JP2017017407A - 水晶振動素子集合ウエハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】枠部160と、第一電極112及び第二電極113が形成された水晶振動素子110と、枠部160と個々の水晶振動素子110とを繋ぐ第一連結部120と第二連結部130と、貫通孔140と、第二電極113から第一連結部120及び第二連結部130の表面を経て枠部160の表面まで延設した第三電極150と、第一連結部120に設けられた第一溝部121と、第二連結部130に設けられた第二溝部131と、第二狭窄部123に設けられた第三溝部124と、第四狭窄部133に設けられた第四溝部134と、が設けられている水晶振動素子集合ウエハ。
【選択図】図2
Description
図4は、前述した実施形態の変形例に係る水晶振動素子集合ウエハを、図1に記載の仮想円Aと同じ箇所を示した部分拡大図である。また、前述した実施形態の変形例に係る水晶振動素子集合ウエハ100は、第一連結部120の外側の一辺が水晶振動素子110の一方の長辺の延長線上に位置するように設けられており、第二連結部130の外側の一辺が、水晶振動素子110の他方の長辺の延長線上に位置するように設けられている点において前述した実施形態と異なる。
110・・・水晶振動素子
111・・・水晶素板
112・・・第一電極
113・・・第二電極
120・・・第一連結部
121・・・第一溝部
122・・・第一狭窄部
123・・・第二狭窄部
124・・・第三溝部
130・・・第二連結部
131・・・第二溝部
132・・・第三狭窄部
133・・・第四狭窄部
134・・・第四溝部
140・・・貫通孔
150・・・第三電極
160・・・枠部
161・・・外枠
162・・・桟部
Claims (5)
- 外周及び内周形状が平面視矩形で平板状の枠部と、
前記枠部により囲われた空間に複数個並べて配置され、表面に少なくとも第一電極及び第二電極が形成された平面視矩形で平板状の水晶振動素子と、
前記枠部の内周の一辺と、個々の前記水晶振動素子の前記第二電極が設けられた一辺から延出するようにして繋がれた第一連結部と第二連結部と、
同じ前記水晶振動素子に設けられている前記第一連結部と前記第二連結部との間に設けられた貫通孔と、
前記第二電極から前記第一連結部及び前記第二連結部の表面を経て前記枠部の表面まで延設した第三電極と、
前記第一連結部の上面又は下面のどちらか一方に設けられた開口部を有する第一溝部と、
前記第二連結部の前記第一溝部が設けられた面と同じ面に設けられた開口部を有する第二溝部と、
前記第一連結部の前記第一溝部を挟むようにして設けられた第一狭窄部及び第二狭窄部と、
前記第一連結部に設けられた狭窄部に設けられた第三溝部と、
前記第二連結部の前記第二溝部を挟むようにして設けられた第三狭窄部と第四狭窄部と、
前記第二連結部が設けられた狭窄部に設けられた第四溝部と、
を備えたことを特徴とする水晶振動素子集合ウエハ。 - 前記枠部が外枠と桟部とから構成されており、前記外枠の内側に、前記外枠と前記桟部により囲われた前記空間が複数個隣接するようにして設けられていることを特徴とする請求項1に記載された水晶振動素子集合ウエハ。
- 前記第一連結部の外側の一辺が前記水晶振動素子の一方の長辺の延長線上に位置するように設けられており、前記第二連結部の外側の一辺が、前記水晶振動素子の他方の長辺の延長線上に位置するように設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載された水晶振動素子集合ウエハ。
- 前記第三溝部は、前記第二狭窄部の水晶振動素子側にオフセットした位置に設けられており、前記第四溝部は前記第四狭窄部の水晶振動素子側にオフセットした位置に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のうちの一つに記載された水晶振動素子集合ウエハ。
- 前記第三溝部の深さが前記第一溝部の深さに比べて深くなっており、且つ前記第四溝部の深さが前記第二溝部の深さに比べて深くなっていることを特徴とする、請求項1乃至4のうちの一つに記載された水晶振動素子集合ウエハ。
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2015
- 2015-06-29 JP JP2015129478A patent/JP6525766B2/ja active Active
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