JP3473613B2 - 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品 - Google Patents
厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品Info
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Description
振子等に用いられる圧電共振子及び圧電共振部品に関
し、より詳細には、厚み縦振動モードの高調波を利用し
た厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品に関する。
タなどの種々の圧電共振部品に用いられており、この種
の圧電共振子としては、使用周波数に応じて種々の圧電
振動モードを利用したものが知られている。
縦振動モードの2倍波を利用したエネルギー閉じ込め型
圧電共振子が開示されている。この圧電共振子を、図1
3及び図14を参照して説明する。
示すように、圧電材料よりなるセラミックグリーンシー
ト61,62を積層し、一体焼成することにより得られ
ている。セラミックグリーンシート61上には、中央に
円形の励振電極63が形成されており、該励振電極63
は、引き出し電極64によりセラミックグリーンシート
61の端縁に引き出されている。また、セラミックグリ
ーンシート62の上面には、中央に円形の励振電極65
が形成されており、励振電極65は引き出し電極66に
よりセラミックグリーンシート62の端縁に引き出され
ている。また、セラミックグリーンシート62の下面に
は、下方に投影して示すように、励振電極67が形成さ
れており、励振電極67は引き出し電極68によりセラ
ミックグリーンシート62の端縁に引き出されている。
を積層し、厚み方向に加圧した後焼成することにより、
焼結体を得、該焼結体を分極処理することにより、図1
4により圧電共振子70が得られる。
が図示の矢印方向に、すなわち焼結体が厚み方向に一様
に分極処理されている。駆動に際しては、励振電極6
3,67を共通接続し、励振電極63,67と、励振電
極65との間で交流電圧を印加することにより、圧電共
振子70を共振させることができる。この場合、振動エ
ネルギーは、励振電極63,65,67が重なり合って
いる領域、すなわち共振部Aに閉じ込められる。
た圧電共振子70は、上記のようにエネルギー閉じ込め
型圧電共振子として構成されており、従って、共振部A
の周囲に振動を減衰させるための振動減衰部を必要とし
ていた。すなわち、共振部の面積に比べて大きな振動減
衰部を必要としていた。従って、圧電共振子70では小
型化を進めることが困難であった。
は、共振部の周囲に余分な圧電基板部分をあまり必要と
しない、ストリップ型の圧電セラミックスを用いたエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子が開示されている。
電基板81の上面に励振電極82aが、下面に励振電極
82bが形成されている。励振電極82a,82bは、
それぞれ、圧電基板81の一対の長辺に至るように、す
なわち全幅に至るように形成されており、かつ圧電基板
81の長さ方向中央において表裏対向されて共振部を構
成している。また、これらの励振電極82a,82b
は、それぞれ、圧電基板81の長さ方向端部81a,8
1bに至るように延ばされている。
励振した場合、圧電基板81の幅Wと厚みTの寸法関係
に起因する不要振動が発生する。そこで、特開平2−2
35422号公報では、基本波を利用する場合には、共
振周波数16MHzにおいてW/T=5.33付近とす
ればよいこと、3倍波を利用する場合には、共振周波数
約16MHzにおいてW/T=2.87付近とすれば、
共振周波数−反共振周波数間における不要スプリアスを
低減し得るとされている。
振動モードの2倍波を利用した特開平1−117409
号公報に開示されているエネルギー閉じ込め型圧電共振
子では、共振部の周囲に大きな振動減衰部を構成する必
要があるため、小型化が困難であるという問題があっ
た。
示されているエネルギー閉じ込め型圧電共振子では、共
振部の側方に振動減衰部を必要としないため、小型化を
果たし得るものの、実際に厚み縦振動モードの高調波を
利用しようとした場合には、共振周波数−反共振周波数
間のスプリアス以外に、様々な不要スプリアスが現れ、
有効な共振特性を得られないという問題があった。
示されている圧電共振子では、その電気的容量が比較的
小さく、回路基板の浮遊容量などの影響を受けやすかっ
た。よって、本発明の目的は、厚み縦振動モードの高調
波を利用した厚み縦圧電共振子であって、小型化を進め
ることができ、かつ電気的容量が大きく、回路基板の浮
遊容量などの影響を受け難く、所望でない不要スプリア
スの発生を効果的に抑制し得る良好な共振特性を有す
る、厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品を提供すること
にある。
振子は、圧電体の長さ方向において共振部の両側に振動
減衰部を有し、厚み縦振動モードのN次高調波を利用し
た厚み縦圧電共振子であって、長さ方向および幅方向を
有する矩形板状の圧電体と、前記圧電体の両面において
圧電体の幅方向端部または該端部近傍に至るように形成
されており、圧電体を介して対向された第1,第2の励
振電極と、前記圧電体内に配置されており、圧電体層を
介して第1,第2の励振電極と少なくとも部分的に対向
された少なくとも一層の内部電極と、前記圧電体の長さ
方向の両端に形成されており、第1,第2の励振電極ま
たは内部電極に電気的に接続された第1,第2の端子電
極とを備え、該第1,第2の端子電極が外部に接合され
る部分を構成しており、第1,第2の励振電極及び内部
電極が厚み方向に重なり合っている部分により、厚み方
向に分極された前記共振部が構成されており、前記第
1,第2の励振電極と、各励振電極とは反対側の電位に
接続される端子電極との間の前記長さ方向に沿う間隔を
Go、圧電体の厚みをT、D=T/Nとしたときに、G
o/D≧2.0とされていることを特徴とする。
する第1,第2のケース材と、第1のケース材に形成さ
れた複数の電極と、振動を妨げないための空隙を確保し
た状態で第1のケース材に接合されている、請求項1〜
4のいずれかに記載の厚み縦圧電共振子とを備え、前記
第1のケース材に接合された厚み縦圧電共振子を囲繞す
るように、第2のケース材が第1のケース材に固定され
ていることを特徴とする。
は、第1のケース材が、誘電体基板と、該誘電体基板に
形成された複数の電極とを有するコンデンサ基板であ
り、前記厚み縦圧電共振子が、コンデンサ基板により構
成されているコンデンサに電気的に接続されている。
の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明ら
かにする。
は、本発明の第1の実施例に係る厚み縦圧電共振子を示
す斜視図及び縦断面図である。
状の圧電体2を用いて構成されている。圧電体2は、チ
タン酸鉛系セラミックスやチタン酸ジルコン酸鉛系セラ
ミックのような圧電セラミックスで構成されており、厚
み方向に一様に分極処理されている。
形成されており、下面には第2の励振電極4が形成され
ている。励振電極3,4は、圧電体2の一方の端面2a
から圧電体2の上面及び下面において他方端面2b側に
向かって延ばされている。
2aに形成された接続電極5により共通接続されてい
る。また、圧電体2の中間高さ位置には、内部電極6が
形成されている。内部電極6は、圧電体2の端面2bに
引き出されており、端面2bに形成された端子電極7に
電気的に接続されている。
3,4と、内部電極6との間に交流電圧を印加すること
により、厚み縦振動モードの2倍波が強く励振され、該
2倍波を利用した圧電共振子として動作させることがで
きる。
極3,4と、内部電極6とは、圧電体2の長さ方向中央
部分において圧電体層を介して重なり合うように形成さ
れている。従って、第1,第2の励振電極3,4と内部
電極6とが重なり合っている部分において、エネルギー
閉じ込め型の共振部が構成され、この共振部が振動した
場合のエネルギーは、共振部から端面2a,2b側の圧
電体部分で減衰される。
えると、圧電体2の長さ方向のみに振動減衰部が両側に
設けられており、第1,第2の励振電極は、長さ方向と
直交する方向(幅方向)において、圧電板の端部、すな
わち長手方向に延びる端縁に至るように形成されてい
る。この圧電体2の長さ方向を第1の方向とする。
6は、共振部においてのみ、圧電体2の全幅に至るよう
に形成されておればよく、共振部外では、同じ幅に形成
されている必要は必ずしもない。例えば、励振電極3を
例にとると、共振部においてのみ、励振電極3は圧電体
2の全幅に至るように形成されておればよく、励振電極
3の共振部より端面2a側の部分は、単に励振電極を接
続電極5に電気的に接続する部分であるため、より細い
幅で形成されていてもよい。
2の長さ方向においてのみ振動部の両側に振動減衰部が
設けられており、圧電体2の幅方向には振動減衰部が構
成されていない。従って、厚み縦圧電共振子1ではその
幅方向寸法を小さくすることができ、圧電共振子の小型
化を図ることができる。
内部電極6を圧電体層を介して積層した構造を有するた
め、内部電極を有しない従来の厚み縦圧電共振子80に
比べて電気的容量が大きくなり、回路基板の浮遊容量な
どによる影響を受け難い。
体2の幅方向両端に至るように形成されていることによ
っても、電気的容量が大きくなり、回路基板側の浮遊容
量による影響を受け難い。
妨げない空間を隔てて、端子電極5,7をケース基板な
どに接合し、厚み縦圧電共振子1を保持した場合、場合
によっては、共振周波数と反共振周波数との間の周波数
領域に、大きなスプリアスが発生することが認められ
た。
ように、共振周波数と反共振周波数との間の周波数域に
おいて、矢印Bで示す大きなスプリアスが見られること
があった。また、厚み縦圧電共振子の各寸法を種々異な
らせた場合、上記スプリアスBが余り発生しないことも
あった。すなわち、図2に位相−周波数特性で示すよう
に、共振周波数と反共振周波数との間の周波数領域にお
いてスプリアスの見られないこともあった。
れる相違点について、種々検討した結果、第1,第2の
励振電極3,4と、励振電極3,4とは反対側の電位に
接続される端子電極7との間の第1の方向に沿う間隔G
oを、特定の値とすれば、図2に示すように、スプリア
スを効果的に抑圧することを見出し、本発明をなすに至
った。
励振電極3,4と端子電極7との間に生じる電界による
電歪効果のために、別の振動が発生し、共振周波数と反
共振周波数との間の周波数領域に大きなスプリアスが現
れる。そこで、上記比Go/Dを種々異ならせ、種々の
厚み縦圧電共振子を作成し、共振周波数と反共振周波数
との間に上記スプリアスがどの程度発生するかを調べ
た。結果を図4に示す。
は、共振周波数と反共振周波数との間に現れるスプリア
スBにおける位相値を示す。すなわち、図3に矢印Bで
示すスプリアスが現れている部分における最低位相値を
示す。
×厚み0.3mmのものを用いた。すなわち、T=0.
3mmであり、D=0.3/2=0.15mmである。
また、上記Dを0.15mmと一定とし、Goを種々異
ならせ、種々の厚み縦圧電共振子を得た。
0未満の場合には、共振周波数と反共振周波数との間に
現れるスプリアスBの最低位相値が急激に小さくなり、
従ってスプリアスBの大きさが急激に大きくなることが
わかる。逆に、Go/Dが2.0以上の場合には、共振
周波数と反共振周波数との間に現れるスプリアスはさほ
ど大きくならないことがわかる。よって、共振周波数と
反共振周波数との間に現れる上記スプリアスを抑圧する
には、比Go/Dを2.0以上とすればよいことがわか
る。
スプリアスBを抑圧する上では、特に限定されないが、
厚み縦圧電共振子1の小型化を図る上では、20以下と
することが望ましい。
Go/D=2.0の場合の特性であり、図3に示した特
性は、Go/D=1.5の場合の特性に相当する。すな
わち、図2及び図3から明らかなように、Go/Dを
2.0以上とすることにより、共振周波数と反共振周波
数との間に現れる不要スプリアスを効果的に抑圧するこ
とができ、良好な共振特性の得られることがわかる。
とは反対側の電位に接続される端子電極7との間の第1
の方向に沿う距離Goは、第1の実施例では、端子電極
7が圧電体2の上面及び下面にも至るように形成されて
いたので、上面または下面上における端子電極7の先端
と、第1,第2の励振電極3,4との間の第1の方向に
沿う距離とされている。
す変形例のように、端子電極7Aが端面2b上にのみ形
成されている場合には、間隔Goは、端子電極7Aと励
振電極3,4との間の第1の方向に沿う寸法となり、言
い換えれば、端面2bと励振電極3,4との間の第1の
方向に沿う寸法となる。
縦圧電共振子1では、圧電体2が厚み方向に一様に分極
処理されており、各層に加える印加電界が逆方向とされ
るパラレル接続タイプの圧電共振子を示したが、本発明
は、複数の圧電体層を厚み方向に交互に逆方向に分極処
理してなるシリーズ接続型の圧電共振子としてもよい。
このようなシリーズ型の厚み縦圧電共振子を、図6に示
す。
い矩形板状のストリップ型圧電体12を用いて構成され
ている。圧電体12の上面には、第1の励振電極13が
形成されており、下面には第2の励振電極14が形成さ
れている。第1,第2の励振電極13,14は圧電体1
2を介して表裏対向されている。また、第1,第2の励
振電極13,14は、圧電体12の長さ方向、すなわち
第1の方向の中央部分において対向しており、この第
1,第2の励振電極13,14が対向している部分はエ
ネルギー閉じ込め型の共振部とされている。
極13,14は、それぞれ、圧電体12の端面12aま
たは端面12bに引き出されており、端面12a,12
bに形成された端子電極15,17に連ねられている。
なお、第1,第2の励振電極13,14は、共振部以外
の部分は圧電体12の全幅に至るように形成されておら
ずともよい。
見方を変えれば、圧電体12の長さ方向に振動減衰部を
有するエネルギー閉じ込め型の共振部を構成するため
に、該長さ方向と直交する方向において第1,第2の励
振電極13,14が圧電体12の長さ方向端縁に至るよ
うに形成されていることになる。
16が形成されている。この内部電極16は、圧電体1
2を分極処理するために設けられている。すなわち、分
極に際しては、内部電極16に相対的に高い電圧を、励
振電極13,14には相対的に低い電圧を与えることに
より、圧電体層12c,12dが図示の矢印で示すよう
に厚み方向に逆方向に分極処理される。
3,14間に交流電圧を印加することにより、すなわち
内部電極16を用いることなく駆動することにより、厚
み縦振動モードの2倍波TE2 を励振させることができ
る。
においても、振動減衰部が圧電体12の幅方向において
は振動部の両側に設けられず、振動部の圧電体12の長
さ方向、すなわち第1の方向の両側にのみ振動減衰部が
設けられているため、第1の実施例に係る厚み縦圧電共
振子1と同様に、小型の厚み縦圧電共振子を構成するこ
とができる。また、第1の実施例と同様に、内部電極1
6を有するため、並びに励振電極13,14が圧電体1
2の幅方向両端に至るように形成されているので、電気
的容量の増大を図ることができ、回路基板側の浮遊容量
による影響を受け難い。
においても、第1,第2の励振電極13,14と、反対
側の電極に接続される端子電極17,15との間の第1
の方向に沿う間隔をGoとしたときに、比Go/Dが
2.0以上とされており、それによって第1の実施例の
場合と同様に共振周波数と反共振周波数との間に現れる
スプリアスを効果的に抑圧することができ、良好な共振
特性を得ることができる。
厚み縦振動モードの2倍波を利用した圧電共振子1,1
1であるが、本発明に係る圧電共振子は、厚み縦振動モ
ードの2倍波以外の高調波を利用したものであってもよ
い。図7〜図9は、これらの他の高調波を利用した圧電
共振子を説明するための断面図であり、第1の実施例に
ついて示した図1(b)に相当する図である。
したパラレル接続型厚み縦圧電共振子21を示す。すな
わち、圧電体2内に2枚の内部電極22,23を配置
し、矢印で示すように圧電体2を厚み方向に一様に分極
処理することにより、厚み縦振動モードの3倍波を利用
した圧電共振子21を構成することができる。
24は、厚み縦振動モードの4倍波を利用したパラレル
接続型圧電共振子24を示す断面図である。厚み縦圧電
共振子24では、圧電体2が厚み方向に一様に分極処理
されており、内部に3枚の内部電極25〜27が厚み方
向に等間隔を隔てて配置されている。また、圧電体2の
下面には、励振電極3Aが形成されており、励振電極3
Aは端子電極5に接続されている。従って、厚み縦振動
モードの4倍波が効果的に励振される。
を利用したシリーズ接続型の厚み縦圧電共振子28を示
す断面図である。厚み縦圧電共振子28では、圧電体1
2内に2枚の内部電極29,30が配置されており、圧
電体12内が3層の圧電体層12e〜12gに分割され
ており、これらの内部電極29,30を用いて分極処理
することにより、厚み方向において隣合う圧電体層が逆
方向となるように分極処理されている。従って、第1,
第2の励振電極13,14に交流電圧を印加することに
より、厚み縦振動モードの3倍波を励振することができ
る。
波を利用したシリーズ接続型圧電共振子31を示す断面
図である。ここでは、圧電体12内に、3枚の内部電極
32〜34が配置されており、これらの内部電極32〜
34を用いて分極処理することにより、図示のように隣
接する圧電体層が相互に逆方向になるように厚み方向に
分極処理されている。
から交流電圧を印加することにより、厚み縦振動の4倍
波を利用した圧電共振子として動作させ得る。図7〜図
9に示した各厚み縦圧電共振子においても、上記のよう
に、第1の方向においてのみ共振部の両側に振動減衰部
を有し、該第1の方向と直交する方向において、圧電体
の端部または端部近傍まで第1,第2の励振電極が至る
ように第1,第2の励振電極が形成されているので、小
型の厚み縦圧電共振子を構成することができる。また、
いずれも、内部電極を有するため、電気的容量の増大を
図ることができ、回路基板の浮遊容量の影響を受け難
い。
共振子においても、上述した比Go/Dが2.0以上と
されているので、共振周波数と反共振周波数との間に現
れる不要スプリアスが効果的に抑圧され、それによって
良好な共振特性を得ることができる。
振子35では、第1,第2の励振電極3,4の外側に圧
電体層2A,2Bが積層されている。すなわち、厚み縦
圧電共振子35は、図1(a)及び(b)に示した厚み
縦圧電共振子1の変形例であり、ここでは、圧電体層2
A,2Bを設けることにより、第1,第2の励振電極
3,4が内部電極の形態で構成されている。
体2の端面2a,2b上だけでなく、圧電体2に圧電体
層2A,2Bを積層してなる積層体の上面及び下面に至
るように形成されている。その他の点については、厚み
縦圧電共振子1と同様に構成されている。
2の励振電極が形成されている面の外側に、さらに圧電
体層を積層し、第1、第2の励振電極3,4が内部電極
の形態とされていてもよい。この場合、圧電体層2A,
2Bの厚みがあまり厚くなると、振動効率が低下する
が、圧電体層2A,2Bの厚みが比較的薄い場合には、
共振部の振動効率はさほど低下しない。
部電極の形態で構成した場合には、周知の積層セラミッ
クス一体焼成技術を用いて、圧電体2、圧電体層2A,
2B並びに内部電極6及び励振電極3,4を形成するこ
とができる。従って、励振電極3,4を焼成前に導電ペ
ーストのスクリーン印刷により形成することができるの
で、励振電極3,4を高精度に形成することができると
共に、製造工程の簡略化を果たすことができる。
チップ型圧電共振部品の実施例を説明するための分解斜
視図である。本実施例のチップ型圧電共振部品では、図
1に示した厚み縦圧電共振子1が、第1のケース材とし
てのコンデンサ基板36上に、導電性接着剤37,38
を介して接合されている。コンデンサ基板36は、誘電
体セラミックスなどの誘電体材料よりなる矩形の誘電体
基板36aと、誘電体基板36aの外表面に形成された
複数の電極36b〜36dとを有する。コンデンサ基板
36では、電極36b,36dと36cとの間でそれぞ
れコンデンサが構成されている。
ないための空間を隔ててコンデンサ基板36に接合され
ている。この接合は、導電性接着剤37,38により、
端子電極5,7をそれぞれ、電極36b,36dに接合
することにより行われている。
示すように、電極36b〜36d間に、共振子と2個の
コンデンサとを有する回路が構成されている。よって、
単一の部品で負荷容量内蔵型圧電発振子を構成し得る。
に、コンデンサ基板36に、第2のケース材としてのキ
ャップ39が絶縁性接着剤を用いて接合される。なお、
本発明に係る圧電共振部品では、第1,第2のケース材
については、上記コンデンサ基板36及びキャップ39
を用いたものに限定されない。すなわち、第1のケース
材として、上方に開口が開いた容器本体を用意し、上記
容器本体内に厚み縦圧電共振子1を収納し、容器本体を
閉成する第2のケース材としての蓋材を第1のケース材
に接合してもよい。
状の圧電体と、圧電体の両面に形成された第1,第2の
励振電極と、圧電体内に配置されており、第1,第2の
励振電極と少なくとも部分的に対向された少なくとも1
層の内部電極とを有する厚み縦圧電共振子が構成される
ため、内部電極を有しない従来の厚み縦圧電共振子に比
べ、内部電極を有する分だけ電気的容量の増大を図るこ
とができ、それによって取り付けられる回路基板などの
浮遊容量による悪影響を低減することができ、良好な共
振特性を有する厚み縦圧電共振子を提供することができ
る。
られており、幅方向においては、振動部の両側に振動減
衰部が設けられないため、前記一方向と直交する方向に
おける厚み縦圧電共振子の寸法を小さくすることがで
き、従って小型の厚み縦圧電共振子を提供することが可
能となる。
いるので、共振周波数と反共振周波数との間に現れる不
要スプリアスを効果的に抑圧することができ、良好な共
振特性を得ることができる。
圧電体として細長いストリップ状圧電体を用いた場合に
は、幅方向寸法を小さくすることができ、より小型の厚
み縦圧電共振子を提供することができる。
ケース材によりケースが構成され、本発明に係る厚み縦
圧電共振子が振動を妨げないための空隙を確保した状態
で第1のケース材に接合されており、かつ第2のケース
材が第1のケース材に接合された厚み縦圧電共振子を囲
繞するように第1のケース材に固定されている。従っ
て、プリント回路基板などに表面実装可能な電子部品と
しての圧電共振部品を構成することができる。
により構成されており、厚み縦圧電共振子がコンデンサ
基板により構成されているコンデンサに電気的に接続さ
れている場合には、共振子とコンデンサとを電気的に接
続してなる圧電発振子を単一の部品で構成することがで
きる。
係る厚み縦圧電共振子を説明するための斜視図及び縦断
面図。
位相値−周波数特性を示す。
性を示す。
部分における最低位相値の変化を示す。
縦圧電共振子の変形例を説明するための斜視図及び縦断
面図。
を示す斜視図。
面図
共振子のさらに他の変形例を示す各縦断面図。
示す縦断面図。
を示す縦断面図。
を説明するための分解斜視図。
る回路構成を示す回路図。
めの分解斜視図。
ための斜視図。
Claims (4)
- 【請求項1】 圧電体の長さ方向において共振部の両側
に振動減衰部を有し、厚み縦振動モードのN次高調波を
利用した厚み縦圧電共振子であって、 長さ方向および幅方向を有する矩形板状の圧電体と、 前記圧電体の両面において圧電体の幅方向端部または該
端部近傍に至るように形成されており、圧電体を介して
対向された第1,第2の励振電極と、 前記圧電体内に配置されており、圧電体層を介して第
1,第2の励振電極と少なくとも部分的に対向された少
なくとも一層の内部電極と、 前記圧電体の長さ方向の両端に形成されており、第1,
第2の励振電極または内部電極に電気的に接続された第
1,第2の端子電極とを備え、該第1,第2の端子電極
が外部に接合される部分を構成しており、 第1,第2の励振電極及び内部電極が厚み方向に重なり
合っている部分により、厚み方向に分極された前記共振
部が構成されており、 前記第1,第2の励振電極と、各励振電極とは反対側の
電位に接続される端子電極との間の前記長さ方向に沿う
間隔をGo、圧電体の厚みをT、D=T/Nとしたとき
に、Go/D≧2.0とされていることを特徴とする、
厚み縦圧電共振子。 - 【請求項2】 前記圧電体が細長いストリップ状圧電体
である、請求項1に記載の厚み縦圧電共振子。 - 【請求項3】 ケースを構成する第1,第2のケース材
と、第1のケース材に形成された複数の電極と、振動を
妨げないための空隙を確保した状態で第1のケース材に
接合されている、請求項1または2に記載の厚み縦圧電
共振子とを備え、前記第1のケース材に接合された厚み
縦圧電共振子を囲繞するように、第2のケース材が第1
のケース材に固定されていることを特徴とする、圧電共
振部品。 - 【請求項4】 前記第1のケース材が、誘電体基板と、
該誘電体基板に形成された複数の電極とを有するコンデ
ンサ基板であり、前記厚み縦圧電共振子が、コンデンサ
基板により構成されているコンデンサに電気的に接続さ
れている、請求項3に記載の圧電共振部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002214385A JP3473613B2 (ja) | 2002-07-23 | 2002-07-23 | 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003092529A JP2003092529A (ja) | 2003-03-28 |
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KR100731509B1 (ko) * | 2005-12-23 | 2007-06-21 | 주식회사 에스세라 | 절연 세라믹 기저판을 이용해서 캡 수단을 갖는 표면실장형 레조네이터들 및 그의 형성방법들 |
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-
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- 2002-07-23 JP JP2002214385A patent/JP3473613B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2003092529A (ja) | 2003-03-28 |
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