JP5228948B2 - 圧電振動デバイス - Google Patents
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Description
例えば前記粗面をウエットエッチングによって形成する場合、ATカット水晶振動板(長辺方向をX軸に、短辺方向をZ’軸に、厚み方向をY軸に設定された)の対向する二つの短辺では、同一結晶軸(Z’軸)でもエッチング速度が異なる。エッチングが進行(エッチング量が多くなる)してくると、前記エッチング速度差が顕著になり、一方の短辺の側面は、他方の短辺の側面よりも水晶板の腐食がより進行する。そして、あるエッチング量になってくると、一方の短辺の側面は他方の短辺の側面よりも表面粗さが粗くなってくる。したがって、水晶振動板のベース(水晶振動板を内部に保持する容器体)への搭載時に、水晶振動板の粗面となる短辺を、搭載電極(前記ベース内部の一端側に並列形成される電極)上に位置するように水晶振動板の搭載方向を揃えて片持ち接合することによって、等価直列容量値のバラツキを低減することができるとともに、大きな等価直列容量値を得ることができる。
10 堤部
11 枕
12 搭載電極
13 段部
2 水晶振動板
200 側面(一方の短辺)
201 側面(他方の短辺)
202 側面(一方の長辺)
203 側面(他方の長辺)
3 接着材
4 内部キャビティ
Claims (2)
- 長辺方向をX軸に、短辺方向をZ’軸に、厚み方向をY軸に設定された平面視略矩形のATカット水晶振動板の、一方の短辺の両端が接着材によって容器体の内部に片持ち接合された圧電振動デバイスであって、
前記一方の短辺の側面は、他方の短辺の側面よりも粗面となっていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 前記水晶振動板の対向する二つの長辺側面には、一方の長辺側面に平面視で略三角形のエッチピットが露出形成されているとともに、他方の長辺側面に平面視で略逆三角形のエッチピットが露出形成されてなり、水晶振動板の対向する二つの短辺側面のうち、片持ち接合される前記一方の短辺の側面は、前記略三角形のエッチピットが露出形成された長辺側面を基準として当該長辺側面に正対して左側に隣接する短辺側面、または前記略逆三角形のエッチピットが露出形成された長辺側面を基準として当該長辺側面に正対して右側に隣接する短辺側面であることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動デバイス。
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