JP2005130218A - 水晶片形成方法および水晶片 - Google Patents
水晶片形成方法および水晶片 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005130218A JP2005130218A JP2003363825A JP2003363825A JP2005130218A JP 2005130218 A JP2005130218 A JP 2005130218A JP 2003363825 A JP2003363825 A JP 2003363825A JP 2003363825 A JP2003363825 A JP 2003363825A JP 2005130218 A JP2005130218 A JP 2005130218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- etching
- crystal piece
- forming method
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
バラつきなく安定した寸法形状であって、且つ、基板外縁部の割れ発生を低減しうる水晶基板(水晶片)を容易に得ることができる水晶片形成方法を提供する。
【解決手段】
ATカットにて切り出した平板状の水晶ウェハ10からエッチングにより複数の水晶片1を得る水晶片形成方法において、前記複数の水晶片1のそれぞれを取り出すためのマスク膜を前記水晶ウェハ10における主平面形成しておく。そしてエッチング時間は、エッチング開始時から貫通するまでに要する時間“T”の1.5倍以上の時間をかけて行うようにする。
【選択図】 図2
Description
近年、水晶振動子の更なる小型化を図るため、辺比(厚さに対する輪郭寸法の比)のより小さな矩形の水晶基板が採用されるようになった。そのため、主要振動である厚み振動と、輪郭系振動、例えば面滑り振動や屈曲振動等との結合がわずかな加工誤差によっても生じるという問題をかかえている。
図6は、ATカットにて切り出した水晶ウェハの例を示す斜視図である。この図に示す矩形平板状の水晶ウェハ10は、表裏の両主面にフォトリソグラフィ技術を用いてマスクパターン形成した保護膜11が設けられている。ここで、水晶ウェハ10の結晶方位3軸をY’軸、−X軸、ZZ’軸として絶対軸により詳細に表す。
例えば、ウエットエッチングにより個片に分割する場合、次の図7に示すようにエッチング溶液(例えば、フッ酸や硫酸等)12を入れたエッチング槽13に、前記水晶ウェハ10を図示しない支持部材により支持して浸し、露出している水晶部分を融解することで複数の水晶振動片に分割する。この場合、一般的にエッチング溶液における濃度と温度、そしてエッチング溶液に漬ける時間の兼ね合いを考慮して分割制御がなされることになる。
図8は、従来の両面エッチング分割により切り出される水晶片の外観例を示す平面図であり、該平面図中の直線X1−X2におけるX方向断面図と、直線Z1−Z2におけるZ方向断面図とを併せて示す。
この例に示すように従来のエッチングによる分割方法にて切り出した水晶振動片101は、Z方向断面の両端では、ほぼ直角な切断面となっているが、X方向断面の両端では傾斜した切断面となっている。即ち、両面ベベリング加工したものに相似した水晶振動片101が得られる。
ATカット水晶ウェハからエッチングにより短冊状個片に切り出された水晶振動片101の両主面に対向する励振電極102a、102bを付着すると共に、該電極102a、102bからそれぞれ水晶振動片101の端部に向けてリード電極103a、103bを延在して、水晶振動素子Sを形成する。
次に、水晶振動素子Sをセラミックパッケージ20に収容し、水晶振動素子Sのリード電極103a、103bをパッケージ内部の段差部に設けた端子電極30に、導電性接着剤40を用いて導通固定する。さらに、真空装置(図示しない)に入れて、蒸着等の手段を用いて所望の周波数に微調整した後、金属蓋(図示しない)を抵抗溶接して水晶振動子を構成する。
そこで本発明はこのような問題点を解決するためになされたものであり、バラつきなく安定した寸法形状であって、且つ、基板外縁部の割れ発生を低減しうる水晶基板を容易に得ることができる水晶片形成方法を提供することを目的とする。
これによれば、水晶片周縁においてエッチングレートの高い部分は、ほぼ直角断面となった水晶片が得られるので、バラつきなく安定した寸法形状であって、且つ、基板外縁部の割れ発生を低減しうる水晶片を得ることができる。
この図は、ATカットにて切り出した水晶ウェハ10の両主面に保護膜11によりマスクパターンを形成した場面を示している。このマスクパターン形成においては、切り出そうとする水晶片が矩形であり、その長手方向をX軸に、短手方向をZ軸に合わせている。
そして、エッチング時に各水晶片が散けないよう連結しておくための連結支持部3を形成すべく矩形保護膜部(水晶片となる部分)の縁部の一部から細い保護膜を延設したマスクパターンとなっており、矩形保護膜部の周囲にはCの字状の非マスク部2(開口部分)が存在している。
ここで特徴的な点は、連結支持部3を設ける位置である。つまり、水晶片として切り出そうとする矩形保護膜部において、水晶ウェハ10の結晶方位の+X側に連結支持部3を設けるのである。
なお、マスクパターン形成までの手順は、上述の図6に示した従来例と同様であって、具体的には、水晶ウェハ10にレジスト(感光性樹脂)を塗布し、ベーク炉に入れて所定温度にて定着させ、レジストに光(紫外線)を照射して所定パターンを露光転写し、これを現像し、洗浄することでマスクパターンを形成する。
図2は、本発明に係る水晶片形成方法の両面エッチング時におけるエッチング進行過程を時間遷移ごとに示した水晶ウェハ断面図であり、同図(a)はエッチング開始時を、(b)は貫通直後(開始からT時間後)を、(c)はオーバーエッチング後(開始から“T×1.5”時間後)を、(d)は更にオーバーエッチング後(開始から“T×2.0”時間後)をそれぞれ示している。
なお、ここでは、エッチング開始時からCの字状の非マスク部2のうち−X方向の短辺が貫通するまでに要する時間を“T”としている。時間“T”は、エッチング液の濃度や温度といったエッチング環境により、その時間的な長さが左右される。
つまり、本発明の水晶片形成方法にあっては、エッチングにより浸食される水晶ウェハが貫通するまでの時間“T”を越えてオーバーエッチングを行い、少なくとも時間“T”の1.5倍の時間を費やしてエッチングを行うことにより、−X側の切断面の傾斜角をほぼ直角にした水晶片を得るのである。
図3は、本発明に係る水晶片形成方法を用いた両面エッチングにより切り出される水晶片の外観例を示す平面図であり、該平面図中の直線X1−X2におけるX方向断面図と、直線Z1−Z2におけるZ方向断面図とを併せて示す。
この例に示す水晶振動片1は、Z方向断面の−X側端の切断面は、ほぼ直角な切断面となっており、一方、+X側端の切断面は、突出傾斜している。他方、Z方向断面の両端は直角な切断面となっている。つまり、−X側端の切断面は、直角な状態にあって尖っていない(薄肉部分が無い)ので、輪郭縁部の破損(カケやヒビ)の発生が低減し、寸法形状のバラツキが少なくなる。
即ち、水晶振動片1は、直角な切断面である−X側を自由端とし、突出傾斜の残る+X側端を固定端として片端保持するよう水晶振動子を構成する。このように、水晶片1を保持する方向を、+X側に統一することが好ましい。
このようにすれば、外部からの振動や衝撃に対して影響の大きい自由端側が−X側の直角断面であるために事前の設計通りの寸法形状となるため不要振動が主要振動と結合しにくくなる。この場合、他方の固定端側は接着剤40により振動や衝撃を拘束するため、輪郭を形成する切断面の形状が直角断面でなくても、このような振動や衝撃に対する影響は小さくて済む。
2・・・非マスク部
3・・・連結支持部
10・・・水晶ウェハ(水晶母材)
11・・・保護膜
12・・・エッチング溶液
13・・・エッチング槽
20・・・セラミックパッケージ
30・・・端子電極
40・・・導電性接着剤
101・・・水晶振動片(水晶片)
102a,b・・・励振電極
103a,b・・・リード電極
Claims (5)
- 所定のカットアングルにて切り出した平板状水晶母材から水晶片をエッチングにより形成する水晶片形成方法であって、
前記水晶片の外周に相当する部分に開口を有する保護膜を前記平板状水晶母材の表面に形成する工程と、
前記保護膜の開口部分より露出する前記平板状水晶母材にエッチングを施す工程とを少なくとも含み、
当該エッチング時間はエッチング開始時から貫通するまでに要する時間の1.5倍以上であること特徴とする水晶片形成方法。 - ATカットにて切り出した平板状水晶母材からX軸方向を長辺としZ’軸方向を短辺とする略短冊状の水晶片をエッチングにより形成する水晶片形成方法であって、
前記水晶片の外周に相当する部分に開口を有する保護膜を前記平板状水晶母材の表面に形成する工程と、
前記保護膜の開口部分より露出する前記平板状水晶母材にエッチングを施す工程とを少なくとも含み、
当該エッチング時間はエッチング開始時から−X方向の短辺が貫通するまでに要する時間の1.5倍以上であること特徴とする水晶片形成方法。 - 前記保護膜の開口は前記水晶片の+X方向の短辺の一部を除く水晶片外周に形成したものであり、
エッチング後に前記+X方向の短辺の一部と平板状水晶母材とを繋ぐ連結支持部を切断する工程を含むことを特徴とする請求項2に記載の水晶片形成方法。 - 前記エッチングは、前記水晶母材の両主面側から同時進行させる両面エッチングであることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の水晶片形成方法。
- 前記請求項1乃至4の何れかに記載の水晶片形成方法により切り出されたATカットの略短冊状の水晶片であって、Z’軸方向の両端面とX軸方向の−X側端面は断面がほぼ直角であり、X軸方向の+X側端面は断面が傾斜して突出している形状であることを特徴とする水晶片。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003363825A JP2005130218A (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | 水晶片形成方法および水晶片 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003363825A JP2005130218A (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | 水晶片形成方法および水晶片 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005130218A true JP2005130218A (ja) | 2005-05-19 |
Family
ID=34643030
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003363825A Withdrawn JP2005130218A (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | 水晶片形成方法および水晶片 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005130218A (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007036065A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Kyocera Kinseki Corp | リング振動子 |
JP2007259036A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片の製造方法 |
JP2009246940A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-22 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片、圧電デバイス及び圧電振動片の製造方法 |
JP2010004484A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子、電子部品、及び水晶振動子用素子の製造方法 |
JP2010178109A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
JP2011124881A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-23 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動子、電子部品および水晶振動子の製造方法 |
JP2011139532A (ja) * | 2011-03-14 | 2011-07-14 | Epson Toyocom Corp | 水晶ウエハの製造方法 |
JP2011166364A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Daishinku Corp | 厚み系水晶振動子 |
JP2011193175A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動板及びその製造方法 |
JP2011193292A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動片 |
JP2012074859A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動片の製造方法 |
JP2014179770A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
JP2014179773A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 水晶振動片、水晶振動片の製造方法、および水晶振動子 |
JP2015015769A (ja) * | 2014-10-09 | 2015-01-22 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 水晶振動片 |
JP2017079438A (ja) * | 2015-10-22 | 2017-04-27 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電片の製造方法、振動素子用圧電片、圧電振動素子及び圧電振動デバイス |
-
2003
- 2003-10-23 JP JP2003363825A patent/JP2005130218A/ja not_active Withdrawn
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007036065A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Kyocera Kinseki Corp | リング振動子 |
US7861387B2 (en) | 2006-03-23 | 2011-01-04 | Epson Toyocom Corporation | Method for manufacturing piezoelectric resonator element |
JP2007259036A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片の製造方法 |
WO2007122786A1 (ja) * | 2006-03-23 | 2007-11-01 | Epson Toyocom Corporation | 圧電振動片の製造方法 |
KR101006786B1 (ko) | 2006-03-23 | 2011-01-10 | 엡슨 토요콤 가부시키 가이샤 | 압전 진동편의 제조 방법 |
JP4525623B2 (ja) * | 2006-03-23 | 2010-08-18 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電振動片の製造方法 |
JP2009246940A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-22 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片、圧電デバイス及び圧電振動片の製造方法 |
JP2010004484A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子、電子部品、及び水晶振動子用素子の製造方法 |
JP2010178109A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
JP2011124881A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-23 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動子、電子部品および水晶振動子の製造方法 |
JP2011166364A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Daishinku Corp | 厚み系水晶振動子 |
JP2011193175A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動板及びその製造方法 |
JP2011193292A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動片 |
JP2012074859A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動片の製造方法 |
JP2011139532A (ja) * | 2011-03-14 | 2011-07-14 | Epson Toyocom Corp | 水晶ウエハの製造方法 |
JP2014179770A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
JP2014179773A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 水晶振動片、水晶振動片の製造方法、および水晶振動子 |
JP2015015769A (ja) * | 2014-10-09 | 2015-01-22 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 水晶振動片 |
JP2017079438A (ja) * | 2015-10-22 | 2017-04-27 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電片の製造方法、振動素子用圧電片、圧電振動素子及び圧電振動デバイス |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101860948B1 (ko) | 압전진동편 및 압전진동자 | |
JP2005130218A (ja) | 水晶片形成方法および水晶片 | |
JP4435758B2 (ja) | 水晶片の製造方法 | |
US8156621B2 (en) | Methods of producing piezoelectric vibrating devices | |
JP4714770B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 | |
JP4593203B2 (ja) | 音叉型水晶振動子及びその製造方法 | |
TWI591868B (zh) | Piezoelectric quartz wafer with double convex structure and processing method thereof | |
JP2003258601A (ja) | 弾性表面波装置およびそれを用いた通信機器 | |
JP2007013383A (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片 | |
JP2008206000A (ja) | 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 | |
JP2010226639A (ja) | 水晶振動子およびその水晶振動子の製造方法 | |
JP2010136202A (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP4825952B2 (ja) | 圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス | |
JP2010154513A (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP4600140B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法 | |
JP2007013382A (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片 | |
TWI652839B (zh) | Piezoelectric quartz wafer with single convex structure | |
JP4472381B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP2010010955A (ja) | 圧電振動子の製造方法及び圧電振動子 | |
JPH04294622A (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP5288920B2 (ja) | 水晶振動用素子の製造方法 | |
KR100956235B1 (ko) | 수정진동자 제조방법 | |
JP4784699B2 (ja) | Atカット水晶振動子 | |
JP2007208675A (ja) | 基板 | |
JP2006186847A (ja) | 水晶片集合体とその製造方法、フォトマスク、及び水晶振動子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060926 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060926 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070402 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090915 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20091113 |