JP3485115B2 - エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子 - Google Patents

エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子

Info

Publication number
JP3485115B2
JP3485115B2 JP2002214387A JP2002214387A JP3485115B2 JP 3485115 B2 JP3485115 B2 JP 3485115B2 JP 2002214387 A JP2002214387 A JP 2002214387A JP 2002214387 A JP2002214387 A JP 2002214387A JP 3485115 B2 JP3485115 B2 JP 3485115B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
piezoelectric resonator
piezoelectric body
thickness
ratio
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2002214387A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003046362A (ja
Inventor
弘明 開田
光洋 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2002214387A priority Critical patent/JP3485115B2/ja
Publication of JP2003046362A publication Critical patent/JP2003046362A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3485115B2 publication Critical patent/JP3485115B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、種々の共振子や発
振子等に用いられるエネルギー閉じ込め型圧電共振子に
関し、より詳細には、厚み縦振動モードの高調波を利用
したエネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子に関する。
【0002】
【従来の技術】圧電共振子は、圧電発振子や圧電フィル
タなどの種々の圧電共振部品に用いられており、この種
の圧電共振子としては、使用周波数に応じて種々の圧電
振動モードを利用したものが知られている。
【0003】特開平1−117409号公報には、厚み
縦振動モードの2倍波を利用したエネルギー閉じ込め型
圧電共振子が開示されている。この圧電共振子を、図2
0及び図21を参照して説明する。
【0004】上記圧電共振子は、図20に分解斜視図で
示すように、圧電材料よりなるセラミックグリーンシー
ト51,52を積層し、一体焼成することにより得られ
ている。セラミックグリーンシート51上には、中央に
円形の励振電極53が形成されており、該励振電極53
は、引き出し電極54によりセラミックグリーンシート
51の端縁に引き出されている。また、セラミックグリ
ーンシート52の上面には、中央に円形の励振電極55
が形成されており、励振電極55は引き出し電極56に
よりセラミックグリーンシート52の端縁に引き出され
ている。また、セラミックグリーンシート52の下面に
は、下方に投影して示すように、励振電極57が形成さ
れており、励振電極57は引き出し電極58によりセラ
ミックグリーンシート52の端縁に引き出されている。
【0005】上記セラミックグリーンシート51,52
を積層し、厚み方向に加圧した後焼成することにより、
焼結体を得、該焼結体を分極処理することにより、図2
1に示す圧電共振子60が得られる。
【0006】圧電共振子60では、圧電体層61,62
が図示の矢印方向に、すなわち焼結体が厚み方向に一様
に分極処理されている。駆動に際しては、励振電極5
3,57を共通接続し、励振電極53,57と、励振電
極55との間に交流電圧を印加することにより、圧電共
振子60を共振させることができる。この場合、振動エ
ネルギーは、励振電極53,55,57が重なり合って
いる領域、すなわち共振部Aに閉じ込められる。
【0007】従来の厚み縦振動モードの高調波を利用し
た圧電共振子60は、上記のようにエネルギー閉じ込め
型圧電共振子として構成されており、従って、共振部A
の周囲に振動を減衰させるための振動減衰部を必要とし
ていた。すなわち、共振部の面積に比べて大きな振動減
衰部を必要としていた。従って、圧電共振子60では小
型化を進めることが困難であった。
【0008】他方、特開平2−235422号公報に
は、共振部の周囲に余分な圧電基板部分をあまり必要と
しない、ストリップ型の圧電セラミックスを用いたエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子が開示されている。
【0009】ここでは、図22に示すように、細長い圧
電基板71の上面に励振電極72aが、下面に励振電極
72bが形成されている。励振電極72a,72bは、
それぞれ、圧電基板71の一対の長辺に至るように、す
なわち全幅に至るように形成されており、かつ圧電基板
71の長さ方向中央において表裏対向されて共振部を構
成している。また、これらの励振電極72a,72b
は、それぞれ、圧電基板71の長さ方向端部71a,7
1bに至るように延ばされている。
【0010】圧電共振子70では、厚み縦振動モードを
励振した場合、圧電基板71の幅Wと厚みTの寸法関係
に起因する不要振動が発生する。そこで、特開平2−2
35422号公報では、基本波を利用する場合には、共
振周波数16MHzにおいてW/T=5.33付近とす
れば、また、3倍波を利用する場合には、共振周波数約
16MHzにおいてW/T=2.87付近とすれば、共
振周波数−反共振周波数間における不要スプリアスを低
減し得るとされている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上述した通り、厚み縦
振動モードの2倍波を利用した特開平1−117409
号公報に開示されているエネルギー閉じ込め型圧電共振
子では、共振部の周囲に大きな振動減衰部を構成する必
要があるため、小型化が困難であるという問題があっ
た。
【0012】また、特開平2−235422号公報に開
示されているエネルギー閉じ込め型圧電共振子では、共
振部の側方に振動減衰部を必要としないため、小型化を
果たし得るものの、実際に厚み縦振動モードの高調波を
利用しようとした場合には、良好な共振特性が必ずしも
得られないという問題があった。また、共振周波数−反
共振周波数間に様々な不要スプリアスが現れ、有効な共
振特性を得られないことがあった。
【0013】よって、本発明の目的は、厚み縦振動モー
ドの高調波を利用したエネルギー閉じ込め型厚み縦圧電
共振子であって、小型化を進めることができ、かつ良好
な共振特性を有するエネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共
振子を提供することにある。
【0014】本発明の他の目的は、さらに、所望でない
不要スプリアスを効果的に抑圧し得るエネルギー閉じ込
め型厚み縦圧電共振子を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、共振部の両側に振動減衰部を有し、厚み縦振動モー
ドのn次の高調波を利用したエネルギー閉じ込め型厚み
縦圧電共振子であって、矩形板状の圧電体と、前記圧電
体の両面に形成されて圧電体を介して対向されており、
両側の振動減衰部を結ぶ方向を第1の方向としたとき
に、第1の方向と直交する方向において、圧電体の端部
または端部近傍まで至るように形成された第1,第2の
励振電極と、前記圧電体内に配置されており、圧電体層
を介して第1,第2の励振電極と少なくとも部分的に対
向された少なくとも1層の内部電極とを備え、前記圧電
体の第1の方向に沿う長さをL、厚みをtとし、d=t
/nとしたときに、比L/dは、16±0.5、21±
0.5、23±0.5、25±0.5または27.5±
0.5とされていることを特徴とする。
【0016】より好ましくは、請求項2に記載のよう
に、第1,第2の励振電極の重なり合っている部分の第
1の方向に沿う長さをLとしたときに、比l/d≦6と
され、より好ましくは、請求項3に記載のように、比l
/dが3〜6の範囲とされる。さらに好ましくは、比l
/dは4.5〜5.5の範囲とされ、それによって比帯
域幅の拡大を図り得る。
【0017】また、好ましくは、請求項4に記載のよう
に、上記圧電体は細長いストリップ型の圧電体により構
成される。
【0018】そして、請求項5に記載の発明は、前記第
1または第2の励振電極が形成されている面に、圧電共
振子の振動を妨げないための空間を隔てて貼り合わされ
たコンデンサをさらに備えることを特徴とする。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
非限定的な実施例につき説明する。(第1の実施例)図
1は、本発明の第1の実施例に係る厚み縦圧電共振子を
示す斜視図であり、図2はその断面図である。
【0020】厚み縦圧電共振子1は、細長いストリップ
状の圧電体2を用いて構成されている。圧電体2は、チ
タン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックスで構
成されている。
【0021】圧電体2は、図示の矢印で示すように、厚
み方向に一様に分極処理されている。圧電体2の上面に
は、第1の励振電極3が形成されており、下面には第2
の励振電極4が形成されている。励振電極3,4は、圧
電体2の一方端面2a側から圧電体2の上面及び下面に
おいて他方端面2b側に向かって延ばされている。
【0022】他方、励振電極3,4は、圧電体2の端面
2aに形成された接続電極5により共通接続されてい
る。また、圧電体2の中間高さ位置には、内部電極6が
形成されている。内部電極6は、圧電体2の端面2bに
引き出されており、端面2bに形成された端子電極7に
電気的に接続されている。
【0023】駆動に際しては、第1,第2の励振電極
3,4と、内部電極6との間に交流電圧を印加すること
により、厚み縦振動モードの2倍波が強く励振される。
従って、厚み縦圧電共振子1は、2倍波を利用した圧電
共振子として動作させることができる。
【0024】第1,第2の励振電極3,4と、内部電極
6とは、圧電体2の長さ方向中央部分において圧電体層
を介して重なり合うように形成されている。従って、第
1,第2の励振電極3,4と内部電極6とが重なり合っ
ている部分において、エネルギー閉じ込め型の共振部が
構成され、この共振部が振動した場合のエネルギーは、
共振部と端面2a,2bとの間の圧電体部分で減衰され
る。
【0025】言い換えれば、上記共振部を中心として考
えると、圧電体2の長さ方向(第1の方向)のみに振動
減衰部が両側に設けられており、第1,第2の励振電極
は、長さ方向と直交する方向において、圧電板の端縁、
すなわち長手方向に延びる端縁に至るように形成されて
いる。
【0026】この場合、第1,第2の励振電極3,4及
び内部電極6は、共振部においてのみ、圧電体2の全幅
に至るように形成されておればよく、共振部外では、同
じ幅に形成されている必要は必ずしもない。例えば、励
振電極3を例にとると、共振部においてのみ、励振電極
3は圧電体2の全幅に至るように形成されておればよ
く、励振電極3の共振部より端面2a側の部分は、単に
励振電極を接続電極5に電気的に接続する部分であるた
め、より細い幅で形成されていてもよい。
【0027】本実施例の特徴は、圧電体の上記共振部の
両側の振動減衰部を結ぶ方向、すなわち圧電体2の長さ
方向を第1の方向としたときに、圧電体の第1の方向に
沿う長さをL、圧電体の厚みをtとし、d=t/nとし
たときに、L/d≧14とされていることにある。すな
わち、エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子1では、
上記比L/dが14以上とされており、それによって従
来のストリップ型厚み縦圧電共振子と異なり、良好な共
振特性を得ることができる。これを、図3〜図6を参照
して説明する。
【0028】すなわち、本願発明者は、ストリップ型圧
電共振子における圧電体の長さ寸法が小さいと、圧電共
振子を機械的に保持した後にQmが低下することに鑑
み、圧電体の長さを種々の角度から検討したところ、上
記比L/dを特定の範囲に選択すれば、保持による影響
を余り受けず、良好な共振特性が得られることを見出
し、本発明を成すに至った。
【0029】図4及び図5は、それぞれ、L/d=10
及び16とした場合の厚み縦振動の2倍波(TE2)で
振動している場合の有限要素法で解析された変位分布を
示す図である。
【0030】なお、図4及び図5は、図3に示すよう
に、ストリップ型厚み縦圧電共振子1の縦断面の半分、
すなわち長さ方向に沿って厚み縦圧電共振子を厚み方向
に切断した面の半分の変位状態を模式的に示す図であ
る。
【0031】図4に示す変位分布は、チタン酸鉛系圧電
セラミックスからなる圧電体の長さをL=1.5mm、
d=0.15、L/d=10とした場合の変位分布を示
し、図5は、チタン酸鉛系圧電セラミックスからなる圧
電体を用い、L=2.4mm、d=0.15、L/d=
16とした場合の変位分布を示す。
【0032】図4と図5とを比較すれば明らかなよう
に、図4では、中央部分が上方に変位している場合、圧
電体の長さ方向端部も同じく上方に変位していることが
わかる。これに対して、図5に示す変位分布では、圧電
体2の中央部分が大きく上方に変位しているのに対し、
圧電体2の長さ方向端部がほとんど厚み方向に変位して
いないことがわかる。
【0033】従って、図4及び図5を比較すると、比L
/dを10から16に変更することにより、厚み縦振動
モードの2倍波を励振させた場合、端部を機械的に保持
したとしても、保持部分がほとんど変位しないため、良
好な共振特性の得られることがわかる。
【0034】そこで、図4及び図5の結果に基づき、種
々実験をしたところ、前述したとおり、比L/dを14
以上となるように厚み縦圧電共振子1を構成すれば、保
持による影響をほとんど受けず、良好な共振特性の得ら
れることを見出した。
【0035】そこで、圧電体1として、チタン酸鉛系圧
電セラミックスからなり、比L/dを種々変化させ、比
L/dによる共振特性の変化を調べた。結果を図6に示
す。図6は、比L/dが変化した場合の圧電体の長さ方
向端部の相対変位量の変化を示す。なお、相対変位量と
は、長さ方向中央における変位量に対する、長さ方向端
部の変位量の割合を示す。例えば、図4に示す変位分布
において、圧電体の長さ方向中央部が初期状態から上方
に変位した場合の変位量をX、長さ方向端部が初期状態
から上方に変位した量をaとした場合に、a/Xで表さ
れる。この場合、長さ方向端部が長さ方向中央とは逆方
向、すなわち下方に変位した場合には、相対変位量は負
の値となる。
【0036】図6から明らかなように、比L/dを14
以上とすることにより、相対変位量を±0.1以内とす
ることができ、良好な共振特性の得られることがわか
る。特に、L/dを16±0.5、21±0.5、23
±0.5、25±0.5、または27.5±0.5の範
囲とすることにより相対変位量をほぼ0とすることがで
き、共振エネルギーを共振部により一層効果的に閉じ込
めることができ、良好な共振特性の得られることがわか
る。
【0037】また、本願発明者は、厚み縦圧電共振子1
において、比L/dを上記特定の範囲とし、さらに、第
1,第2の励振電極の圧電体1の長さ方向に沿う重なり
寸法をlとしたときに、比l/dを6以下とすれば、よ
り一層良好な共振特性の得られることを見出した。
【0038】すなわち、図23に示した矢印Bで示す波
形分割の原因について種々検討したところ、上記波形分
割が、インハーモニック・オーバートーンと称されてい
るスプリアス振動に大きく影響されることを見出し、か
つ該インハーモニック・オーバートーンの影響は、比l
/dを調整することより抑圧し得ることを見出した。
【0039】図7及び図8は、それぞれ、厚み縦振動の
2倍波(TE2)及びインハーモニック・オーバートー
ン(S1モード)で振動している場合の有限要素法で解
析された変位分布を示す図である。なお、図7及び図8
は、図3に示すように、ストリップ型厚み縦圧電共振子
1の縦断面の半分、すなわち長さ方向に沿って厚み縦圧
電共振子を厚み方向に切断した面の半分の変位状態を模
式的に示す図である。
【0040】図8から明らかなように、インハーモニッ
ク・オーバートーンでは、厚み縦圧電共振子の共振部に
おいて、圧電体が厚み方向に大きく変位していることが
わかる。従って、このようなインハーモニック・オーバ
ートーンが大きく発生すると、図7に示す厚み縦振動モ
ードの2倍波の振動に大きく影響することがわかる。
【0041】そこで、本願発明者は、上記インハーモニ
ック・オーバートーンS1に起因するスプリアスを抑制
すべく種々実験したところ、前述した通り、第1,第2
の励振電極の圧電体1の長さ方向に沿う重なり寸法を
l、圧電体2の厚みをtとし、d=t/nとすると、比
l/dを6以下とすれば、インハーモニック・オーバー
トーンの応答を小さくすることができ、厚み縦振動モー
ドの2倍波TE2のみを大きく励振させ得ることを見出
した。
【0042】図9及び図10は、それぞれ、比l/d=
5.0及び3.0とした場合の厚み縦圧電共振子1のイ
ンピーダンス−周波数特性を示す。図9から明らかなよ
うに、比l/d=5.0の場合には、共振点Frと反共
振点Faとの間の通過帯域近傍に大きなスプリアス振動
が発生しておらず、従って上記インハーモニック・オー
バートーンによるスプリアスを効果的に抑制し得ること
がわかる。
【0043】また、図10から明らかなように、比l/
d=3.0の場合にも、図23に示したような反共振点
近傍における波形分割が生じておらず、従ってインハー
モニック・オーバートーンによるスプリアスを抑制し得
ることがわかる。
【0044】また、図9に示す特性と、図10に示す特
性とを比較すれば、l/d=5.0の場合に、l/d=
3.0の場合よりもスプリアスの応答をより効果的に抑
制し得ることがわかる。
【0045】そこで、圧電体1として、長さL=3.0
mm、幅W=0.5mm、厚みt=0.3mmのチタン
酸鉛系圧電セラミックスからなるものを用い、第1,第
2の励振電極の長さ方向に沿う重なり寸法lを種々変化
させ、比l/dによる共振特性の変化を調べた。結果を
図11及び図12に示す。
【0046】図11は、比l/dが変化した場合の周波
数定数F・dの変化を示す図である。ここで、周波数定
数F・dとは、共振点Frもしくは反共振点Faの周波
数と、上記dとの積で表される値である。
【0047】また、図11において、▲は厚み縦振動モ
ードの2倍波(TE2)の共振点Frを、●は厚み縦振
動モードの2倍波(TE2)の反共振点Faであり、△
はインハーモニック・オーバートーン(S1)の共振点
Frであり、○はインハーモニック・オーバートーン
(S1)の反共振点Faの位置を示す。
【0048】図11から明らかなように、l/d=6を
超えると、インハーモニック・オーバートーンS1の共
振点Fr及び反共振点Faが厚み縦振動の2倍波TE2
の反共振点Fa近傍に現れ、かつ比l/dが8以上の場
合には、厚み縦振動の2倍波TE2の共振点Frと反共
振点Faとの間の帯域内に発生することがわかる。これ
に対して、l/dが6以下の場合には、インハーモニッ
ク・オーバートーンが現れないことがわかる。
【0049】また、比l/dが6以下の場合、インハー
モニック・オーバートーンの発生を抑圧し得るものの、
比l/dが小さくなる程、厚み縦振動モードの2倍波T
E2における通過帯域、すなわち共振点Frと反共振点
Faとの間の帯域幅が狭くなることがわかる。
【0050】そこで、比l/dを変化させた場合の比帯
域幅を有限要素法により確かめたところ、図12に示す
結果が得られた。なお、比帯域幅とは、共振周波数F
r、反共振周波数Faとしたときに、(Fa−Fr)×
100/Fa(%)で得られる値である。
【0051】図12から明らかなように、比l/dを変
化させると比帯域幅が変化し、l/dが3〜6の範囲で
は、比帯域幅が6%以上と大きくなり、特に、4.5〜
5.5の範囲で、比帯域幅が約7%と大きくなることが
わかる。
【0052】よって、比l/dを、好ましくは3〜6、
より好ましくは4.5〜5.5とすれば、インハーモニ
ック・オーバートーンによるスプリアスを抑圧し得るだ
けでなく、比帯域幅が大きな、良好な共振特性を有する
エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子1とし得ること
がわかる。
【0053】本実施例の厚み縦圧電共振子1では、上記
のように、L/dが14以上とされているので、長さ方
向端部で機械的に保持したとしても良好な共振特性が得
られ、かつ比l/dを6以下としているので、厚み縦振
動モードの2倍波TE2を利用したエネルギー閉じ込め
型圧電共振子を構成した場合、インハーモニック・オー
バートーンによる不要スプリアスを効果的に抑制するこ
とができる。
【0054】(第2の実施例)第1の実施例に係る厚み
縦圧電共振子1では、圧電体2が厚み方向に一様に分極
処理されており、各層に加える印加電界が逆方向とされ
るパラレル接続タイプの圧電共振子を示したが、本発明
は、複数の圧電体層を厚み方向に交互に逆方向に分極処
理してなるシリーズ接続型の圧電共振子としてもよい。
このようなシリーズ型の厚み縦圧電共振子を、図13に
示す。
【0055】図13に示す厚み縦圧電共振子11は、細
長い矩形板状のストリップ型圧電体12を用いて構成さ
れている。圧電体12の上面には、第1の励振電極13
が形成されており、下面には第2の励振電極14が形成
されている。第1,第2の励振電極13,14は圧電体
12を用いて表裏対向されている。また、第1,第2の
励振電極13,14は、圧電体12の長さ方向中央部分
において対向しており、この第1,第2の励振電極1
3,14が対向している部分がエネルギー閉じ込め型の
共振部とされている。
【0056】本実施例においても、第1,第2の励振電
極13,14は、それぞれ、圧電体12の端面12aま
たは端面12bに引き出されているが、共振部以外の部
分は圧電体12の全幅に至るように形成されておらずと
もよい。
【0057】励振電極13,14についても、見方を変
えれば、圧電体12の長さ方向(第1の方向)に振動減
衰部を有するエネルギー閉じ込め型の共振部を構成する
ために、該長さ方向と直交する方向において第1,第2
の励振電極13,14が圧電体12の長さ方向端縁に至
るように形成されていることになる。
【0058】圧電体12の中間高さ位置には、内部電極
16が形成されている。この内部電極16は、圧電体1
2を分極処理するために設けられている。すなわち、分
極に際しては、内部電極16に相対的に高い電圧を、励
振電極13,14には相対的に低い電圧を与えることに
より、圧電体層12c,12dが図示の矢印で示すよう
に厚み方向に逆方向に分極処理される。
【0059】駆動に際しては、第1,第2の励振電極1
3,14間に交流電圧を印加することにより、すなわち
内部電極16を用いることなく駆動することにより、厚
み縦振動モードの2倍波TE2 を励振させることができ
る。
【0060】第2の実施例に係る厚み縦圧電共振子11
においても、比L/dが14以上とされているので、長
さ方向端部で保持したとしても、良好な共振特性が得ら
れる。また、さらに、比l/dを6以下とすることによ
り、第1の実施例の厚み縦圧電共振子1と同様に、イン
ハーモニック・オーバートーンに基づく不要スプリアス
を効果的に抑制することができ、一層良好な共振特性を
得ることができる。
【0061】(変形例)第1,第2の実施例は、何れも
厚み縦振動モードの2倍波を利用した圧電共振子1,1
1であるが、本発明に係る圧電共振子は、厚み縦振動モ
ードの2倍波以外の高調波を利用したものであってもよ
い。図14〜図17は、これらの他の高調波を利用した
圧電共振子を説明するための断面図であり、第1の実施
例について示した図2に相当する図である。
【0062】図14は、厚み縦振動モードの3倍波を利
用したパラレル接続型厚み縦圧電共振子21を示す。す
なわち、圧電体2内に2枚の内部電極22,23を配置
し、矢印で示すように圧電体2を厚み方向に一様に分極
処理することにより、厚み縦振動モードの3倍波を利用
した圧電共振子21を構成することができる。
【0063】また、図15に示す厚み縦圧電共振子24
は、厚み縦振動モードの4倍波を利用したパラレル接続
型圧電共振子24を示す断面図である。厚み縦圧電共振
子24では、圧電体2が厚み方向に一様に分極処理され
ており、内部に3枚の内部電極25〜27が厚み方向に
等間隔を隔てて配置されており、それによって厚み縦振
動モードの4倍波が効果的に励振される。
【0064】図16は、厚み縦振動モードの3倍波を利
用したシリーズ接続型の厚み縦圧電共振子28を示す断
面図である。厚み縦圧電共振子28では、圧電体12内
に2枚の内部電極29,30が配置されており、圧電体
12内が3層の圧電体層12e〜12gに分割されてお
り、これらの内部電極29,30を用いて分極処理する
ことにより、厚み方向において隣合う圧電体層が逆方向
となるように分極処理されている。従って、第1,第2
の励振電極13,14に交流電圧を印加することによ
り、厚み縦振動モードの3倍波を励振することができ
る。
【0065】同様に、図17は、厚み縦振動モードの4
倍波を利用したシリーズ接続型圧電共振子31を示す断
面図である。ここでは、圧電体12内に、3枚の内部電
極32〜34が配置されており、これらの内部電極32
〜34を用いて分極処理することにより、図示のように
隣接する圧電体層が相互に逆方向になるように厚み方向
に分極処理されている。
【0066】従って、第1,第2の励振電極13,14
から交流電圧を印加することにより、厚み縦振動の4倍
波を利用した圧電共振子として動作させ得る。図14〜
図17に示した各厚み縦圧電共振子においても、L/d
が14以上とされているので、長さ方向端部で機械的に
保持したとしても良好な共振特性が得られ、さらに比l
/dを6以下すれば、第1,第2の実施例の厚み縦圧電
共振子と同様に厚み縦振動の高調波を利用し、かつイン
ハーモニック・オーバートーンのレスポンスによる不要
スプリアスを効果的に抑制することが可能となる。
【0067】(第3の実施例)図18は、本発明の第3
の実施例に係る厚み縦圧電共振子を説明するための斜視
図であり、図19はその等価回路を示す図である。図1
8に示す圧電共振子41は、第1の実施例に係る厚み縦
圧電共振子1にコンデンサ42を結合した構造を有す
る。すなわち、厚み縦圧電共振子1の下面に、導電性接
着剤43,44を介してコンデンサ42が接合されてい
る。
【0068】コンデンサ42では、誘電体基板42aの
上面において、所定のギャップを隔てて容量電極42
b,42cが形成されている。また、誘電体基板42a
の下面には、容量電極42b,42cと誘電体基板42
aを介して表裏対向するように共通電極42dが形成さ
れている。
【0069】他方、導電性接着剤43は、上記容量電極
42bと端子電極7とを接合しており、導電性接着剤4
4は、容量電極42cと端子電極5とを接合している。
従って、圧電共振子41は、図19に示すように、共振
子に2個のコンデンサユニットを組み合わせた容量内蔵
型圧電発振子として用いることができるものである。
【0070】よって、厚み縦圧電共振子1が厚み縦振動
の2倍波を利用した圧電共振子であって、L/dが14
以上とされているので、長さ方向端部で機械的に保持し
たとしても良好な共振特性が得られ、かつインハーモニ
ック・オーバートーンに起因するスプリアスを効果的に
抑制することが可能とされているので、良好な周波数特
性を有する圧電発振子を提供することが可能となる。
【0071】
【発明の効果】請求項1に記載の発明によれば、矩形板
状の圧電体と、圧電体の両面に形成された第1,第2の
励振電極と、圧電体内に配置されており、第1,第2の
励振電極と少なくとも部分的に対向された少なくとも1
層の内部電極とを備えるエネルギー閉じ込め型厚み縦圧
電共振子において、比L/dが、16±0.5、21±
0.5、23±0.5、25±0.5または27.5±
0.5の範囲されているため、長さ方向端部を機械的に
保持したとしても良好な共振特性を有することができ
る。すなわち、上記比L/dを上記範囲とすることによ
り、内部電極を有するエネルギー閉じ込め型の上記厚み
縦圧電共振子において、機械的保持部の影響を受けるこ
となく、良好な共振特性を得ることが可能となる。
【0072】請求項2に記載の発明によれば、上記比l
/dが6以下とされているためインハーモニック・オー
バートーンや利用する高調波以外の他の高調波に起因す
る不要スプリアスを効果的に抑制することができる。よ
って、共振特性の良好なエネルギー閉じ込め型厚み縦圧
電共振子を提供することができる。
【0073】請求項3に記載の発明によれば、比l/d
が3〜6の範囲とされているので、インハーモニック・
オーバートーンによるスプリアスを抑制し得るだけでな
く、比帯域幅が広い、より共振特性の良好なエネルギー
閉じ込め型厚み縦圧電共振子を実現することができる。
【0074】また、請求項4に記載のように、圧電体と
して、細長いストリップ型の圧電体を用いた場合には、
厚み縦圧電共振子の小型化を進めることができる。
【0075】そして、請求項5に記載の発明によれば、
請求項1〜4の何れかに記載の厚み縦圧電共振子に、さ
らに共振子の振動を妨げないための空間を隔ててコンデ
ンサが貼り合わされているので、共振特性の良好な圧電
共振子を用いて、容量内蔵型の圧電発振子を提供するこ
とが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る厚み縦圧電共振子
を示す斜視図。
【図2】第1の実施例に係る厚み縦圧電共振子の断面
図。
【図3】図4及び図5に示す変位分布が表されている部
分に相当する部分の圧電共振子の断面図。
【図4】L/d=10とした場合の厚み縦振動の2倍波
で振動している場合の図1に示した厚み縦圧電共振子の
変位分布を示す図。
【図5】L/d=16とした場合の厚み縦振動の2倍波
で振動している場合の図1に示した厚み縦圧電共振子の
変位分布を示す図。
【図6】比L/dが変化した場合の圧電体の長さ方向端
部の相対変位量の変化を示す図。
【図7】厚み縦振動モードの2倍波(TE2)で振動し
ている圧電体の有限要素法による解析された変位分布を
示す図。
【図8】インハーモニック・オーバートーン(S1)で
振動している圧電体の有限要素法による解析された変位
分布を示す図。
【図9】比l/d=5.0の場合の有限要素法により解
析したインピーダンス−周波数特性を示す図。
【図10】比l/d=3.0の場合の有限要素法により
解析された図1に示した厚み縦圧電共振子のインピーダ
ンス−周波数特性を示す図。
【図11】比l/dと厚み縦振動の2倍波TE2及びイ
ンハーニック・オーバートーンS1の周波数定数との関
係を示す図。
【図12】比l/dと比帯域幅との関係を示す図。
【図13】本発明の第2の実施例に係る厚み縦圧電共振
子を説明するための斜視図。
【図14】本発明に係る厚み縦圧電共振子の第1の変形
例を示す断面図。
【図15】本発明に係る厚み縦圧電共振子の第2の変形
例を示す断面図。
【図16】本発明に係る厚み縦圧電共振子の第3の変形
例を示す断面図。
【図17】本発明に係る厚み縦圧電共振子の第4の変形
例を示す断面図。
【図18】本発明の第3の実施例に係る圧電共振子であ
って、コンデンサ内蔵型圧電共振子を示す斜視図。
【図19】図18に示した圧電共振子の回路構成を示す
図。
【図20】従来の厚み縦圧電共振子の一例を説明するた
めの分解斜視図。
【図21】図20に示した厚み縦圧電共振子の断面図。
【図22】従来の厚み縦圧電共振子の他の例を説明する
ための斜視図。
【図23】従来の厚み縦圧電共振子のインピーダンス周
波数特性を示す図。
【符号の説明】
1…厚み縦圧電共振子 2…圧電体 3,4…第1,第2の励振電極 6…内部電極 11…厚み縦圧電共振子 12…圧電体 13,14…第1,第2の励振電極 16…内部電極 21…厚み縦圧電共振子 22,23…内部電極 24…厚み縦圧電共振子 25〜27…内部電極 28…厚み縦圧電共振子 29,30…内部電極 31…厚み縦圧電共振子 32〜34…内部電極 41…圧電共振子 42…コンデンサ 45…厚み縦圧電共振子 46…圧電体 47,48…第1,第2の励振電極 50…内部電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/17 H03H 9/02

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 共振部の両側に振動減衰部を有し、厚み
    縦振動モードのn次の高調波を利用したエネルギー閉じ
    込め型厚み縦圧電共振子であって、矩形板状の圧電体
    と、前記圧電体の両面に形成されて圧電体を介して対向
    されており、両側の振動減衰部を結ぶ方向を第1の方向
    としたときに、第1の方向と直交する方向において、圧
    電体の端部または端部近傍まで至るように形成された第
    1,第2の励振電極と、前記圧電体内に配置されてお
    り、圧電体層を介して第1,第2の励振電極と少なくと
    も部分的に対向された少なくとも1層の内部電極とを備
    え、前記圧電体の第1の方向に沿う長さをL、厚みをt
    とし、d=t/nとしたときに、比L/dが16±0.
    5、21±0.5、23±0.5、25±0.5または
    27.5±0.5とされていることを特徴とする、エネ
    ルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子。
  2. 【請求項2】 前記第1,第2の励振電極の重なり合っ
    ている部分の第1の方向に沿う長さをlとしたときに、
    l/d≦6とされている、請求項1に記載のエネルギー
    閉じ込め型厚み縦圧電共振子。
  3. 【請求項3】 前記比l/dが3〜6の範囲とされてい
    る、請求項2に記載のエネルギー閉じ込め型厚み縦圧電
    共振子。
  4. 【請求項4】 前記圧電体が細長いストリップ型の圧電
    体により構成されている、請求項1〜3の何れかに記載
    のエネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子。
  5. 【請求項5】 前記第1または第2の励振電極が形成さ
    れている面に、圧電共振子の振動を妨げないための空間
    を隔てて貼り合わされたコンデンサをさらに備えること
    を特徴とする、請求項1〜4の何れかに記載のエネルギ
    ー閉じ込め型厚み縦圧電共振子。
JP2002214387A 2002-07-23 2002-07-23 エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子 Expired - Lifetime JP3485115B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002214387A JP3485115B2 (ja) 2002-07-23 2002-07-23 エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002214387A JP3485115B2 (ja) 2002-07-23 2002-07-23 エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15528397A Division JP3695615B2 (ja) 1997-06-12 1997-06-12 エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003046362A JP2003046362A (ja) 2003-02-14
JP3485115B2 true JP3485115B2 (ja) 2004-01-13

Family

ID=19195957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002214387A Expired - Lifetime JP3485115B2 (ja) 2002-07-23 2002-07-23 エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3485115B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003046362A (ja) 2003-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3324536B2 (ja) 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品
JP3695615B2 (ja) エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子
US6107727A (en) Thickness extensional vibration mode piezoelectric resonator
US6198200B1 (en) Thickness extensional vibration piezoelectric resonator and piezoelectric resonance apparatus
US6051910A (en) Thickness extensional vibration mode piezoelectric resonator and piezoelectric resonator component
JP3322169B2 (ja) エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子
JP3461453B2 (ja) 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品
US6967432B2 (en) Piezoelectric shear resonator, composite piezoelectric shear resonator, and piezoelectric resonator component
JP3485115B2 (ja) エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子
US7446454B2 (en) Thickness extensional piezoelectric resonator
JP3473613B2 (ja) 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品
JP3485114B2 (ja) 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品
JP3509813B2 (ja) エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子
JP3139274B2 (ja) 幅拡がりモードを利用した振動体、共振子及び共振部品
JP3322170B2 (ja) エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子
JPH1127083A (ja) 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品
JPH10215140A (ja) 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
JP3114521B2 (ja) ラダー型フィルタ
JPH118529A (ja) エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子
JPH118527A (ja) 厚み縦圧電共振子
JPH114136A (ja) 厚み縦圧電共振子
JP2000183684A (ja) 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品
JPH10290139A (ja) エネルギー閉じ込め型圧電共振子
JPH07273596A (ja) 圧電フィルタ
JP2002368570A (ja) 厚み縦圧電共振子

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071024

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101024

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101024

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121024

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131024

Year of fee payment: 10

EXPY Cancellation because of completion of term