JP2011139532A - 水晶ウエハの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電ウエハ10には、エッチングによって圧電基板20、支持部40および圧電ウエハ本体12が形成されている。圧電基板20は、複数の支持部40によって圧電ウエハ本体12と接続している。すなわち支持部40は、圧電基板20の基端26側に設けられた面(基端面)22の端部に接続している。そして支持部40の外側面46は、圧電基板20の側面24に沿って連続して設けられている。また支持部40の内側面42には、圧電基板20の基端面22に沿った第1の溝44が設けられた構成である。
【選択図】図1
Description
また近年は圧電振動片が小型化されているので、これに伴って圧電基板102の平面形状が小さくなると、圧電基板102の上面109および下面110が入り込み108で殆ど埋まってしまう問題がある。
そして圧電基板20の分離方法およびこの圧電基板20から得られる圧電振動片(圧電デバイス)の製造方法は、第1の実施形態で説明した方法と同様なものであればよい。
また圧電基板20と圧電ウエハ本体12を接続している支持部40には第1の溝44および第2の溝48が設けられているので、圧電基板20を圧電ウエハ本体12からより容易に折り取ることができる。
Claims (6)
- 圧電基板の基端側に設けられた面の両端部に圧電ウエハ本体と接続する支持部を設け、
前記支持部の外側面は、前記圧電基板の側面に沿って連続して設けられ、
前記支持部の内側面には、前記圧電基板の前記基端側に設けられた前記面に沿う第1の溝が設けられた、
ことを特徴とする圧電ウエハ。 - 前記支持部の前記外側面に、前記圧電基板の前記基端側に設けられた前記面に沿った第2の溝を設けたことを特徴とする請求項1に記載の圧電ウエハ。
- 前記第2の溝の長さは、前記第1の溝の長さよりも短いことを特徴とする請求項2に記載の圧電ウエハ。
- 前記圧電基板は、ATカット水晶であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電ウエハ。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の圧電ウエハに設けられた前記圧電基板に電極パターンを設け、前記圧電基板を前記支持部から分離してなることを特徴とする圧電デバイス。
- 前記電極パターンが設けられた前記圧電基板をパッケージに搭載したことを特徴とする請求項5に記載の圧電デバイス。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005329795A Division JP4830069B2 (ja) | 2005-11-15 | 2005-11-15 | 圧電ウエハ |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2011139532A true JP2011139532A (ja) | 2011-07-14 |
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---|---|---|---|---|
JP2014110488A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Kyocera Crystal Device Corp | 圧電振動素子,圧電ウエハおよび圧電振動素子の製造方法 |
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