JP2020198492A - 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器並びに水晶素子の製造方法 - Google Patents
水晶素子、水晶デバイス及び電子機器並びに水晶素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020198492A JP2020198492A JP2019102324A JP2019102324A JP2020198492A JP 2020198492 A JP2020198492 A JP 2020198492A JP 2019102324 A JP2019102324 A JP 2019102324A JP 2019102324 A JP2019102324 A JP 2019102324A JP 2020198492 A JP2020198492 A JP 2020198492A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- notch
- axis
- crystal element
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 193
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 41
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 13
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
本実施形態1の水晶素子10は、略矩形の水晶板12と、励振電極14e,14fと、少なくとも一つの切り欠き15と、を備える。水晶板12は、平面視して、二つの長辺11a.11b及び二つの短辺11c,11dと、二つの長辺11a.11b及び二つの短辺11c,11dに囲まれた対向する二つの主面13e,13fと、二つの主面13e,13fに挟まれた四つの側面13a.13b,13c,13dと、を有する。励振電極14e,14fは、二つの主面13e,13f上にそれぞれ位置する。切り欠き15は、四つの側面13a.13b,13c,13dのうちの少なくとも一つの側面上に位置する。
(1)複数の水晶ウェハ40を貼り合わせて第一ウェハブロック41を作る第一貼り合わせ工程(図2[A][B])。
(2)第一ウェハブロック41を長辺11a.11bの寸法42で切断して複数の第一切断ブロック43を作る第一切断工程(図2[B][C])。
(3)複数の第一切断ブロック43を貼り合わせて第二ウェハブロック44を作る第二貼り合わせ工程(図3[A][B])。
(4)第二ウェハブロック44を短辺11c,11dの寸法45で切断して複数の第二切断ブロック46を作る第二切断工程(図3[B][C])。
(5)第二切断ブロック46に切り欠き15を形成する切り欠き形成工程(図4[A])。
(6)切り欠き15が形成された第二切断ブロック46を、個々の水晶板12に分解する水晶板形成工程(図4[C])。
図6[A]に示すように、本実施形態2の水晶素子20は、次の点で実施形態1と異なる。すなわち、短辺11dを含む側面13dに切り欠き25が位置する。本実施形態2では、平面視して、長辺11a.11bが上下方向に平行になるように、かつ、切り欠き25が上側の短辺の右半分側に位置するように、水晶板12を置けば、水晶板12の上方向が+X軸方向、奥方向が+Y’軸方向かつ左方向が+Z’軸方向になる。
図6[B]に示すように、本実施形態3の水晶素子30は、次の点で実施形態1と異なる。すなわち、励振電極14e,14fから短辺11cに延びる接続電極14a,14bを更に備え、接続電極14b及び短辺11cを含む側面13cに切り欠き35が位置する。本実施形態3では、平面視して、長辺11a.11bが上下方向に平行になるように、かつ、切り欠き35が下側の短辺の左半分側に位置するように、水晶板12を置けば、水晶板12の上方向が+X軸方向、奥方向が+Y’軸方向かつ左方向が+Z’軸方向になる。
図7[A]及び図7[B]に示すように、本実施形態4の水晶デバイス60は、実施形態1の水晶素子10と、水晶素子10が位置する基体61と、基体61とともに水晶素子10を気密封止する蓋体62と、を備えている。基体61は、パッケージとも呼ばれ、基板61aと枠体61bとからなる。基板61aの上面と枠体61bの内側面と蓋体62の下面とによって囲まれた空間が、水晶素子10の収容部63となる。水晶素子10は、例えば、電子機器等で使用する基準信号を出力する。
図8[A]及び図8[B]に示すように、本実施形態7の電子機器71,72はそれぞれ水晶デバイス60を備えている。図8[A]に例示した電子機器71はスマートフォンであり、図8[B]に例示した電子機器72はパーソナルコンピュータである。
以上、上記各実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。また、本発明には、上記各実施形態の構成の一部又は全部を相互に適宜組み合わせたものも含まれる。
11a,11b 長辺
11c,11d 短辺
12 水晶板
120 中心
121,122 中心線
13e,13f 主面
13a,13b,13c,13d 側面
14a,14b 接続電極
14e,14f 励振電極
14g,14h 引き出し電極
15,150,151,152,153,25,35 切り欠き
40 水晶ウェハ
41 第一ウェハブロック
42 一方の寸法
43 第一切断ブロック
44 第二ウェハブロック
45 他方の寸法
46 第二切断ブロック
47 切断用ワイヤ
48 レーザ光
49 突起
60 水晶デバイス
61 基体
61a 基板
61b 枠体
61c 外部端子
61d 電極パッド
61e 導電性接着剤
62 蓋体
63 収容部
71,72電子機器
Claims (7)
- 平面視して、二つの長辺及び二つの短辺と、前記二つの長辺及び前記二つの短辺に囲まれた対向する二つの主面と、前記二つの主面に挟まれた四つの側面とを有する略矩形の水晶板と、
前記二つの主面上にそれぞれ位置する励振電極と、
前記四つの側面のうちの少なくとも一つの側面上に位置する少なくとも一つの切り欠きと、を備え、
水晶の結晶軸のX軸、Y軸及びZ軸を、X軸回りに30°以上かつ50°以下回転させてX軸、Y’軸及びZ’軸を定義したとき、前記長辺が前記X軸に平行かつ前記短辺が前記Z’軸に平行である、
水晶素子。 - 平面視して、前記切り欠きが略楔状である、
請求項1記載の水晶素子。 - 前記短辺を含む前記側面に前記切り欠きが位置する、
請求項1又は2記載の水晶素子。 - 前記励振電極から前記二つの短辺の一方に延びる接続電極を更に備え、
前記接続電極及び前記短辺を含む前記側面に前記切り欠きが位置する、
請求項3記載の水晶素子。 - 請求項1乃至4のいずれか一つに記載の水晶素子と、
前記水晶素子が位置する基体と、
前記基体とともに前記水晶素子を気密封止する蓋体と、
を備えた水晶デバイス。 - 請求項5記載の水晶デバイスを備えた電子機器。
- 請求項1乃至4のいずれか一つに記載の水晶素子を製造する方法であって、
複数の水晶ウェハを貼り合わせて第一ウェハブロックを作る第一貼り合わせ工程と、
前記第一ウェハブロックを前記長辺及び前記短辺の一方の寸法で切断して複数の第一切断ブロックを作る第一切断工程と、
前記複数の第一切断ブロックを貼り合わせて第二ウェハブロックを作る第二貼り合わせ工程と、
前記二ウェハブロックを前記長辺及び前記短辺の他方の寸法で切断して複数の第二切断ブロックを作る第二切断工程と、
前記第二切断ブロックに前記切り欠きを形成する切り欠き形成工程と、
前記切り欠きが形成された前記第二切断ブロックを、個々の前記水晶板に分解する水晶板形成工程と、
を含む水晶素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019102324A JP2020198492A (ja) | 2019-05-31 | 2019-05-31 | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器並びに水晶素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019102324A JP2020198492A (ja) | 2019-05-31 | 2019-05-31 | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器並びに水晶素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020198492A true JP2020198492A (ja) | 2020-12-10 |
Family
ID=73648443
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019102324A Pending JP2020198492A (ja) | 2019-05-31 | 2019-05-31 | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器並びに水晶素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020198492A (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003046366A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-14 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2004128885A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Daishinku Corp | 圧電フィルタ及び、その製造方法 |
JP2012119856A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子、電子デバイス |
JP2013128273A (ja) * | 2011-11-16 | 2013-06-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動片、水晶デバイス、及び水晶振動片の製造方法 |
JP2014138413A (ja) * | 2013-01-18 | 2014-07-28 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP2014179770A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
JP2014200026A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP2015185969A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電振動片の製造方法 |
JP2015186196A (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
-
2019
- 2019-05-31 JP JP2019102324A patent/JP2020198492A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003046366A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-14 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2004128885A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Daishinku Corp | 圧電フィルタ及び、その製造方法 |
JP2012119856A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子、電子デバイス |
JP2013128273A (ja) * | 2011-11-16 | 2013-06-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動片、水晶デバイス、及び水晶振動片の製造方法 |
JP2014138413A (ja) * | 2013-01-18 | 2014-07-28 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP2014179770A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
JP2014200026A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP2015185969A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電振動片の製造方法 |
JP2015186196A (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2020136999A (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 | |
JP2019068288A (ja) | 水晶振動子 | |
JP2020198492A (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器並びに水晶素子の製造方法 | |
US20130207523A1 (en) | Piezoelectric device | |
JP7093316B2 (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 | |
JP2017200093A (ja) | 水晶デバイス | |
WO2021106921A1 (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器並びに水晶素子の製造方法 | |
JP7293037B2 (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 | |
WO2020241849A1 (ja) | 水晶素子及び水晶デバイス | |
JP5005336B2 (ja) | 圧電発振器の製造方法 | |
US20230402994A1 (en) | Peizoelectric element and piezoelectric device | |
JP7308092B2 (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 | |
JP2015050531A (ja) | 水晶デバイス | |
WO2023008112A1 (ja) | 水晶素子及び水晶デバイス | |
JP7274386B2 (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 | |
JP2015050520A (ja) | 水晶デバイス | |
JP7237707B2 (ja) | 水晶素子及び水晶デバイス | |
JP2018101920A (ja) | 水晶デバイス | |
JP2019012912A (ja) | 水晶デバイス | |
JP6652423B2 (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP6690999B2 (ja) | 音叉型水晶片、音叉型水晶素子、水晶デバイスおよび音叉型水晶素子の製造方法 | |
JP2016103753A (ja) | 水晶デバイス | |
JP2016158198A (ja) | 圧電素子実装用パッケージ及び圧電デバイス | |
JP2017050578A (ja) | 水晶デバイス | |
CN106972838B (zh) | 压电振动片的制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20211026 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20211026 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220927 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230314 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230413 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230725 |