード引出線１２１
，１２２の形成が困難で且つ特殊な装置を必要とし、作
業性及び信頼性が悪いという欠点を有していた。
の、リート引出線１２１，１２２が圧電体１００の両端
部にまで延長されており、一方圧電体１００の両端部は
ベベリング加工によりナイフェツジ状に斜めにカットさ
れている事から、該斜め加工布へのリード引出線１２１
，１２２の形成が困難で且つ特殊な装置を必要とし、作
業性及び信頼性が悪いという欠点を有していた。
この為従来においては圧゛電体長さか１５ｍｍ以下でス
プリアスの発生かなく且つ信頼性、作業性の良（ＩＦな
小型の厚みすべり振動子を商業的に生産することができ
なかった。
プリアスの発生かなく且つ信頼性、作業性の良（ＩＦな
小型の厚みすべり振動子を商業的に生産することができ
なかった。
本発明者はかかる従来技術の欠点に鑑み鋭厖、研究した
結果、厚みすべり振動子の小型化を図るに際し、断面矩
形状の圧電体長さを１５ｍｎ＋以下とした場合、圧電体
の幅と厚みを一定範囲内に保つ本により両端にベベリン
グ加工を施す二となく、不要副振動の作用を良好に抑制
し、スプリアスの発生が極めて少ない厚みすベリ振動子
、うく得られる！１（を発見した。
結果、厚みすべり振動子の小型化を図るに際し、断面矩
形状の圧電体長さを１５ｍｎ＋以下とした場合、圧電体
の幅と厚みを一定範囲内に保つ本により両端にベベリン
グ加工を施す二となく、不要副振動の作用を良好に抑制
し、スプリアスの発生が極めて少ない厚みすベリ振動子
、うく得られる！１（を発見した。
本発明は上記知見に基すき、小型でスプリアスが少なく
、かつ信頼性及び作業性が良好なノゾみすベリ振動子を
提供するＪ１￥をその目的とするものである。
、かつ信頼性及び作業性が良好なノゾみすベリ振動子を
提供するＪ１￥をその目的とするものである。
而して本発明は断面矩形状の圧電体から成る厚みすへり
振動子において、前記圧電体の長さをし、幅をＷ、厚み
ｅＴとし、 ５≦Ｌ≦１５（ｍｍ）、２．０≦Ｗ／Ｔ≦
６．０シた事を特徴とするものである。
振動子において、前記圧電体の長さをし、幅をＷ、厚み
ｅＴとし、 ５≦Ｌ≦１５（ｍｍ）、２．０≦Ｗ／Ｔ≦
６．０シた事を特徴とするものである。
そしてかかる特徴から本発明はト“記のような効果をイ
するシバが出来る。
するシバが出来る。
ａ、圧電体の外形形状を上記式にノ１（づいて構成した
為、長さ１５ｍｍ以下の小型にして且つスプリアスの発
生が少ない厚みすべり振動子の商業的生産がｉ器能とな
り、近年の電子機器の小型化の要請に応える事が出来そ
の実用的価値が高い。
為、長さ１５ｍｍ以下の小型にして且つスプリアスの発
生が少ない厚みすべり振動子の商業的生産がｉ器能とな
り、近年の電子機器の小型化の要請に応える事が出来そ
の実用的価値が高い。
尚、前記圧電体の長さ５＋ａｍ未満とした場合、主娠動
である厚みすべり振動のエネルギー閉じ込め効果が小さ
くなり、共振点がばらついたり、スプリアスが発生した
りしたりして実用に供しなくなる。
である厚みすべり振動のエネルギー閉じ込め効果が小さ
くなり、共振点がばらついたり、スプリアスが発生した
りしたりして実用に供しなくなる。
ｂ、又本発明においては圧電体の両端部にベベリング加
工を施す事が不要であり、加工工数の低減と圧電体端部
の機械的強度の低下を防止出来、信頼性と歩留りを極め
て高いものにする事が出来る。
工を施す事が不要であり、加工工数の低減と圧電体端部
の機械的強度の低下を防止出来、信頼性と歩留りを極め
て高いものにする事が出来る。
Ｃ８更に圧電体は全体が断面矩形状である為、リード引
出線は主電極と同一平面（主表面）上に形成され、該リ
ード引出線は主電極形成の際に同時に形成することが出
来る事となり、この結果作業性の向上と高信頼性を得る
２ｈが出来る。
出線は主電極と同一平面（主表面）上に形成され、該リ
ード引出線は主電極形成の際に同時に形成することが出
来る事となり、この結果作業性の向上と高信頼性を得る
２ｈが出来る。
等の種々の効果をイｖる事が出来る。
以下図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
第２図は本発明の厚みすべり振動子の一実施例を示し、
ｌはチタン酸ジルコン産鉛（ＰＺＴ ｉ器）又は水晶等
の圧電セラミックから成る圧電体ｌである。該圧電体ｌ
は断面が矩形状を成しており、その長さく主表面の長辺
長さ）をし、幅（主表面の短辺長さ）をＷ、厚さく主表
面間厚さ）をＴとし、長さＬ方向に分８ｉＰが施されて
いる。
ｌはチタン酸ジルコン産鉛（ＰＺＴ ｉ器）又は水晶等
の圧電セラミックから成る圧電体ｌである。該圧電体ｌ
は断面が矩形状を成しており、その長さく主表面の長辺
長さ）をし、幅（主表面の短辺長さ）をＷ、厚さく主表
面間厚さ）をＴとし、長さＬ方向に分８ｉＰが施されて
いる。
又、ｊｉｉｊ記圧電体ｌの対向する両生表面には銀、ア
ルミニウム等の金属から成る主電極１１．１２か設けら
れており、該主電極１１．１２の一側からリード引出［
１３，１４が延出されている。
ルミニウム等の金属から成る主電極１１．１２か設けら
れており、該主電極１１．１２の一側からリード引出［
１３，１４が延出されている。
尚、主電極１１とリード引出線１３、及び主電極１２と
リード引出１１１４は夫々従来周知の薄膜手法により圧
電体ｌの両主表面間に同時に形成される。
リード引出１１１４は夫々従来周知の薄膜手法により圧
電体ｌの両主表面間に同時に形成される。
かくしてリード引出線１３．１４を介して主電極１１．
１２間に一定電圧を印加すると、圧電体１内に所望の周
波数に共振する厚みすベリ振動が励起される。
１２間に一定電圧を印加すると、圧電体１内に所望の周
波数に共振する厚みすベリ振動が励起される。
次に本実施例の作用効果について説明する。
第２図に示す断面矩形状の圧電体１にＰＺＴ磁器を用い
、その長さＬを８．８５ｔｍ、主電極の長さし０を２ｊ
ａ５ｍＤＩに設定し、幅Ｗと厚みＴを変化させてスプリ
アスの発生を調べた。その結果を次表に示す。
、その長さＬを８．８５ｔｍ、主電極の長さし０を２ｊ
ａ５ｍＤＩに設定し、幅Ｗと厚みＴを変化させてスプリ
アスの発生を調べた。その結果を次表に示す。
注１）上表（）内はＷ／Ｔ比を示す。
注２ ）−を表の＠記号はスプリアスがない事を示す。
注３）−Ｌ表のＯ記号は多少のスプリアスが発生するも
実用」―問題がないものである黍を示す。
実用」―問題がないものである黍を示す。
注４）上表の×記号はスプリアス振動が多量に発生し、
実用に問題があるものである事を示す。
実用に問題があるものである事を示す。
上記測定結果からも判るように、圧電体の長さＬを１５
ｍｍ以下とし、＠Ｗと厚さＴＩ：Ｗ／Ｔ＜２．０或いは
Ｗ／Ｔ＞８．０とした場合は、圧電体内に励起される厚
みすべり振動には不要副振動の作用によるスプリアスが
多量に発生するものの、２．０≦Ｗ／Ｔ≦８．０とした
場合にはスプリアスはほとんど発生せず、特に３．０≦
Ｗ／Ｔ≦５．０とした場合にはスプリアスの発生が皆無
となる。
ｍｍ以下とし、＠Ｗと厚さＴＩ：Ｗ／Ｔ＜２．０或いは
Ｗ／Ｔ＞８．０とした場合は、圧電体内に励起される厚
みすべり振動には不要副振動の作用によるスプリアスが
多量に発生するものの、２．０≦Ｗ／Ｔ≦８．０とした
場合にはスプリアスはほとんど発生せず、特に３．０≦
Ｗ／Ｔ≦５．０とした場合にはスプリアスの発生が皆無
となる。
従って本発明に係る厚みすベリ振動子は、 ｔＪｉｊ記
圧電体圧電体Ｌが５≦Ｌ≦１５ （ｉｍ） ｅＩ囲内の
、例えば発振子やフィルタに使用される振動子として極
めて有用である。
圧電体圧電体Ｌが５≦Ｌ≦１５ （ｉｍ） ｅＩ囲内の
、例えば発振子やフィルタに使用される振動子として極
めて有用である。
尚、本発明は」二連の実施例に限定されるものではなく
本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可
能である。
本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可
能である。
第１図は従来の厚みすベリ振動子の斜視図、第２図は本
発明の厚みすべり振動子の斜視図を示す１：圧電体、
１１，１２ ：主電極 １３．１４ 、リード引出線 第 １ 叫 第 ２ 図
発明の厚みすべり振動子の斜視図を示す１：圧電体、
１１，１２ ：主電極 １３．１４ 、リード引出線 第 １ 叫 第 ２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 断面矩形状の圧電体から成る厚みすべり振動子において
、前記圧電体の長さをＬ、幅をＷ、厚みをＴとして。 ５ｍｍ≦Ｌ≦１５ｍｍ、２．０ ≦Ｗ／Ｔ≦８．０とし
た事を特徴とする厚みすべり振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20574583A JPS6098711A (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | 厚みすべり振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20574583A JPS6098711A (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | 厚みすべり振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6098711A true JPS6098711A (ja) | 1985-06-01 |
Family
ID=16511951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20574583A Pending JPS6098711A (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | 厚みすべり振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6098711A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0350814A2 (en) * | 1988-07-09 | 1990-01-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibration component |
| US7681690B2 (en) | 2007-07-13 | 2010-03-23 | Longyear Tm, Inc. | Noise abatement device for a pneumatic tool |
| US7735603B2 (en) | 2008-05-28 | 2010-06-15 | Longyear Tm, Inc. | Noise reducing device for a pneumatic tool |
| US8215449B2 (en) | 2009-12-02 | 2012-07-10 | Longyear Tm, Inc. | Muffler system for noise abatement and ice control |
| JP2013207536A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
-
1983
- 1983-11-04 JP JP20574583A patent/JPS6098711A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0350814A2 (en) * | 1988-07-09 | 1990-01-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibration component |
| US5118980A (en) * | 1988-07-09 | 1992-06-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibration component |
| US7681690B2 (en) | 2007-07-13 | 2010-03-23 | Longyear Tm, Inc. | Noise abatement device for a pneumatic tool |
| US7735603B2 (en) | 2008-05-28 | 2010-06-15 | Longyear Tm, Inc. | Noise reducing device for a pneumatic tool |
| US8215449B2 (en) | 2009-12-02 | 2012-07-10 | Longyear Tm, Inc. | Muffler system for noise abatement and ice control |
| JP2013207536A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
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