JP2010178320A - 水晶振動片の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶振動片の外形を有する水晶素子片11と水晶板の支持枠部4と水晶素子片を支持枠部に結合する連結部12a,12bとを加工する工程と、連結部を折り取って水晶振動片を切り離す工程とを有する。連結部は、水晶素子片のZ´方向に延長する横辺に、X方向に延長する互いに対向する各縦辺に沿って延長するように、水晶素子片の外形線に沿って有底の溝14a,14bを形成するように加工される。+Z´側の溝は連結部の+Y´側の主面13aに、−Z´側の溝は−Y´側の主面13bに配置される。
【選択図】図1
Description
図1(A)〜(C)は、本発明の第1実施例による方法を適用してATカット水晶板に加工された水晶素子片11、連結部12a,12b及び支持枠部4の形状を示している。矩形形状の水晶素子片11は、基端部11aを+X側に配置し、その縦辺を基端部11aから先端部に向けて−X方向に、支持枠部4と平行に延長する横辺をZ´方向に、その主面13aから上向きの法線方向をY´方向に合わせて配向される。2つの連結部12a,12bは、水晶素子片基端部11aの+Z´側及び−Z´側の両端に結合され、それぞれ該水晶素子片の+Z´側及び−Z´側の縦辺に沿って延長するように、互いにZ´方向に離隔して設けられる。
Claims (6)
- 水晶の結晶軸をX軸、Y軸、Z軸として、Y軸及びZ軸をX軸の回りに反時計方向に所定の角度回転させてY´軸及びZ´軸とし、Z´軸とX軸とを含む±Y´面を表裏主面として切り出したATカット水晶板をフォトエッチングすることにより、水晶振動片の外形を有する水晶素子片と、前記水晶板の支持枠部と、前記水晶素子片を前記支持枠部に結合する連結部とを加工する工程と、前記連結部を折り取ることにより前記水晶振動片を前記支持枠部から切り離す工程とを有し、
前記フォトエッチングによる加工工程において、前記連結部が、前記水晶素子片のZ´方向に延長する一方の側辺に、X方向に延長する互いに対向する各側辺に沿って延長するように、かつ前記水晶素子片の外形線に沿って有底の溝を形成するように加工され、前記有底の溝が、+Y´側の主面の+Z´側にかつ/又は−Y´側の主面の−Z´側に配置されることを特徴とする水晶振動片の加工方法。 - 前記連結部を前記水晶素子片のZ´方向に延長する+X側の側辺に設けることを特徴とする請求項1記載の水晶振動片の加工方法。
- 前記連結部を、前記水晶素子片をその基端部で前記支持枠部に連結するように設けることを特徴とする請求項1又は2記載の水晶振動片の加工方法。
- 前記水晶素子片のX方向に延長する互いに対向する各側辺に沿ってそれぞれ延長するように、Z´方向に離隔した2つの前記連結部を設けることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の水晶振動片の加工方法。
- 前記有底の溝を、前記連結部のZ´方向の全幅に亘って設けることを特徴とする請求項4記載の水晶振動片の加工方法。
- 前記有底の溝を、前記連結部のZ´方向の幅に沿って部分的に設けることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の水晶振動片の加工方法。
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