JPS58179013A - 圧電共振素子とその製造方法 - Google Patents
圧電共振素子とその製造方法Info
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- JPS58179013A JPS58179013A JP58038412A JP3841283A JPS58179013A JP S58179013 A JPS58179013 A JP S58179013A JP 58038412 A JP58038412 A JP 58038412A JP 3841283 A JP3841283 A JP 3841283A JP S58179013 A JPS58179013 A JP S58179013A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/19—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧電共振器に関するものでめり、より特定的Ｋ
Ｗ−１時計装置に用いる圧電素子とその製造方法に関す
る。
Ｗ−１時計装置に用いる圧電素子とその製造方法に関す
る。
過去数年アナログ式及びディジタル式の両者についてク
ォーツ形電子時計が急速に発展している。
ォーツ形電子時計が急速に発展している。
このことはそれら時計の寸法、精麿、エネルギー消費０
機能の数及び価格に反映されている。このような発展は
共振器及びその製造方法の進歩による可能性に相当依存
している。
機能の数及び価格に反映されている。このような発展は
共振器及びその製造方法の進歩による可能性に相当依存
している。
時計用共振要素の音叉形状の採用は、後者の未決定な課
題？解決し、その寸法倉相当に縮少させると開時に性能
を向上させ心こと倉促進させており、これら寸法縮少と
性能向上の両者は周波数安定性とエネルギー消費に関係
している。
題？解決し、その寸法倉相当に縮少させると開時に性能
を向上させ心こと倉促進させており、これら寸法縮少と
性能向上の両者は周波数安定性とエネルギー消費に関係
している。
従って今日、マイクロエレクトロニクスにおいて用いら
れているプロセスに＠似の光化学作用を発展させた形状
化又は形成化プロセスが共振素子製造に用いられている
。例えば米国特許明細瞥第３４８８５３０及び５６８５
２１５に記載されているこのプロセスは、連続的段階で
圧電材料、例えば水晶の薄板から同時に数多くの共振素
子を製造することができる。それ故、共振器当りの製造
価格を相当低く維持することができる。
れているプロセスに＠似の光化学作用を発展させた形状
化又は形成化プロセスが共振素子製造に用いられている
。例えば米国特許明細瞥第３４８８５３０及び５６８５
２１５に記載されているこのプロセスは、連続的段階で
圧電材料、例えば水晶の薄板から同時に数多くの共振素
子を製造することができる。それ故、共振器当りの製造
価格を相当低く維持することができる。
この形成プロセスの終了段階において、水晶破け数多ぐ
の共振素子？包含しており、該共振素子の各個は所定の
幾伺学的形状？有している。しかしながら各個の共振素
子は、１つ又Ｕ＊数の非常に狭い接続用条帯として水晶
板の残部に付着されたままであり、水晶板の残部から共
振素子を引離す場合相当破断され易いのでおる。破断さ
れた接続条帯は所定の幾伺学的形状の輪郭？越えて突出
する共振素子の表面に凹凸又は小片として残る。
の共振素子？包含しており、該共振素子の各個は所定の
幾伺学的形状？有している。しかしながら各個の共振素
子は、１つ又Ｕ＊数の非常に狭い接続用条帯として水晶
板の残部に付着されたままであり、水晶板の残部から共
振素子を引離す場合相当破断され易いのでおる。破断さ
れた接続条帯は所定の幾伺学的形状の輪郭？越えて突出
する共振素子の表面に凹凸又は小片として残る。
これらの小片は容器内における共振素子の位置決めにお
ける基準面として使用することに関してこの表面は不適
切になる。さらにこれらの小片は共振素子の全体寸法を
増加させる。
ける基準面として使用することに関してこの表面は不適
切になる。さらにこれらの小片は共振素子の全体寸法を
増加させる。
従って本発明の主な目的は、水晶板の残部から分離され
た後所定の幾何学形状の輪郭内に形成させ得る共振素子
製造供することにＦ６ 本発明に、外表面、該外表面に設けられた凹陥部、及び
該凹陥部内に全てが収容されている突出小片を有する圧
電共振素子を提供する。
た後所定の幾何学形状の輪郭内に形成させ得る共振素子
製造供することにＦ６ 本発明に、外表面、該外表面に設けられた凹陥部、及び
該凹陥部内に全てが収容されている突出小片を有する圧
電共振素子を提供する。
さらに本発明は、圧電材料製薄板から圧電共振素子ｔｉ
１ｇする方法でろって鋏製造方法が、少くとも１つの共
振素子を規足す、６ための板に形成し、かつ該板の残余
部に紡記少くとも１つの共振素子？接続するための少く
とも１つの接続用条帯を規定するための帥記＠を形成す
る段階、及び１機械的抵抗力全減少はせた部分？有する
紡記少くとも１つの接続用条帯を提供し、仙記機械的抵
抗カケ減少孕せた部分が少くとも部分的に凹陥部ＦＦ３
に収容されるように酌紀協働等る共振素子内に帥紀凹陥
部倉規定するように接続用条帯を協働する共振素子に結
合する領域を形成するＲＮ、に具備する、圧電材料製薄
板から圧電共振素子１に：Ｈ造する方法を提供する。
１ｇする方法でろって鋏製造方法が、少くとも１つの共
振素子を規足す、６ための板に形成し、かつ該板の残余
部に紡記少くとも１つの共振素子？接続するための少く
とも１つの接続用条帯を規定するための帥記＠を形成す
る段階、及び１機械的抵抗力全減少はせた部分？有する
紡記少くとも１つの接続用条帯を提供し、仙記機械的抵
抗カケ減少孕せた部分が少くとも部分的に凹陥部ＦＦ３
に収容されるように酌紀協働等る共振素子内に帥紀凹陥
部倉規定するように接続用条帯を協働する共振素子に結
合する領域を形成するＲＮ、に具備する、圧電材料製薄
板から圧電共振素子１に：Ｈ造する方法を提供する。
在来の共振素子に比し本発明により提供される共振素子
の利点は、接続用条帯を切断又は破断後、共振器装着用
の基準面として作用する共振素子の部分に沿って共振素
子の輪郭から小片が突出しないことである。
の利点は、接続用条帯を切断又は破断後、共振器装着用
の基準面として作用する共振素子の部分に沿って共振素
子の輪郭から小片が突出しないことである。
本発明がより良く理解され如何に実施されるかＫついて
添付図面に関連づけで下記に述べる。
添付図面に関連づけで下記に述べる。
まず従来技術について述べると、第１図に図示の在来の
水晶薄板１０汀、機械加工、又に在来のプロセスにもと
づく光イヒ学作用又は工、チングにより形成されている
。水晶薄板１０げ７レイム１及び複数の共振素子２倉具
備している。共振素子２の各個に２つの接続用細条帯６
によりフレイム１に取付けられている。第１図に図示の
配［において、共振素子２け一般的な長方形状？有して
おり、ｉ線用薄状条帯３もまｆｃ長方形状ケ有している
＠従って各個の共振素子２汀接続用条帯３倉切除するこ
とＫよりフレイム１がら引き離される。
水晶薄板１０汀、機械加工、又に在来のプロセスにもと
づく光イヒ学作用又は工、チングにより形成されている
。水晶薄板１０げ７レイム１及び複数の共振素子２倉具
備している。共振素子２の各個に２つの接続用細条帯６
によりフレイム１に取付けられている。第１図に図示の
配［において、共振素子２け一般的な長方形状？有して
おり、ｉ線用薄状条帯３もまｆｃ長方形状ケ有している
＠従って各個の共振素子２汀接続用条帯３倉切除するこ
とＫよりフレイム１がら引き離される。
条帯の各個の断面が全長に亘って一定なので、切除の実
際的な位置は確定していない。
際的な位置は確定していない。
このこと？改良するため第２図（ａ）Ｋ図示の如く接続
用条帯３？形成することが提案されている。
用条帯３？形成することが提案されている。
第２図（ａ）＃′ｉ１つの共振素子２が２つの接続用条
帯３によりフレイム１に結合されている領域倉拡大して
図示している。この配置において共振素子２に２つの刃
２１及び１つのペース２ｂから成る音叉のように形成さ
れている。、Ｗ！続用条帯３はベース２ｂＫ付着してお
り、該条帯の各個ｒｉ機械的に除去された狭帯部４を有
している。狭帯部４は可能な限りベースに近づけて配置
されている。従って接続用条帯３が破断される位ｖＩｔ
に第１図に図示の配置の場合よりより確実化される。
帯３によりフレイム１に結合されている領域倉拡大して
図示している。この配置において共振素子２に２つの刃
２１及び１つのペース２ｂから成る音叉のように形成さ
れている。、Ｗ！続用条帯３はベース２ｂＫ付着してお
り、該条帯の各個ｒｉ機械的に除去された狭帯部４を有
している。狭帯部４は可能な限りベースに近づけて配置
されている。従って接続用条帯３が破断される位ｖＩｔ
に第１図に図示の配置の場合よりより確実化される。
第２図（ｂ） Ｋ図示の共振素子２に第２図（ａｌのフ
レイム１から引’ａ叱−，＝ｔＩｆＣものを示す。第２
図（Ｌ＋）から明瞭なように、接続用条帯３を破断する
ことによって住じた突出小片が共振素子２の縁６から外
側に突出している。これらの小片５Ｃ第１に共振素子２
の全長を増加させるという問題点？有している。さらに
小片５Ｆ′ｉ縁６が容器内に共振素子２を正確に位置決
めする基準又は索引面として用いられることを妨げる。
レイム１から引’ａ叱−，＝ｔＩｆＣものを示す。第２
図（Ｌ＋）から明瞭なように、接続用条帯３を破断する
ことによって住じた突出小片が共振素子２の縁６から外
側に突出している。これらの小片５Ｃ第１に共振素子２
の全長を増加させるという問題点？有している。さらに
小片５Ｆ′ｉ縁６が容器内に共振素子２を正確に位置決
めする基準又は索引面として用いられることを妨げる。
第３図（ａ）及び（ｂ）に図示の本発明にもとづく共振
素子は上記問題点全解決する。第３図ＣＢ）ｒｉ第２図
（Ｊｌ）と同様の共振素子２とフレイム１の結合領域を
図示している。第３図（ａ）においても共振素子Ｆ′ｉ
２つの刃２ａ及び１つのベース２ｂから成る音叉状の形
状倉している。１対の切り溝（凹陥部）７が縁６に沿っ
てベース２ｂに形成場れている。各個が覚弱部４を有す
る１対の接続用条帯５が共振素子２のペース２ｂＫフレ
イム１分接続させている。
素子は上記問題点全解決する。第３図ＣＢ）ｒｉ第２図
（Ｊｌ）と同様の共振素子２とフレイム１の結合領域を
図示している。第３図（ａ）においても共振素子Ｆ′ｉ
２つの刃２ａ及び１つのベース２ｂから成る音叉状の形
状倉している。１対の切り溝（凹陥部）７が縁６に沿っ
てベース２ｂに形成場れている。各個が覚弱部４を有す
る１対の接続用条帯５が共振素子２のペース２ｂＫフレ
イム１分接続させている。
各個の接続用条帯５の電弱部４はベース２ｂにおいて直
接終熾している。各個の切り溝７の深さは、協働する唯
弱部′４が切溝内に全体が収容されることが好適である
ように、換言すれば共振素子２の一般的な長方形輪郭ケ
越えて突出しないように。
接終熾している。各個の切り溝７の深さは、協働する唯
弱部′４が切溝内に全体が収容されることが好適である
ように、換言すれば共振素子２の一般的な長方形輪郭ケ
越えて突出しないように。
なっている。
第３図（ｂ）はフレ１ム１から引離し念後の第３図（１
ｉ）の共振素子２を図示している。また第３図（ｂ）は
、接続用条帯５から切断した後に残っている突出小片５
が切溝７の内に全てが収容されており、共振素子２の縁
６を包含する一般的な面から突出していないことを示し
ている。
ｉ）の共振素子２を図示している。また第３図（ｂ）は
、接続用条帯５から切断した後に残っている突出小片５
が切溝７の内に全てが収容されており、共振素子２の縁
６を包含する一般的な面から突出していないことを示し
ている。
第２図（ｂｌと第３図（ｂ） ｖｌ−比較すると、第一
に％第３図（ｂ） においてに共振素子２の全長が切断
小片５の存在によって増加されていす、第二に、小片５
が縁６の一般的な面との関係において引込まされている
ので、第６図（ｂ）の４のは容器の対応する基準面に対
し縁６に一当てることにより容器内に共振素子を正確に
位置決めするための基準面又は索引面として用いること
ができる。また同じ思切倉第１図の長方形状共振素子２
に適用することができ、基準面は長方形の短辺全形成す
る周辺の一つによＶ＊成され得る。第５図（ａ）に類似
する切溝７がこの部分に形成され得心。
に％第３図（ｂ） においてに共振素子２の全長が切断
小片５の存在によって増加されていす、第二に、小片５
が縁６の一般的な面との関係において引込まされている
ので、第６図（ｂ）の４のは容器の対応する基準面に対
し縁６に一当てることにより容器内に共振素子を正確に
位置決めするための基準面又は索引面として用いること
ができる。また同じ思切倉第１図の長方形状共振素子２
に適用することができ、基準面は長方形の短辺全形成す
る周辺の一つによＶ＊成され得る。第５図（ａ）に類似
する切溝７がこの部分に形成され得心。
共振素子、接続用条帯及び凹陥部（切溝）に。
ここに例示したものの外、共振素子？切断した後。
接続用条帯倉切断後小片が凹陥部内に完全に収容されて
いるような他の形状にすることができる。
いるような他の形状にすることができる。
さらに共振器が平坦形状を有している場合１通常そうで
おるが、共振器の容積は、共振器が形成される水晶板の
面と平行に９ｂ２つの主面、及び共振器の形状を規定す
る周辺により規定さｔＬ６゜この周辺に２つの主面に対
して実質的に直交していないこともしばしばある。組立
の沈め基準面が存在する場合、そのような面はこの周辺
部により形成される。複数の基準面が存在する場合もＴ
ｏ／）。
おるが、共振器の容積は、共振器が形成される水晶板の
面と平行に９ｂ２つの主面、及び共振器の形状を規定す
る周辺により規定さｔＬ６゜この周辺に２つの主面に対
して実質的に直交していないこともしばしばある。組立
の沈め基準面が存在する場合、そのような面はこの周辺
部により形成される。複数の基準面が存在する場合もＴ
ｏ／）。
接続用条帯はこの周辺から阻止されていゐ、１つ又は複
数の切溝が基準面から突出する全ての接続用条帯小片を
そこに全て収容できるようにするため設けられるべきこ
とｔＩＪｂ’ｌとする。切溝はまた基準面から突出しな
いそのような接続用条帯のために設けられ得る。
数の切溝が基準面から突出する全ての接続用条帯小片を
そこに全て収容できるようにするため設けられるべきこ
とｔＩＪｂ’ｌとする。切溝はまた基準面から突出しな
いそのような接続用条帯のために設けられ得る。
第１図は従来方法にもとづき光化学的作用により製造さ
ねた水晶薄板の平面図、 第２図（ａ）ｕ水晶板のフレームに音叉状共振素子１接
続するため従来知られている条帯の変Ｗｅａ様【図示す
る水晶薄軟の部分拡大図。 第２図（ｂｌは第２図（ａ）に図解これた共振素子に生
じた突出する切断小片を示す区。 第３図（ａ） Ｈ本発明の一実施例としての水晶板から
切断する紬の音叉状共振素子の平面図、第３図（ｂ）
Ｆｉ水晶板から切断後の第６図（ａ）に図示の共振素子
を示す図、でおる。 （符号の説明） １・・・・・・フレイム。 ２・・・・・・共振素子。 ２ａ・・・・・・刃。 ２ｂ・・・・・・ベース、 ３・・・・・・接続用条帯、 ４・・・・・・脆弱部、 ５・・・・・・小片。 ６・・・・・・縁、 ７・・・・・・切り溝（凹陥部） １０・・・・・・水晶薄敬。 特許出願人 アスラプ ンシエテ アノニム 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 松 下 操 弁理士 山 口 昭 之
ねた水晶薄板の平面図、 第２図（ａ）ｕ水晶板のフレームに音叉状共振素子１接
続するため従来知られている条帯の変Ｗｅａ様【図示す
る水晶薄軟の部分拡大図。 第２図（ｂｌは第２図（ａ）に図解これた共振素子に生
じた突出する切断小片を示す区。 第３図（ａ） Ｈ本発明の一実施例としての水晶板から
切断する紬の音叉状共振素子の平面図、第３図（ｂ）
Ｆｉ水晶板から切断後の第６図（ａ）に図示の共振素子
を示す図、でおる。 （符号の説明） １・・・・・・フレイム。 ２・・・・・・共振素子。 ２ａ・・・・・・刃。 ２ｂ・・・・・・ベース、 ３・・・・・・接続用条帯、 ４・・・・・・脆弱部、 ５・・・・・・小片。 ６・・・・・・縁、 ７・・・・・・切り溝（凹陥部） １０・・・・・・水晶薄敬。 特許出願人 アスラプ ンシエテ アノニム 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 松 下 操 弁理士 山 口 昭 之
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、外表面、該外表面内に設けられた凹陥部。 及び該凹陥部内に全てが収容されている突出小片？有す
る圧電共振素子。 ２、＠配性表面は２つの実質的に平行する平坦主面及び
１つの周辺？包含し、前記凹陥部に前記周辺に沿って設
けられている。特許請求の範囲第１項に記載の共振素子
。 Ｓ 長方形状をしており、前記凹陥部が前記共振素子の
周辺の１つの短辺に沿って設けられている。特許請求の
範囲第２項に記載の共振素子。 ４．２つの刃及び１つのベースが設けられた音叉形状を
有し、＠記凹陥部が前記ベースと協働する周辺に沿って
設けられている。特許請求の範囲第２項に記載の共振素
子。 ５、水晶で形成さ’Ｍな、特許請求の範囲＠１項〜第４
項のいずれかに記載の共振素子。 ＆ 圧電材料製薄板から圧電共振素子を製造する方法で
あって該製造方法が。 少くとも１つの共振素子を規定するための板を形成し、
かつ該鈑の残余部に約記少くとも１つの共振素子？接続
するための少くとも１つの接続用条帯？規定するための
的配水倉形成する段階、及び、 機械的抵抗力を減少させた部分を有する前記少くと４．
１つの接続用条帯に提供し、＠記機械的抵抗力を減少さ
せた部分が少くとも部分的に凹陥部内に収容されるよう
に＠記協働する共振素子内に帥紀凹陥部を規定するよう
に接続用条帯を協働する共振素子に結合する領域を形成
す石段階。 を具備する、圧電材料製薄板から圧電共振素子を製造す
る方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH2247/828 | 1982-04-14 | ||
| CH224782A CH646032GA3 (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58179013A true JPS58179013A (ja) | 1983-10-20 |
Family
ID=4229306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58038412A Pending JPS58179013A (ja) | 1982-04-14 | 1983-03-10 | 圧電共振素子とその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0092515A1 (ja) |
| JP (1) | JPS58179013A (ja) |
| CH (1) | CH646032GA3 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62112210U (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-17 | ||
| JPH0298522U (ja) * | 1988-04-06 | 1990-08-06 | ||
| WO2004017789A1 (ja) | 2002-07-30 | 2004-03-04 | Yoshida Industry Co., Ltd. | 収納ケース |
| JP2006186847A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Epson Toyocom Corp | 水晶片集合体とその製造方法、フォトマスク、及び水晶振動子 |
| JP2007142526A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Epson Toyocom Corp | 圧電ウエハおよび圧電デバイス |
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