JP2012119856A - 圧電振動片、圧電振動子、電子デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動部22を有する薄肉部21と、前記薄肉部21の周縁に設けられた厚肉部17とを備えた圧電振動片10であって、前記厚肉部17には、緩衝部14とマウント部12が順に連結され、前記緩衝部14は、前記マウント部12と前記厚肉部17との間にスリット16を有し、前記マウント部12は、前記マウント部12と前記緩衝部14と前記厚肉部17との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に、切欠き12aを有していることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
そこで本発明は上記問題点に着目し、マウント部から振動領域への応力の伝播を十分に緩和することを可能とした圧電振動片、圧電振動子、電子デバイスを提供することを目的とする。
[適用例1]振動部を有する薄肉部と、前記薄肉部の周縁に設けられた厚肉部とを備えた圧電振動片であって、前記厚肉部には、緩衝部とマウント部が順に連結され、前記緩衝部は、前記マウント部と前記厚肉部との間にスリットを有し、前記マウント部は、前記マウント部と前記緩衝部と前記厚肉部との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に、切欠きを有していることを特徴とする圧電振動片。
上記構成により、実装時にマウント部において発生した応力が、振動部へ直線的に伝播することをスリットにより防ぐことができる。よってマウント部からの応力はスリットの周囲及び緩衝部に伝播することになる。さらに上記構成により、マウント部の幅は緩衝部の幅より狭くなるので、応力が緩衝部にまで伝播する経路が長くなる。よって応力が振動部に伝播する前に十分に緩和され、振動部への応力の影響を緩和することができる。
上記構成により、圧電振動片においてスリットの周縁及び緩衝部にまで伝播した応力が振動部へ直線的に伝播することを切欠きにより遮断することができるので、振動部への応力の影響を緩和することができる。
上記構成により、圧電振動片の自由端側を軽量化して実装の安定性を高めることができる。
上記構成により、厚みすべり振動を効率的に発振可能な圧電振動片となる。
上記構成により、圧電振動片の自由端側を軽量化して実装の安定性を高めることができる。
上記構成により、薄肉部と厚肉部との実装面側の境界には厚み方向に段差が形成される。よって、引出電極に塗布される導電性接着剤と振動部との距離が、前述の段差の分だけ遠くなるので、振動部に到達する応力をより多く緩和させることができる。
上記構成により、厚みすべり振動を振動部に閉じこめ、励振効率を高めることができる。
上記構成により、振動部への応力を緩和させた圧電振動子となる。
上記構成により、振動部への応力を緩和させた電子デバイスとなる。
図3に、圧電振動片の製造工程(薄肉部形成工程)を示し、図4に圧電振動片の製造工程(外形形成工程)を示し、図5に圧電振動片の製造工程(電極形成工程)を示す。大まかな手順としては、圧電振動片10の材料となる水晶基板36において、薄肉部21(振動部22)に相当する位置をハーフエッチングし、圧電振動片10の外形に倣ってエッチングし、励振電極24、28や引出電極26、30の形成を行なう。
図7、図8に示すように、厚肉部を緩衝部と連結する部分を残して薄肉に形成する、すなわち薄肉部をX軸方向の両端まで形成することも好適である。これにより、圧電振動片の自由端側を軽量化して実装の安定性を高めることができる。
図9に示すように第2実施形態の第2変形例おいては、メサ部80を薄肉部78の両面に設けることも好適である。このとき薄肉部78は水晶基板の両面からメサ部80の形状を残してハーフエッチングすることにより形成される。このようにメサ部80を両面に形成することにより、厚みすべり振動の閉じ込め効果を高めた圧電振動片61とすることができる。なお、第2実施形態において、励振電極74、76はメサ部80全面に矩形に形成されているが、メサ部80における実際の振動領域に対応して例えば円形状、楕円形状としてもよい。そうすることにより、メサ部に厚みすべり振動である主振動のエネルギーを閉じ込めることができる。
Claims (9)
- 振動部を有する薄肉部と、前記薄肉部の周縁に設けられた厚肉部とを備えた圧電振動片であって、
前記厚肉部には、緩衝部とマウント部が順に連結され、
前記緩衝部は、前記マウント部と前記厚肉部との間にスリットを有し、
前記マウント部は、
前記マウント部と前記緩衝部と前記厚肉部との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に、切欠きを有している
ことを特徴とする圧電振動片。 - 前記緩衝部と前記厚肉部との連結部に切欠きを有することを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片。
- 前記マウント部と前記緩衝部と前記厚肉部との並ぶ方向に対して直交方向に関し、
前記厚肉部の幅は、
前記緩衝部の幅よりも狭く形成されたことを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動片。 - 水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を中心として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ傾けた軸とZ′軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ傾けた軸をY′軸とし、前記X軸と前記Z′軸に平行な面で構成され、前記Y′軸に平行な方向を厚みとするATカット水晶からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電振動片。
- 前記厚肉部は、前記緩衝部と連結する部分を残して薄肉に形成されたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電振動片。
- 前記振動部の両面には前記振動部を振動させる励振電極が形成され、
前記マウント部の実装面には、各励振電極と電気的に接続された一対の引き出し電極が形成され、
前記薄肉部は、前記実装面の反対面側に偏って前記厚肉部に接続されたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の圧電振動片。 - 前記振動部は、前記薄肉部より厚肉に形成されたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の圧電振動片。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の圧電振動片のマウント部の実装面を基板側に向け、前記マウント部と前記基板とを導電性接着剤で接着することにより前記圧電振動片を実装してなることを特徴とする圧電振動子。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の圧電振動片のマウント部の実装面を基板側に向け、前記マウント部と前記基板とを導電性接着剤で接着することにより前記圧電振動片を実装してなることを特徴とする電子デバイス。
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