JPH118529A - エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 厚み縦振動モードの３倍波を利用した厚み縦
圧電共振子であって、小型化を進めることができ、所望
でない不要スプリアスの発生を効果的に抑圧し得る、厚
み縦圧電共振子を提供する。 【解決手段】 ストリップ型の矩形板状の圧電体２と、
圧電体２の両面に形成されており、圧電体２を介して表
裏対向された第１，第２の励振電極３，４とを備え、圧
電体２の長さをＬ、厚みをｔとし、ｄ＝ｔ／３としたと
きに、Ｌ／ｄが１４以上とされている、厚み縦圧電共振
子１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、種々の共振子や発
振子等に用いられる圧電共振子に関し、より詳細には、
厚み縦振動モードの３倍波を利用した厚み縦圧電共振子
に関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電共振子は、圧電発振子や圧電フィル
タなどの種々の圧電共振部品に用いられており、この種
の圧電共振子としては、使用周波数に応じて種々の圧電
振動モードを利用したものが知られている。

【０００３】従来の厚み縦振動モードの３倍波を利用し
たエネルギー閉じ込め型圧電共振子の一例を、図１５及
び図１６を参照して説明する。図１５に示すように、こ
の圧電共振子は矩形の圧電セラミック板５１の上面中央
に、円形の励振電極５２を形成し、下面中央に励振電極
５２と表裏対向するように円形の励振電極５３を形成し
た構造を有する。励振電極５２，５３は、それぞれ、引
き出し電極５４，５５により圧電セラミック板５１の端
縁に引き出されている。圧電セラミック板５１は、図１
６に矢印Ｐで示すように、厚み方向に一様に分極処理さ
れている。

【０００４】駆動に際しては、励振電極５２，５３間に
交流電圧を印加することにより、圧電共振子を共振させ
ることができ、この場合、振動エネルギーは、励振電極
５２，５３が重なり合っている領域、すなわち共振部Ａ
に閉じ込められる。

【０００５】従来の厚み縦振動モードの３倍波を利用し
た上記圧電共振子は、エネルギー閉じ込め型圧電共振子
として構成されており、従って、共振部Ａの周囲に振動
を減衰させるための大きな面積の振動減衰部を必要とし
ていた。すなわち、共振部の面積に比べて大きな振動減
衰部を必要としていたので、小型化を進めることが困難
であった。

【０００６】他方、特開平２−２３５４２２号公報に
は、共振部の周囲に余分な圧電基板部分をあまり必要と
しない、ストリップ型の圧電セラミックスを用いたエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子が開示されている。

【０００７】ここでは、図１７に示すように、細長い圧
電基板７１の上面に励振電極７２ａが、下面に励振電極
７２ｂが形成されている。励振電極７２ａ，７２ｂは、
それぞれ、圧電基板７１の一対の長辺に至るように、す
なわち全幅に至るように形成されており、かつ圧電基板
７１の長さ方向中央において表裏対向されて共振部を構
成している。また、これらの励振電極７２ａ，７２ｂ
は、それぞれ、圧電基板７１の長さ方向端部７１ａ，７
１ｂに至るように延ばされている。

【０００８】圧電共振子７０では、厚み縦振動モードを
励振した場合、圧電基板７１の幅Ｗと厚みＴの寸法関係
に起因する不要振動が発生する。そこで、特開平２−２
３５４２２号公報では、基本波を利用する場合には、共
振周波数１６ＭＨｚにおいてＷ／Ｔ＝５．３３付近とす
ればよいこと、３倍波を利用する場合には、共振周波数
約１６ＭＨｚにおいてＷ／Ｔ＝２．８７付近とすれば、
共振周波数−反共振周波数間における不要スプリアスを
低減し得るとされている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述した通り、厚み縦
振動モードの３倍波を利用した図１５及び図１６に示し
たエネルギー閉じ込め型圧電共振子では、共振部の周囲
に大きな振動減衰部を構成する必要があるため、小型化
が困難であるという問題があった。

【００１０】また、特開平２−２３５４２２号公報に開
示されているエネルギー閉じ込め型圧電共振子では、共
振部の側方に振動減衰部を必要としないため、小型化を
果たし得るものの、実際に厚み縦振動モードの高調波を
利用しようとした場合には、共振周波数−反共振周波数
間のスプリアス以外に、様々な不要スプリアスが現れ、
有効な共振特性を得られないという問題があった。

【００１１】よって、本発明の目的は、厚み縦振動モー
ドの３倍波を利用した厚み縦圧電共振子であって、小型
化を進めることができ、かつ所望でない不要スプリアス
の発生を効果的に抑制し得る良好な共振特性を有する厚
み縦圧電共振子を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、共振部の両側に振動減衰部を有し、厚み縦振動モー
ドの３倍波を利用したエネルギー閉じ込め型厚み縦圧電
共振子であって、矩形板状の圧電体と、前記圧電体の両
面に形成されて圧電体を介して対向されており、両側の
振動減衰部を結ぶ方向を第１の方向としたときに、第１
の方向と直交する方向において、圧電体の端部または端
部近傍まで至るように形成された第１，第２の励振電極
とを備え、前記圧電体の第１の方向に沿う長さをＬ、厚
みをｔ、ｄ＝ｔ／３としたときに、Ｌ／ｄ≧１４とされ
ていることを特徴とする。

【００１３】上記比Ｌ／ｄは、より好ましくは、請求項
２に記載のように、１６±０．５、２１±０．５、２３
±０．５、２５±０．５または２７．５±０．５とされ
る。また、請求項１または２に記載の発明に係るエネル
ギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子においては、好ましく
は、請求項３に記載のように、前記第１，第２の励振電
極の重なり合っている部分の第１の方向に沿う長さをｌ
としたときに、ｌ／ｄ≦６とされている。

【００１４】好ましくは、請求項４に記載のように、上
記ｌ／ｄは３〜６の範囲とされる。また、より好ましく
は、ｌ／ｄは４．５〜５．５の範囲とされ、それによっ
て比帯域幅の一層の拡大が図られる。

【００１５】また、請求項１〜４のエネルギー閉じ込め
型厚み縦圧電共振子においては、好ましくは、請求項５
に記載のように、前記圧電体が細長いストリップ型の圧
電体により構成される。

【００１６】さらに、請求項１〜５に記載のエネルギー
閉じ込め型厚み縦圧電共振子においては、好ましくは、
請求項６に記載のように、前記第１または第２の励振電
極が形成されている面に、圧電共振子の振動を妨げない
ための空間を隔てて貼り合わされたコンデンサをさらに
備える。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
非限定的な実施例につき説明する。 （第１の実施例）図１は、本発明の第１の実施例に係る
厚み縦圧電共振子を示す斜視図であり、図２はその断面
図である。

【００１８】厚み縦圧電共振子１は、細長いストリップ
状の圧電体２を用いて構成されている。圧電体２は、チ
タン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックスで構
成されている。

【００１９】圧電体２は、図示の矢印Ｐで示すように、
厚み方向に一様に分極処理されている。他方、圧電体２
の上面には、第１の励振電極３が形成されており、下面
には第２の励振電極４が形成されている。励振電極３
は、圧電体２の一方端面２ａ側から圧電体２の上面にお
いて他方端面２ｂ側に向かって、但し端面２ｂには至ら
ないように延ばされている。励振電極４は、圧電体２の
下面において、端面２ｂ側から端面２ａ側に向かって、
但し端面２ａには至らないように延ばされている。

【００２０】従って、圧電体２の長さ方向中央部分にお
いて、励振電極３と励振電極４とが圧電体２を介して表
裏対向されている。なお、励振電極３は、圧電体２の端
面２ａから下面に至る端子電極５に接続されている。

【００２１】駆動に際しては、第１，第２の励振電極
３，４間に交流電圧を印加することにより、厚み縦振動
モードの３倍波が強く励振され、該３倍波を利用した圧
電共振子として動作させることができる。

【００２２】なお、本実施例では、第１，第２の励振電
極３，４が圧電体２の長さ方向中央部分において圧電体
層を介して重なり合うように形成されている。従って、
第１，第２の励振電極３，４が重なり合っている部分に
おいて、エネルギー閉じ込め型の共振部が構成され、こ
の共振部が振動した場合のエネルギーは、共振部と端面
２ａ，２ｂとの間の圧電体部分で減衰される。

【００２３】言い換えれば、上記共振部を中心として考
えると、圧電体２の長さ方向（第１の方向）のみに振動
減衰部が両側に設けられており、第１，第２の励振電極
は、長さ方向と直交する方向において、圧電板の端部、
すなわち長手方向に延びる端縁に至るように形成されて
いる。

【００２４】この場合、第１，第２の励振電極３，４
は、共振部においてのみ、圧電体２の全幅に至るように
形成されておればよく、共振部外では、同じ幅に形成さ
れている必要は必ずしもない。例えば、励振電極３を例
にとると、共振部においてのみ、励振電極３は圧電体２
の全幅に至るように形成されておればよく、励振電極３
の共振部より端面２ａ側の部分は、単に励振電極を端子
電極５に電気的に接続する部分であるため、細い幅で形
成されていてもよい。

【００２５】本実施例の厚み縦圧電共振子１の特徴は、
圧電体２の長さ方向（第１の方向）に沿う長さをＬ、圧
電体２の厚みをｔとし、ｄ＝ｔ／３としたときに、Ｌ／
ｄ≧１４とされていることにあり、それによって従来の
ストリップ型厚み縦圧電共振子と異なり、良好な共振特
性を得ることができる。

【００２６】すなわち、本願発明者は、ストリップ型圧
電共振子における圧電体の長さ寸法が小さいと、圧電共
振子を機械的に保持した後にＱｍが低下することに鑑
み、圧電体の長さを種々の角度から検討したところ、上
記比Ｌ／ｄを特定の範囲に選択すれば、保持による影響
を余り受けず、良好な共振特性が得られることを見出
し、本発明を成すに至った。

【００２７】図４及び図５は、それぞれ、Ｌ／ｄ＝１０
及び１６とした場合に、厚み縦振動の３倍波ＴＥ３で振
動している圧電体の有限要素法で解析された変位分布を
示す図である。

【００２８】なお、図４及び図５は、図３に示すよう
に、ストリップ型厚み縦圧電共振子１の縦断面の半分、
すなわち長さ方向に沿って厚み縦圧電共振子を厚み方向
に切断した面の半分の変位状態を模式的に示す図であ
る。

【００２９】図４に示す変位分布は、チタン酸鉛系圧電
セラミックスからなる圧電体の長さをＬ＝１．８ｍｍ、
ｄ＝０．１５、Ｌ／ｄ＝１２とした場合の変位分布を示
し、図５は、チタン酸鉛系圧電セラミックスからなる圧
電体を用い、Ｌ＝３．０ｍｍ、ｄ＝０．１５、Ｌ／ｄ＝
２０とした場合の変位分布を示す。

【００３０】図４と図５とを比較すれば明らかなよう
に、図４では、中央部分が上方に変位している場合、圧
電体の長さ方向端部も同じく上方に変位していることが
わかる。これに対して、図５に示す変位分布では、圧電
体２の中央部分が大きく上方に変位しているのに対し、
圧電体２の長さ方向端部がほとんど厚み方向に変位して
いないことがわかる。

【００３１】従って、図４及び図５を比較すると、比Ｌ
／ｄを１２から２０に変更することにより、厚み縦振動
モードの３倍波を励振させた場合、端部を機械的に保持
したとしても、保持部分がほとんど変位しないため、良
好な共振特性の得られることがわかる。

【００３２】図４及び図５の結果に基づき、種々実験を
したところ、前述したとおり、比Ｌ／ｄを１４以上とな
るように厚み縦圧電共振子１を構成すれば、保持による
影響をほとんど受けず、良好な共振特性の得られること
を見出した。

【００３３】次に、圧電体１として、チタン酸鉛系圧電
セラミックスからなり、比Ｌ／ｄを種々変化させ、比Ｌ
／ｄによる共振特性の変化を調べた。結果を図６に示
す。図６は、比Ｌ／ｄが変化した場合の圧電体の長さ方
向端部の相対変位量の変化を示す。なお、相対変位量と
は、長さ方向中央における変位量に対する、長さ方向端
部の変位量の割合を示す。例えば、図４に示す変位分布
において、圧電体の長さ方向中央部が初期状態から上方
に変位した場合の変位量をＸ、長さ方向端部が初期状態
から上方に変位した量をａとした場合に、ａ／Ｘで表さ
れる。この場合、長さ方向端部が長さ方向中央とは逆方
向、すなわち下方に変位した場合には、相対変位量は負
の値となる。

【００３４】図６から明らかなように、比Ｌ／ｄを１４
以上とすることにより、相対変位量を±０．１以内とす
ることができ、良好な共振特性の得られることがわか
る。特に、Ｌ／ｄを１６±０．５、２１±０．５、２３
±０．５、２５±０．５、または２７．５±０．５の範
囲とすることにより相対変位量をほぼ０とすることがで
き、共振エネルギーを共振部により一層効果的に閉じ込
めることができ、良好な共振特性の得られることがわか
る。

【００３５】本実施例の厚み縦圧電共振子１の他の特徴
は、第１，第２の励振電極３，４の重なり合っている部
分の圧電体２の長さ方向（第１の方向）に沿う長さをｌ
としたときに、ｌ／ｄ≦６とされていることにある。本
実施例の厚み縦圧電共振子１では、比ｌ／ｄが６以下と
されているので、インハーモニック・オーバートーンに
起因する不要スプリアスを効果的に抑制することができ
る。これを、図７〜図１２を参照して説明する。

【００３６】本願発明者によれば、図１７に示した従来
のストリップ型圧電共振子７０では、共振周波数−反共
振周波数間の周波数領域に大きなスプリアスの発生する
ことが認められた。圧電共振子７０のインピーダンス周
波数特性を図９に示す。図９から明らかなように、３倍
波の共振周波数Ｆｒと反共振周波数Ｆａとの間の周波数
領域に矢印Ｓ₁ で示す大きなスプリアスが現れている。

【００３７】また、上記スプリアスＳ₁ の原因を種々検
討した結果、上記スプリアスＳ₁ が、インハーモニック
・オーバートーンに起因する共振であることが確かめら
れた。図７及び図８は、それぞれ、厚み縦振動の３倍波
ＴＥ３及びインハーモニック・オーバートーン（Ｓ₁ モ
ード）で振動している場合の有限要素法で解析された変
位分布を示す図である。なお、図７及び図８は、図３に
示すように、ストリップ型厚み縦圧電共振子１の縦断面
の半分、すなわち長さ方向に沿って厚み縦圧電共振子を
厚み方向に切断した面の半分の変位状態を模式的に示す
図である。

【００３８】図８から明らかなように、インハーモニッ
ク・オーバートーンでは、厚み縦圧電共振子の共振部に
おいて、圧電体が厚み方向に大きく変位していることが
わかる。従って、このようなインハーモニック・オーバ
ートーンが大きく発生すると、図７に示す厚み縦振動モ
ードの３倍波の振動に大きく影響することがわかる。

【００３９】そこで、本願発明者は、上記インハーモニ
ック・オーバートーンＳ₁ に起因するスプリアスを抑制
すべく種々実験したところ、前述した通り、第１，第２
の励振電極の圧電体２の長さ方向に沿う重なり寸法を
ｌ、圧電体２の厚みをｔ、ｄ＝ｔ／３としたとき、比ｌ
／ｄを６以下とすれば、インハーモニック・オーバート
ーンの応答を小さくすることができ、厚み縦振動モード
の３倍波ＴＥ３のみを大きく励振させ得ることを見出し
た。

【００４０】図１０は、比ｌ／ｄ＝５．０とした場合の
圧電共振子１のインピーダンス−周波数特性を示す。な
お、図９に示した特性は、ｌ／ｄ＝８の場合の圧電共振
子７０についてのものである。

【００４１】図１０から明らかなように、比ｌ／ｄ＝
５．０の場合には、共振点Ｆｒと反共振点Ｆａとの間の
通過帯域近傍に大きなスプリアス振動が発生しておら
ず、従って上記インハーモニック・オーバートーンによ
るスプリアスを効果的に抑制し得ることがわかる。

【００４２】そこで、圧電体２として、長さＬ＝３．０
ｍｍ、幅Ｗ＝０．５ｍｍ、厚みｔ＝０．３ｍｍのチタン
酸鉛系圧電セラミックスからなるものを用い、第１，第
２の励振電極の長さ方向に沿う重なり寸法ｌを種々変化
させ、比ｌ／ｄによる共振特性の変化を調べた。結果を
図１１及び図１２に示す。

【００４３】図１１は、比ｌ／ｄが変化した場合の周波
数定数Ｆ・ｄの変化を示す図である。ここで、周波数定
数Ｆ・ｄとは、共振点Ｆｒもしくは反共振点Ｆａの周波
数と、上記ｄとの積で表される値である。

【００４４】また、図１１において、▲は３倍波の共振
点Ｆｒを、●は３倍波の反共振点Ｆａを、△はインハー
モニック・オーバートーンの共振点Ｆｒを、○はインハ
ーモニック・オーバートーンの反共振点Ｆａの位置を示
す。

【００４５】図１１から明らかなように、ｌ／ｄ＝６を
超えると、インハーモニック・オーバートーンＳ₁ の共
振点Ｆｒ及び反共振点Ｆａが厚み縦振動の３倍波ＴＥ３
の反共振点Ｆａ近傍に現れ、かつ比ｌ／ｄが約８の場合
には、厚み縦振動の３倍波ＴＥ３の共振点Ｆｒと反共振
点Ｆａとの間の帯域内に発生することがわかる。これに
対して、ｌ／ｄが６以下の場合には、インハーモニック
・オーバートーンが現れないことがわかる。

【００４６】また、比ｌ／ｄが６以下の場合、インハー
モニック・オーバートーンの発生を抑圧し得るものの、
比ｌ／ｄが小さくなる程、厚み縦振動モードの３倍波Ｔ
Ｅ３における通過帯域、すなわち共振点Ｆｒと反共振点
Ｆａとの間の帯域幅が狭くなることがわかる。

【００４７】そこで、比ｌ／ｄを変化させた場合の比帯
域幅を有限要素法により確かめたところ、図１２に示す
結果が得られた。なお、比帯域幅とは、共振周波数Ｆ
ｒ、反共振周波数Ｆａとしたときに、（Ｆａ−Ｆｒ）×
１００／Ｆａ（％）で得られる値である。

【００４８】図１２から明らかなように、比ｌ／ｄを変
化させると比帯域幅が変化し、ｌ／ｄが３〜６の範囲で
は、比帯域幅が７％以上と大きくなり、特に、４．５〜
５．５の範囲で、比帯域幅が約８％以上と大きくなるこ
とがわかる。

【００４９】よって、比ｌ／ｄを、好ましくは３〜６、
より好ましくは４．５〜５．５とすれば、インハーモニ
ック・オーバートーンによるスプリアスを抑圧し得るだ
けでなく、比帯域幅が大きな、良好な共振特性を有する
エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子１とし得ること
がわかる。

【００５０】従って、本実施例の厚み縦圧電共振子１で
は、比Ｌ／ｄを１４以上とすることにより、長さ方向端
部で機械的に保持したとしても、保持部分による影響を
受けることがないだけでなく、ｌ／ｄが６以下とされて
いるので、インハーモニック・オーバートーンによる不
要スプリアスを効果的に抑制することもできる。

【００５１】（第２の実施例）図１３は、本発明の第２
の実施例に係る厚み縦圧電共振子を説明するための斜視
図であり、図１４はその等価回路を示す図である。図１
３に示す圧電共振子１１は、第１の実施例に係る厚み縦
圧電共振子１にコンデンサ１２を結合した構造を有す
る。すなわち、厚み縦圧電共振子１の下面に、導電性接
着剤１３，１４を介してコンデンサ１２が接合されてい
る。

【００５２】コンデンサ１２では、誘電体基板１２ａの
上面において、所定のギャップを隔てて容量電極１２
ｂ，１２ｃが形成されている。また、誘電体基板１２ａ
の下面には、容量電極１２ｂ，１２ｃと誘電体基板１２
ａを介して表裏対向するように共通電極１２ｄが形成さ
れている。

【００５３】他方、導電性接着剤１３は、上記容量電極
１２ｂと端子電極５とを接合しており、導電性接着剤１
４は、容量電極１２ｃと励振電極４とを共振部外の部分
で接合している。

【００５４】従って、圧電共振子１１は、図１４に示す
ように、共振子に２個のコンデンサユニットを組み合わ
せた容量内蔵型圧電発振子として用いることができるも
のである。

【００５５】よって、厚み縦圧電共振子１が厚み縦振動
の３倍波を利用した圧電共振子であって、機械的支持に
よる影響を受け難く、かつインハーモニック・オーバー
トーンや他の要因に基づくスプリアスを効果的に抑制す
ることが可能とされているので、良好な周波数特性を有
する圧電発振子を提供することが可能となる。

【００５６】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、矩形板
状の圧電体と、圧電体の両面に形成された第１，第２の
励振電極とを備える厚み縦振動の３倍波を利用した圧電
共振子において、比Ｌ／ｄが１４以上とされているた
め、圧電共振子の長さ方向端部を機械的に保持したとし
ても、良好な共振特性を実現することができる。すなわ
ち、比Ｌ／ｄを１４以上とすることにより、機械的保持
部の影響を受けることなく、良好な共振特性を得ること
ができる。

【００５７】また、請求項２に記載の発明では、比Ｌ／
ｄが、１６±０．５、２１±０．５、２３±０．５、２
５±０．５または２７．５±０．５の範囲とされている
ので、より一層エネルギー閉じ込めを良好に行うことが
でき、機械的保持部の影響を受けない共振特性の良好な
厚み縦圧電共振子を提供することが可能となる。

【００５８】請求項３に記載の発明によれば、比ｌ／ｄ
が６以下とされているため、さらに、インハーモニック
・オーバートーンに起因する不要スプリアスを効果的に
抑制することができる。

【００５９】請求項４に記載の発明によれば、比ｌ／ｄ
が３〜６の範囲とされているので、インハーモニック・
オーバートーンによるスプリアスを抑制し得るだけでな
く、比帯域幅が広い、より共振特性の良好なエネルギー
閉じ込め型厚み縦圧電共振子を実現することができる。

【００６０】また、請求項５に記載のように、圧電体と
して、細長いストリップ型の圧電体を用いた場合には、
厚み縦圧電共振子の小型化を進めることができる。請求
項６に記載の発明によれば、請求項１〜５の何れかに記
載の厚み縦圧電共振子に、さらに共振子の振動を妨げな
いための空間を隔ててコンデンサが貼り合わされている
ので、不要スプリアスが少ない共振特性の良好な圧電共
振子を用いて、容量内蔵型の圧電発振子を提供すること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る厚み縦圧電共振子
を示す斜視図。

【図２】第１の実施例に係る厚み縦圧電共振子の断面
図。

【図３】図４及び図５に示す変位分布が表されている部
分に相当する部分の圧電共振子の断面図。

【図４】Ｌ／ｄ＝１２とした場合の厚み縦振動の３倍波
で振動している場合の図１に示した厚み縦圧電共振子の
変位分布を示す図。

【図５】Ｌ／ｄ＝２０とした場合の厚み縦振動の３倍波
で振動している場合の図１に示した厚み縦圧電共振子の
変位分布を示す図。

【図６】比Ｌ／ｄが変化した場合の圧電体の長さ方向端
部の相対変位量の変化を示す図。

【図７】厚み縦振動モードの３倍波ＴＥ３で振動してい
る圧電体の有限要素法による解析された変位分布を示す
図。

【図８】インハーモニック・オーバートーン（Ｓ₁ ）で
振動している圧電体の有限要素法による解析された変位
分布を示す図。

【図９】従来の厚み縦圧電共振子においてスプリアスと
して現れているインハーモニック・オーバートーンを説
明するためのインピーダンス−周波数特性を示す図。

【図１０】本発明の第１の実施例に係る厚み縦圧電共振
子のインピーダンス−周波数特性を示す図。

【図１１】比ｌ／ｄと厚み縦振動の３倍波ＴＥ３及びイ
ンハーニック・オーバートーンＳ ₁ の周波数定数との関
係を示す図。

【図１２】比ｌ／ｄと比帯域幅との関係を示す図。

【図１３】本発明の第２の実施例に係る圧電共振子であ
って、コンデンサ内蔵型圧電共振子を示す斜視図。

【図１４】図１３に示した圧電共振子の回路構成を示す
図。

【図１５】厚み縦振動の３倍波を利用した従来の厚み縦
圧電共振子の一例を説明するための分解斜視図。

【図１６】図１５に示した厚み縦圧電共振子の断面図。

【図１７】従来の厚み縦圧電共振子の他の例を説明する
ための斜視図。

【符号の説明】

１…厚み縦圧電共振子 ２…圧電体 ３，４…第１，第２の励振電極 １１…圧電共振子 １２…コンデンサ ２１…厚み縦圧電共振子 ２２…圧電体 ２３，２４…第１，第２の励振電極

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 共振部の両側に振動減衰部を有し、厚み
   縦振動モードの３倍波を利用したエネルギー閉じ込め型
   厚み縦圧電共振子であって、 矩形板状の圧電体と、 前記圧電体の両面に形成されて圧電体を介して対向され
   ており、両側の振動減衰部を結ぶ方向を第１の方向とし
   たときに、第１の方向と直交する方向において、圧電体
   の端部または端部近傍まで至るように形成された第１，
   第２の励振電極とを備え、 前記圧電体の第１の方向に沿う長さをＬ、厚みをｔ、ｄ
   ＝ｔ／３としたときに、Ｌ／ｄ≧１４とされていること
   を特徴とする、エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振
   子。
2. 【請求項２】 前記比Ｌ／ｄが１６±０．５、２１±
   ０．５、２３±０．５、２５±０．５または２７．５±
   ０．５とされている、請求項１に記載のエネルギー閉じ
   込め型厚み縦圧電共振子。
3. 【請求項３】 前記第１，第２の励振電極の重なり合っ
   ている部分の第１の方向に沿う長さをｌとしたときに、
   ｌ／ｄ≦６とされている、請求項１または２に記載のエ
   ネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子。
4. 【請求項４】 前記比ｌ／ｄが３〜６の範囲とされてい
   る、請求項３に記載のエネルギー閉じ込め型厚み縦圧電
   共振子。
5. 【請求項５】 前記圧電体が細長いストリップ型の圧電
   体により構成されている、請求項１〜４の何れかに記載
   のエネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子。
6. 【請求項６】 前記第１または第２の励振電極が形成さ
   れている面に、圧電共振子の振動を妨げないための空間
   を隔てて貼り合わされたコンデンサをさらに備えること
   を特徴とする、請求項１〜５の何れかに記載のエネルギ
   ー閉じ込め型厚み縦圧電共振子。