JPH11168343A - 厚み縦圧電共振子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基本波に起因するスプリアスを効果的に抑圧
し得ると共に小型化を図り得る、厚み縦振動モードの高
調波を利用した厚み縦圧電共振子を得る。 【解決手段】 厚み縦振動モードの高調波を利用したエ
ネルギー閉じ込め型の圧電共振子であって、圧電基板２
の両主面において部分的にかつ圧電基板２を介して表裏
対向するように第１，第２の励振電極３ａ，４ａを形成
してなり、第１，第２の励振電極３ａ，４ａにそれぞれ
第１，第２の引き出し電極３ｂ，４ｂを連ね、第１，第
２の引き出し電極３ｂ，４ｂに、それぞれ、圧電基板の
一端縁に沿うように形成されている第１，第２の端子電
極５，６を接続してなり、第１，第２の引き出し電極３
ｂ，４ｂの少なくとも一方の一部にスプリアス抑制電極
部を連ねた厚み縦圧電共振子１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、厚み縦振動モード
の高調波を利用した厚み縦圧電共振子に関し、より詳細
には、電極形状の改良により基本波に起因するスプリア
スの抑圧を可能とした厚み縦圧電共振子に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばマイクロコンピュータなどのクロ
ック信号を発生するのに用いられるＭＨｚ帯の圧電発振
子として、厚み縦振動モードの高調波を利用した圧電共
振子が知られている。この種の圧電共振子においては、
厚み縦振動の高調波を利用するものであるため、厚み縦
振動の基本波による応答がスプリアスとなる。従って、
基本波に起因するスプリアスの抑圧が強く求められてい
る。

【０００３】特開平４−２１６２０８号公報には、浮き
電極を用いて基本波に起因するスプリアスを抑圧するこ
とを可能とした、厚み縦振動の３倍波を利用した圧電共
振子が開示されている。

【０００４】図１５に、上記先行技術に記載の圧電共振
子の構造を示す。圧電共振子６１では、矩形の圧電基板
６２の上面中央に振動電極６３が、下面中央に振動電極
６４が形成されている。振動電極６３，６４は、圧電基
板６２を介して表裏対向されている。

【０００５】振動電極６３は、引き出し電極６５ａを介
して圧電基板６２の短辺側の端縁に沿って形成された端
子電極６５ｂに接続されている。他方、振動電極６４
は、圧電基板６２の下面において、引き出し電極６６ａ
を介して短辺側の端縁に沿って形成された端子電極６６
ｂに電気的に接続されている。

【０００６】また、圧電基板６２の上面には、一対の長
辺側端縁に沿うように浮き電極６７ａ，６７ｂが、下面
においては、浮き電極６７ａ，６７ｂに対して圧電基板
６２を介して表裏対向するように浮き電極６７ｃ，６７
ｄがそれぞれ形成されている。

【０００７】圧電共振子６１では、振動電極６３，６４
が対向している部分が振動部を構成しており、厚み縦振
動の３倍波が該振動部に閉じ込められる。基本波は、振
動部を中心としてその周囲に伝搬するが、浮き電極６７
ａ〜６７ｄの機械的負荷と圧電短絡効果とにより、浮き
電極６７ａ〜６７ｄが形成されている部分に基本波の振
動エネルギーが吸収され、基本波に起因する不要スプリ
アスの抑圧が図られるとされている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記圧
電共振子６１では、浮き電極６７ａ〜６７ｄを、圧電基
板６２の短辺に沿う方向において振動部の両側に形成し
なければならず、従って浮き電極６７ａ〜６７ｄを形成
した分だけ小型化を進めることができないという問題が
あった。特に、基本波を浮き電極６７ａ〜６７ｄが設け
られている領域に誘導するには、浮き電極６７ａ〜６７
ｄの面積を大きくしなければならないため、基本波に起
因するスプリアスの抑圧と圧電共振子６１の小型化とを
両立することは非常に困難であった。

【０００９】本発明の目的は、厚み縦振動モードの高調
波を利用した厚み縦圧電共振子において、基本波に起因
する不要スプリアスを効果的に抑圧することができると
共に、小型化を図り得る厚み縦圧電共振子を提供するこ
とにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、厚み縦振動モードの高調波を利用したエネルギー閉
じ込め型の圧電共振子であって、圧電基板と、圧電基板
の両主面において部分的に設けられており、かつ圧電基
板を介して表裏対向するように形成されている第１，第
２の励振電極と、第１，第２の励振電極にそれぞれ連ね
られており、かつ圧電基板の一端縁に向かって延ばされ
ている第１，第２の引き出し電極と、第１または第２の
引き出し電極に接続されており、かつ圧電基板の一端縁
に沿うように形成されている第１，第２の端子電極とを
備え、前記第１，第２の引き出し電極の少なくとも一方
の一部に連ねられて設けられたスプリアス抑制電極部を
さらに備えることを特徴とする。

【００１１】また、請求項２に記載の発明では、前記ス
プリアス抑制電極部が前記引き出し電極の幅を増加させ
るように引き出し電極の引き出し方向と交差する方向に
形成されている。

【００１２】請求項３に記載の発明では、前記引き出し
電極のスプリアス抑制電極部が設けられている部分の幅
方向寸法が、励振電極の該幅方向寸法の１／２以上とさ
れている。

【００１３】好ましくは、請求項４に記載のように、引
き出し電極のスプリアス抑制電極が設けられている部分
の幅方向寸法が、励振電極の該幅方向寸法以上とされて
いる。

【００１４】請求項５に記載の発明では、第１の励振電
極が圧電基板の一方主面において略中央に設けられた円
形の形状を有し、第２の励振電極、第２の引き出し電極
及び第２の端子電極が第１の励振電極と表裏対向する領
域を含む一つの矩形の電極膜により構成されており、該
矩形の電極膜の内、第１の励振電極と表裏対向する領域
が第２の励振電極部とされている。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明に
係る厚み縦圧電共振子の非限定的な実施例を挙げること
より、本発明を明らかにする。

【００１６】図１は、本発明の第１の実施例に係る厚み
縦圧電共振子を示す斜視図である。厚み縦圧電共振子１
は、矩形板状の圧電基板２を用いて構成されている。圧
電基板２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミッ
クスのような圧電セラミックス、あるいは水晶、ＬｉＴ
ａＯ₃ 、ＬｉＮｂＯ₃ などの圧電単結晶により構成され
得る。圧電基板２が圧電セラミックスにより構成されて
いる場合には、厚み方向に分極処理されている。

【００１７】圧電基板２の上面２ａには、矩形の第１の
励振電極３ａが略中央に形成されている。第１の励振電
極３ａと連ねられて、引き出し電極３ｂが第１の励振電
極３ａから圧電基板２の短辺側の端縁２ｂに向かって延
びるように形成されている。引き出し電極３ｂの外側端
部は、圧電基板２の短辺側端縁２ｂに沿うように形成さ
れた端子電極５に電気的に接続されている。

【００１８】ところで、第１の励振電極３ａは、円形の
形状を有し、その引き出し電極３ｂと連ねられている部
分の外縁を一点鎖線で示す。すなわち、本実施例では、
引き出し電極３ｂの幅と第１の励振電極３ａの該幅方向
に沿う寸法、すなわち径とが等しくされており、かつ引
き出し電極３ｂが励振電極３ａに連ねられている。な
お、本明細書において、第１，第２の引き出し電極の幅
方向寸法とは、第１，第２の引き出し電極の引き出し方
向と直交する方向の寸法をいうものとする。

【００１９】第１の端子電極５は、圧電基板２の上面２
ａにおいて、短辺側端縁２ｂに沿うように形成されてお
り、その幅寸法は、第１の引き出し電極３ｂの幅よりも
大きくされている。また、第１の端子電極５は、圧電基
板２の上面２ａから端面２ｃを経て下面２ｄに至るよう
に形成されている。

【００２０】他方、圧電基板２の下面においても、略中
央領域に円形の第２の励振電極４ａが形成されている。
第２の励振電極４ａは、第１の励振電極３ａと圧電基板
２を介して表裏対向するように形成されている。第２の
励振電極４ａには、第２の引き出し電極４ｂが連ねられ
ている。第２の引き出し電極４ｂは、その幅方向寸法
が、第２の励振電極４ａの径、すなわち上記幅方向寸法
と同一とされている。

【００２１】また、第２の引き出し電極４ｂは、圧電基
板２の下面２ｄにおいて短辺側端縁２ｅに沿うように形
成された第２の端子電極６に電気的に接続されている。
第２の端子電極６の幅方向寸法は、第２の引き出し電極
４ｂの幅方向寸法よりも大きくされている。

【００２２】厚み縦圧電共振子１では、端子電極５，６
が、いずれも圧電基板２の下面２ｄに至る部分を有する
ため、図示の向きのまま例えばプリント回路基板などに
容易に表面実装することができる。

【００２３】厚み縦圧電共振子１では、端子電極５，６
から交流電圧を印加することにより、第１，第２の励振
電極３ａ，４ａが表裏対向している振動部が圧電効果に
より厚み縦振動モードで励振される。この場合、厚み縦
振動の３倍波が振動部に閉じ込められるが、厚み縦振動
の基本波については、振動部外へ伝搬する。従って、上
記厚み縦振動の基本波の振動に起因するスプリアスが問
題となる。

【００２４】本実施例の厚み縦圧電共振子１では、上記
基本波に起因する不要スプリアスを抑圧するために、引
き出し電極３ｂ，４ｂの幅を拡げ、引き出し電極３ｂ，
４ｂにスプリアス抑制電極部が設けられている。すなわ
ち、本実施例の厚み縦圧電共振子１では、第１，第２の
引き出し電極３ｂ，４ｂは、単に第１，第２の励振電極
３ａ，４ａと端子電極５，６とをそれぞれ電気的に接続
する機能を果たすだけでなく、基本波に起因するスプリ
アスを抑圧する機能も果たす。

【００２５】上記のように、引き出し電極３ｂ，４ｂの
幅方向寸法を増大させることにより、すなわちスプリア
ス抑制電極部を設けることにより、基本波に起因するス
プリアスが効果的に抑圧されるのは、該スプリアス抑制
電極部を設けたことにより、基本波が引き出し電極３
ｂ，４ｂに誘導され、圧電基板２の長手方向両端まで基
本波が効果的に導かれることによる。

【００２６】他方、端子電極５，６は、導電性接合剤な
どを介して外部と電気的に接続される部分であると共に
機械的に固定される部分でもある。従って、上記スプリ
アス抑制電極部により端子電極５，６が設けられている
部分、すなわち圧電基板２の長手方向両端部分まで基本
波が効果的に導かれた後、該基本波が上記固定部分によ
り効果的にダンピングされ、基本波に起因するスプリア
スが抑圧される。

【００２７】また、スプリアス抑制電極部は引き出し電
極３ｂ，４ｂに一体に設けられており、圧電基板２の短
辺方向においては振動部の両側に浮き電極等を形成する
必要がないため、厚み縦圧電共振子１の小型化を妨げる
こともない。

【００２８】なお、スプリアス抑制電極部が設けられた
引き出し電極３ｂ，４ｂの幅方向寸法については、基本
波に起因するスプリアスを抑制し得る限り特に限定され
るわけではないが、好ましくは、第１，第２の励振電極
３ａ，４ａの幅方向寸法を図２に示すようにｄとした場
合、第１，第２の引き出し電極３ｂ，４ｂの幅Ｄは、Ｄ
＝（１／２）ｄ以上とすることが望ましい。１／２未満
の場合には、引き出し電極３ｂ，４ｂの幅を増大させて
スプリアス抑制電極部を設けたことによる効果、すなわ
ち基本波に起因するスプリアスを抑制する効果が十分に
得られないことがある。

【００２９】上記第１，第２の励振電極３ａ，４ａの幅
方向寸法ｄを一定とし、第１，第２の引き出し電極３
ｂ，４ｂの幅Ｄを種々変化させた場合の基本波スプリア
スの大きさの変化を図１４に示す。図１４は、平面形状
が２．２×１．１ｍｍであり、中心周波数が３０ＭＨｚ
であり、第１，第２の励振電極３ａ，４ａの幅方向寸法
ｄが０．７ｍｍの圧電共振子１において、第１，第２の
引き出し電極３ｂ，４ｂの幅Ｄを０．２〜０．７ｍｍま
で変化させた場合の基本波に起因するスプリアス、すな
わち基本波の位相差の最大値を示す。図１４から明らか
なように、Ｄを０．３５ｍｍ以上とした場合、基本波に
起因するスプリアスが低減されることがわかる。より好
ましくは、上記第１，第２の引き出し電極３ｂ，４ｂの
幅Ｄは、第１，第２の励振電極３ａ，４ａの幅方向寸法
ｄ以上とすることが望ましい。

【００３０】次に、具体的な実験例を挙げることによ
り、上記第１，第２の引き出し電極にスプリアス抑制電
極部を設けたことによる基本波スプリアス抑制効果を説
明する。

【００３１】上記厚み縦圧電共振子１を用い、図３及び
図４に示すチップ型圧電共振部品を作製した。すなわ
ち、絶縁材料からなり、上方に矩形の開口８ａを有する
ケース本体８と、平板状の絶縁材料からなる蓋材９とに
よりケースを構成し、該ケース内に厚み縦圧電共振子１
を収納した。

【００３２】ケース本体８には、外部電極１０ａ，１０
ｂが形成されている。外部電極１０ａ，１０ｂは、ケー
ス本体８の長手方向両端近傍において形成されている。
また、外部電極１０ａ，１０ｂは、それぞれ、開口８ａ
内、ケース本体８の一対の側面８ｂ，８ｃ及び下面８ｄ
に至るように形成されている。

【００３３】他方、ケース本体８の開口８ａ内では、導
電性接着剤１１ａ，１１ｂを介して厚み縦圧電共振子１
が接合されている。この場合、導電性接着剤１１ａによ
り端子電極６が外部電極１０ａに接続される。また、導
電性接着剤１１ｂにより端子電極５が外部電極１０ｂに
接続される。

【００３４】また、蓋材９は、図示しない絶縁性接着剤
を用いてケース本体８に接合されており、それによって
ケース内が封止される。このようにして得られたチップ
型圧電共振部品１１では、外部電極１０ａ，１０ｂが、
ケース本体８の側面８ｂ，８ｃ及び下面８ｄに至るよう
に形成されているため、プリント回路基板などに容易に
表面実装することができる。

【００３５】また、厚み縦圧電共振子１では、上記のよ
うに、基本波が、スプリアス抑制電極部が設けられた第
１，第２の引き出し電極３ｂ，４ｂにより圧電基板２の
両端に効果的に導かれる。加えて、圧電基板２の両端近
傍が、導電性接着剤１１ａ，１１ｂを介してケース本体
８に接合されるため、漏洩してきた基本波が該固定構造
により効果的にダンピングされる。従って、基本波に起
因する不要スプリアスを効果的に抑圧することができ
る。

【００３６】いま、上記チップ型圧電共振部品を以下の
仕様で作製し、厚み縦振動モードの３倍波及び基本波の
応答を測定した。結果を図５及び図６に示す。なお、厚
み縦圧電共振子１としては、圧電基板が２．２×１．１
×厚み０．２５ｍｍであり、チタン酸鉛からなるものを
用い、第１，第２の励振電極３ａ，４ａの径は０．７ｍ
ｍとし、厚み縦振動の３倍波が３０ＭＨｚの周波数位置
に表れるように構成した。

【００３７】比較のために、図７に示すスプリアス抑制
電極部を有しない厚み縦圧電共振子７１を作製し、同様
にケース本体８及びケース９並びに導電性接着剤１１
ａ，１１ｂを用いてチップ型圧電共振部品を作製し、そ
の特性を測定した。なお、図７に示す比較例の厚み縦圧
電共振子７１では、実施例の厚み縦圧電共振子１と同じ
圧電基板を用い、第１，第２の励振電極についても、実
施例と同様に直径０．７ｍｍとした。すなわち、引き出
し電極７３ｂ，７４ｂの幅を、０．３ｍｍとしたことを
除いては、上記実施例の厚み縦圧電共振子１と同様に構
成した。

【００３８】図８及び図９に、比較例のチップ型圧電共
振部品の厚み縦振動の３倍波及び厚み縦振動の基本波の
応答をそれぞれ示す。図８，図９に示した特性と、図５
及び図６に示した特性とを比較すれば明らかなように、
比較例の厚み縦圧電共振子７１を用いた場合、基本波の
スプリアスは、基本波の位相最大値で７８．６度と大き
いのに対し、実施例では、基本波スプリアスの位相最大
値が６１．５度と小さく、従って基本波に起因するスプ
リアスが効果的に抑圧されていることがわかる。

【００３９】なお、上記第１，第２の励振電極、第１，
第２の引き出し電極及び第１，第２の端子電極等を構成
する材料については、特に限定されず、従来より圧電共
振子に用いられている適宜の電極材料、例えばＡｇ、Ｃ
ｕ、Ａｇ−Ｐｄ合金などを用いることができる。また、
第１，第２の励振電極については、上記実施例のように
平面形状が円形のものに限られず、正方形や長方形など
任意の形状とすることができる。

【００４０】図１０は、本発明の第２の実施例に係る厚
み縦圧電共振子を示す斜視図である。第２の実施例の厚
み縦圧電共振子２１では、圧電基板２２の一方主面にの
みスプリアス抑制電極部が設けられた引き出し電極が構
成されている。

【００４１】すなわち、圧電基板２２の上面２２ａの略
中央には、平面形状が円形の第１の励振電極２３ａが形
成されている。第１の励振電極２３ａは、引き出し電極
２３ｂを介して端子電極２５に接続されている。端子電
極２５は、圧電基板２２の上面２２ａから端面２２ｂを
経て下面２２ｃに至るように形成されている。

【００４２】他方、圧電基板２２の下面２２ｃにおいて
は、圧電基板２２の短辺側端縁２２ｄから中央に向かっ
て圧電基板２２の全幅に至る幅寸法を有する矩形の電極
２６が形成されている。電極２６は、第１の励振電極２
３ａと圧電基板２２を介して表裏対向する位置まで延ば
されている。本実施例では、電極２６のうち、第１の励
振電極２３ａと圧電基板２２を介して表裏対向する電極
部分、すなわち図１０に示す円形の電極部分２６ａが第
２の励振電極を構成している。また、電極２６のうち、
端縁２２ｄ近傍部分が外部と接続するための端子電極部
分を構成し、その他の部分、すなわち端子電極部分と第
２の励振電極部２６ａとを結ぶ部分が、第２の引き出し
電極と第２の引き出し電極の引き出し方向側方に連ねら
れたスプリアス抑制電極部とを構成している。

【００４３】すなわち、厚み縦圧電共振子２１では、圧
電基板２２の上面２２ａにおいては、従来の厚み縦圧電
共振子と同様に、励振電極２３ａ及び引き出し電極２３
ｂが形成されているのに対し、圧電基板２２の下面にお
いて、本発明に従ってスプリアス抑制電極が連ねられた
第２の引き出し電極が構成されている。

【００４４】本実施例においても、端子電極２５と電極
２６との間に交流電圧を印加した場合、振動部（第１の
励振電極２３ａと第２の励振電極部２６ａが表裏対向し
ている部分）が厚み縦振動モードで励振され、厚み縦振
動の３倍波が振動部に効果的に閉じ込められる。また、
厚み縦振動の基本波については、振動部外に伝搬する
が、矩形の電極２６が設けられているため、すなわち第
２の引き出し電極及び第２の引き出し電極に一体に設け
られたスプリアス抑制電極により、基本波が端縁２２ｄ
側に効果的に導かれる。従って、電極２６を端縁２２ｄ
近傍で固定することにより、基本波をダンピングするこ
とができ、基本波に起因するスプリアスを効果的に抑制
することができる。

【００４５】圧電共振子２１において、基本波に起因す
るスプリアスを効果的に抑圧し得ることを、具体的な実
験例に基づき説明する。上記圧電共振子２１として、以
下の仕様のものを作製した。

【００４６】すなわち、上述した第１の実施例の実験例
と同様の圧電基板を用い、上面に、直径０．７ｍｍの円
形の第１の励振電極２３ａと、幅０．３ｍｍの第１の引
き出し電極２３ｂを形成した。すなわち、上面の電極構
造は上述した比較例と同様とした。また、圧電基板２２
の下面には、幅１．１×長さ１．４５ｍｍの矩形の電極
２６を形成した。

【００４７】上記のようにして得られた３倍波の波長が
３４ＭＨｚである厚み縦圧電共振子２１を用い、図３及
び図４に示したチップ型圧電共振部品と同様にしてチッ
プ型部品を作製し、その特性を測定した。厚み縦振動の
３倍波及び基本波の応答を、それぞれ、図１１及び図１
２に示す。

【００４８】図１２から明らかなように、第２の実施例
に係る圧電共振子２１を用いた場合においても、基本波
に起因するスプリアスの位相最大値は５７度と小さく、
従って、上述した比較例の厚み縦圧電共振子を用いた場
合に比べ、基本波に起因するスプリアスを効果的に抑圧
し得ることがわかる。

【００４９】また、第２の実施例に係る厚み縦圧電共振
子２１では、下面に形成された電極２６が矩形の形状を
有し、圧電基板２２の下面の全幅に至るように形成され
ているため、励振電極２３ａと第２の励振電極部２６ａ
との重なり精度を高めることもできる。

【００５０】すなわち、図１３（ａ）に示すように、第
１の励振電極２３ａが矩形の電極２６と正しく重ねられ
ている場合に対し、第１の励振電極２３ａ、引き出し電
極２３ｂ及び端子電極２５の印刷位置が、圧電基板２２
の長さ方向にずれたとしても、図１３（ｂ）に示すよう
に、第１の励振電極２３ａが矩形の電極２６に表裏対向
し得る領域にある限り、振動部の面積が変化することは
ない。すなわち、一方の励振電極が矩形の電極２６の一
部を用いて構成されているので、電極２６と第１の励振
電極２３ａとの重なり面積の精度を高めることができ、
あるいは第１の励振電極２３ａの印刷に際しての許容度
を拡げることができる。

【００５１】また、第１の励振電極２３ａの幅方向に第
１の励振電極２３ａの印刷位置がずれた場合であって
も、同様に、第１の励振電極２３ａを下方に投影した部
分が矩形の電極２６内に収まる限り、所望とする面積の
振動部を確実に構成することができる。

【００５２】なお、本発明においては、上記スプリアス
抑制電極部におけるスプリアス抑制効果を高めるため
に、スプリアス抑制電極部にさらに樹脂層を積層しダン
ピング効果を高めてもよい。このような樹脂層を構成す
る材料としては、例えばエポキシ樹脂、シリコーン樹脂
など適宜の樹脂を用いることができ、特にスプリアス抑
制電極部上への形成が容易であるため、シリコーン系接
着剤やエポキシ系接着剤などの接着剤を用いることが望
ましい。

【００５３】

【発明の効果】請求項１に記載の発明に係る厚み縦圧電
共振子では、第１，第２の励振電極に連ねられている第
１，第２の引き出し電極の少なくとも一方の一部にスプ
リアス抑制電極部が連ねられているため、厚み縦振動モ
ードの基本波が第１，第２の引き出し電極により圧電基
板の端部に向かって効果的に導かれる。従って、第１，
第２の引き出し電極に接続された第１，第２の端子電極
を用いて厚み縦圧電共振子を固定することにより、導か
れてきた基本波を効果的にダンピングすることができ、
基本波に起因するスプリアスを抑圧することができ、良
好な共振特性を有する厚み縦振動モードの高調波を利用
した厚み縦圧電共振子を提供することができる。

【００５４】また、従来の厚み縦圧電共振子では、圧電
基板の短辺に沿う方向において振動部の両側に浮き電極
を形成する必要があったため、基本波の抑圧を浮き電極
により図った場合、圧電共振子の小型化が妨げられてい
たのに対し、請求項１に記載の発明では、上記スプリア
ス抑制電極部は引き出し電極の一部に連ねられて設けら
れているので、小型化を妨げることもない。

【００５５】請求項２に記載の発明では、スプリアス抑
制電極部が、引き出し電極の幅を増加させるように引き
出し電極の引き出し方向と交差する方向に連ねられて形
成されているので、引き出し電極の形成に際し、同一工
程により上記スプリアス抑制電極部を容易に形成するこ
とができる。

【００５６】請求項２に記載の発明に係る厚み縦圧電共
振子では、スプリアス抑制電極部が引き出し電極の幅を
増加させるように引き出し電極の引き出し方向と交差す
る方向に形成されているので、引き出し電極の形成に際
し、その幅を増大させるだけでスプリアス抑制電極部を
容易に形成することができると共に、基本波に起因する
スプリアスを抑制しつつ厚み縦圧電共振子の小型化を図
ることができる。

【００５７】請求項５に記載の発明に係る厚み縦圧電共
振子では、第１の励振電極が圧電基板の一方主面におい
て略中央に設けられた円形の形状を有し、第２の励振電
極、第２の引き出し電極及び第２の端子電極が第１の励
振電極と表裏対向する領域を含む一つの矩形の電極膜に
より構成されており、該矩形の電極膜の内第１の励振電
極と表裏対向する領域が第２の励振電極部とされている
ため、該矩形の電極膜において第２の引き出し電極の側
方にスプリアス抑圧電極部が構成されて基本波に起因す
るスプリアスを抑圧し得ると共に、第１の励振電極と第
２の励振電極部との重なり面積のばらつきを低減するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る厚み縦圧電共振子
を示す斜視図。

【図２】第１の実施例に係る厚み縦圧電共振子の平面
図。

【図３】第１の実施例に係る厚み縦圧電共振子を用いた
チップ型圧電共振部品の斜視図。

【図４】第１の実施例の厚み縦圧電共振子を用いて構成
されたチップ型圧電共振部品の外観を示す斜視図。

【図５】第１の実施例に係る厚み縦圧電共振子を用いた
チップ型圧電共振子の厚み縦振動モードの３倍波の応答
を説明するための共振特性を示す図。

【図６】第１の実施例に係る厚み縦圧電共振子を用いた
チップ型圧電共振部品における基本波の応答を説明する
ための共振特性を示す図。

【図７】比較のために用意した厚み縦圧電共振子を説明
するための平面図。

【図８】比較例の厚み縦圧電共振子を用いて構成された
チップ型圧電共振部品の厚み縦振動の３倍波の応答を説
明するための共振特性を示す図。

【図９】比較例の厚み縦圧電共振子を用いて構成された
チップ型圧電共振部品の厚み縦振動の基本波の応答を説
明するための共振特性を示す図。

【図１０】本発明の第２の実施例に係る厚み縦圧電共振
子を示す斜視図。

【図１１】第２の実施例に係る厚み縦圧電共振子を用い
て構成されたチップ型圧電共振部品における厚み縦振動
の３倍波の応答を説明するための共振特性を示す図。

【図１２】第２の実施例に係る厚み縦圧電共振子を用い
て構成されたチップ型圧電共振部品における厚み縦振動
の基本波の応答を説明するための共振特性を示す図。

【図１３】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、第２の実施
例に係る厚み縦圧電共振子における励振電極の重なり状
態を説明するための各平面図。

【図１４】第１の実施例に係る厚み縦圧電共振子におい
て、引き出し電極の幅方向寸法Ｄを変化させた場合の基
本波に起因するスプリアスの変化を示す図。

【図１５】従来の厚み縦圧電共振子の一例を示す斜視
図。

【符号の説明】 １…厚み縦圧電共振子 ２…圧電基板 ２ａ…上面 ２ｂ…短辺側端縁 ２ｃ…端面 ２ｄ…下面 ２ｅ…短辺側端縁 ３ａ，４ａ…第１，第２の励振電極 ３ｂ，４ｂ…第１，第２の引き出し電極 ５…第１の端子電極 ６…第２の端子電極 Ｄ…第１，第２の引き出し電極の幅方向寸法 ｄ…第１，第２の励振電極の幅方向寸法 ２１…厚み縦圧電共振子 ２２…圧電基板 ２２ａ…上面 ２２ｂ…端面 ２２ｃ…下面 ２２ｄ…短辺側の端縁 ２３ａ…第１の励振電極 ２３ｂ…第１の引き出し電極 ２５…第１の端子電極 ２６…電極 ２６ａ…第２の励振電極部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 厚み縦振動モードの高調波を利用したエ
   ネルギー閉じ込め型の圧電共振子であって、 圧電基板と、 圧電基板の両主面において部分的に設けられており、か
   つ圧電基板を介して表裏対向するように形成されている
   第１，第２の励振電極と、 第１，第２の励振電極にそれぞれ連ねられており、かつ
   圧電基板の一端縁に向かって延ばされている第１，第２
   の引き出し電極と、 第１または第２の引き出し電極に接続されており、かつ
   圧電基板の一端縁に沿うように形成されている第１，第
   ２の端子電極とを備え、 前記第１，第２の引き出し電極の少なくとも一方の一部
   に連ねられて設けられたスプリアス抑制電極部をさらに
   備えることを特徴とする、厚み縦圧電共振子。
2. 【請求項２】 前記スプリアス抑制電極部が前記引き出
   し電極の幅を増加させるように引き出し電極の引き出し
   方向と交差する方向に形成されている、請求項１に記載
   の厚み縦圧電共振子。
3. 【請求項３】 前記引き出し電極のスプリアス抑制電極
   部が設けられている部分の幅方向寸法が、励振電極の該
   幅方向寸法の１／２以上とされている、請求項１または
   ２に記載の厚み縦圧電共振子。
4. 【請求項４】 引き出し電極のスプリアス抑制電極が設
   けられている部分の幅方向寸法が、励振電極の該幅方向
   寸法以上とされていることを特徴とする、請求項１また
   は２に記載の厚み縦圧電共振子。
5. 【請求項５】 第１の励振電極が圧電基板の一方主面に
   おいて略中央に設けられた円形の形状を有し、第２の励
   振電極、第２の引き出し電極及び第２の端子電極が第１
   の励振電極と表裏対向する領域を含む一つの矩形の電極
   膜により構成されており、該矩形の電極膜の内、第１の
   励振電極と表裏対向する領域が第２の励振電極部とされ
   ている、請求項１〜４のいずれかに記載の厚み縦圧電共
   振子。