JP5402031B2 - 水晶振動片の加工方法及び水晶ウェーハ - Google Patents
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Description
本発明のある実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を中心として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ傾けた軸をZ’軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ傾けた軸をY’軸とし、前記X軸と前記Z’軸を含む面を主面とし、前記Y’軸に沿った方向を厚みとする水晶基板を、水晶振動片の外形に対応する水晶素子片と、支持部と、前記水晶素子片を前記支持部に連結する第1の連結部及び第2の連結部と、を含む水晶ウェーハに加工するエッチング工程と、前記第1の連結部及び前記第2の連結部を折り取ることにより前記水晶素子片を前記支持部から切り離す工程と、を含み、前記エッチング工程は、前記第1の連結部及び前記第2の連結部を、前記水晶素子片の前記X軸に沿った一対の辺が延びる方向に沿って、前記水晶素子片の前記Z’軸に沿った一方の辺から、それぞれ延長するように形成し、かつ+Z’軸側に配置されている前記第1の連結部の前記水晶素子片との接続部には、+Y’側の主面にのみ有底の溝を形成し、−Z’軸側に配置されている前記第2の連結部の前記水晶素子片との接続部には、−Y’側の主面にのみ有底の溝を形成することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、前記第1の連結部及び前記第2の連結部を、前記水晶素子片の前記Z’軸に沿った一対の辺のうち+X軸側の辺から延長するように形成することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、前記第1の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅の全長に亘って形成し、前記第2の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅の全長に亘って形成することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、前記第1の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅に沿って部分的に形成し、前記第2の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅に沿って部分的に形成することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、前記水晶素子片に電極を形成する電極形成工程を含むことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、前記水晶基板はATカット水晶基板であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を中心として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ傾けた軸をZ’軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ傾けた軸をY’軸とし、前記X軸と前記Z’軸を含む面を主面とし、前記Y’軸に沿った方向を厚みとする水晶基板からエッチングにより残された水晶ウェーハから折り取り可能な複数の水晶素子片と、支持部と、前記水晶素子片が前記支持部に連結されている第1の連結部及び第2の連結部と、を含み、前記第1の連結部及び前記第2の連結部は、前記水晶素子片の前記X軸に沿った一対の辺が延びる方向に沿って、前記水晶素子片の前記Z’軸に沿った一方の辺から、それぞれ延長するように設けられ、かつ+Z’軸側に配置されている前記第1の連結部の前記水晶素子片との接続部には、+Y’側の主面にのみ有底の溝が設けられ、−Z’軸側に配置されている前記第2の連結部の前記水晶素子片との接続部には、−Y’側の主面にのみ有底の溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、前記第1の連結部および前記第2の連結部は、前記水晶素子片の前記Z’軸に沿った一対の辺のうち+X軸側の辺から延長するように設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、前記第1の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅の全長に亘って設けられており、前記第2の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅の全長に亘って設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、前記第1の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅に沿って部分的に設けられており、前記第2の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅に沿って部分的に設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、前記水晶素子片に電極が形成されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、前記水晶基板はATカット水晶基板であることを特徴とする。
[適用例1]適用例1に係る水晶振動片の加工方法は、上記目的を達成するために、水晶の結晶軸をX軸、Y軸、Z軸として、Y軸及びZ軸をX軸の回りに反時計方向に所定の角度回転させてY´軸及びZ´軸とし、Z´軸とX軸とを含む±Y´面を表裏主面として切り出したATカット水晶板をフォトエッチングすることにより、水晶振動片の外形を有する水晶素子片と、水晶板の支持枠部と、水晶素子片を支持枠部に結合する連結部とを加工する工程と、連結部を折り取ることにより水晶振動片を支持枠部から切り離す工程とを有し、前記フォトエッチングによる加工工程において、連結部が、水晶素子片のZ´方向に延長する一方の側辺に、X方向に延長する互いに対向する各側辺に沿って延長するように、かつ水晶素子片の外形線に沿って有底の溝を形成するように加工され、該有底の溝が、+Y´側の主面の+Z´側にかつ/又は−Y´側の主面の−Z´側に配置されることを特徴とする。
[適用例5]適用例5に係る水晶振動片の加工方法は、有底の溝を連結部のZ´方向の全幅に亘って設けることにより、水晶振動片の折り取りをより容易にすることができる。
図1(A)〜(C)は、本発明の第1実施例による方法を適用してATカット水晶板に加工された水晶素子片11、連結部12a,12b及び支持枠部4の形状を示している。矩形形状の水晶素子片11は、基端部11aを+X側に配置し、その縦辺を基端部11aから先端部に向けて−X方向に、支持枠部4と平行に延長する横辺をZ´方向に、その主面13aから上向きの法線方向をY´方向に合わせて配向される。2つの連結部12a,12bは、水晶素子片基端部11aの+Z´側及び−Z´側の両端に結合され、それぞれ該水晶素子片の+Z´側及び−Z´側の縦辺に沿って延長するように、互いにZ´方向に離隔して設けられる。
Claims (12)
- 水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を中心として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ傾けた軸をZ’軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ傾けた軸をY’軸とし、前記X軸と前記Z’軸を含む面を主面とし、前記Y’軸に沿った方向を厚みとする水晶基板を、水晶振動片の外形に対応する水晶素子片と、支持部と、前記水晶素子片を前記支持部に連結する第1の連結部及び第2の連結部と、を含む水晶ウェーハに加工するエッチング工程と、
前記第1の連結部及び前記第2の連結部を折り取ることにより前記水晶素子片を前記支持部から切り離す工程と、
を含み、
前記エッチング工程は、
前記第1の連結部及び前記第2の連結部を、前記水晶素子片の前記X軸に沿った一対の辺が延びる方向に沿って、前記水晶素子片の前記Z’軸に沿った一方の辺から、それぞれ延長するように形成し、
かつ
+Z’軸側に配置されている前記第1の連結部の前記水晶素子片との接続部には、+Y’側の主面にのみ有底の溝を形成し、
−Z’軸側に配置されている前記第2の連結部の前記水晶素子片との接続部には、−Y’側の主面にのみ有底の溝を形成することを特徴とする水晶振動片の加工方法。 - 請求項1において、
前記第1の連結部及び前記第2の連結部を、前記水晶素子片の前記Z’軸に沿った一対の辺のうち+X軸側の辺から延長するように形成することを特徴とする水晶振動片の加工方法。 - 請求項1又は2において、
前記第1の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅の全長に亘って形成し、
前記第2の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅の全長に亘って形成することを特徴とする水晶振動片の加工方法。 - 請求項1又は2において、
前記第1の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅に沿って部分的に形成し、
前記第2の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅に沿って部分的に形成することを特徴とする水晶振動片の加工方法。 - 請求項1乃至4の何れか一項において、
前記水晶素子片に電極を形成する電極形成工程を含むことを特徴とする水晶振動片の加工方法。 - 請求項1乃至5の何れか一項において、
前記水晶基板はATカット水晶基板であることを特徴とする水晶振動片の加工方法。 - 水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を中心として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ傾けた軸をZ’軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ傾けた軸をY’軸とし、前記X軸と前記Z’軸を含む面を主面とし、前記Y’軸に沿った方向を厚みとする水晶基板からエッチングにより残された水晶ウェーハから折り取り可能な複数の水晶素子片と、支持部と、前記水晶素子片が前記支持部に連結されている第1の連結部及び第2の連結部と、を
含み、
前記第1の連結部及び前記第2の連結部は、前記水晶素子片の前記X軸に沿った一対の辺が延びる方向に沿って、前記水晶素子片の前記Z’軸に沿った一方の辺から、それぞれ延長するように設けられ、
かつ
+Z’軸側に配置されている前記第1の連結部の前記水晶素子片との接続部には、+Y’側の主面にのみ有底の溝が設けられ、
−Z’軸側に配置されている前記第2の連結部の前記水晶素子片との接続部には、−Y’側の主面にのみ有底の溝が設けられていることを特徴とする水晶ウェーハ。 - 請求項7において、
前記第1の連結部および前記第2の連結部は、前記水晶素子片の前記Z’軸に沿った一対の辺のうち+X軸側の辺から延長するように設けられていることを特徴とする水晶ウェーハ。 - 請求項7又は8において、
前記第1の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅の全長に亘って設けられており、
前記第2の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅の全長に亘って設けられていることを特徴とする水晶ウェーハ。 - 請求項7又は8において、
前記第1の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅に沿って部分的に設けられており、
前記第2の連結部では、前記溝を前記Z’軸に沿った幅に沿って部分的に設けられていることを特徴とする水晶ウェーハ。 - 請求項7乃至10の何れか一項において、
前記水晶素子片に電極が形成されていることを特徴とする水晶ウェーハ。 - 請求項7乃至11の何れか一項において、
前記水晶基板はATカット水晶基板であることを特徴とする水晶ウェーハ。
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