JP5864140B2 - 圧電振動子、およびその製造方法 - Google Patents
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Ff∝W/L2
ここで、Ffは屈曲振動モードの共振周波数、Wは振動脚部の幅、Lは振動脚部の長さである。
Ft∝T/(WL)
ここで、Ftは捩り振動モードの共振周波数、Tは振動脚部の厚さ、Wは振動脚部の幅、Lは振動脚部の長さである。
2,102 圧電振動片
3,103 基部
4a,4b,104a,104b 振動脚部
5a,5b,105a,105b 励振電極
6a,6b,108a,108b 電極パッド
7 水晶基板
8 電極膜
9 レジスト層
11 マスク
12,12a,12b,12c,12d,12e,12f,12g,12h 表面露出部
106a,106b 粗調整用金属膜
107a,107b 微調整用金属膜
Claims (2)
- 基部と該基部から突出する1本以上の振動脚とを備える圧電振動片の表面に励振電極を備え所定の共振周波数で、かつ捩り振動モードで振動する圧電振動子の製造方法において、基部と該基部から突出する1本以上の振動脚とを備える圧電振動片を形成する工程と、前記圧電振動片の表面の少なくとも2面の一部に励振電極を形成する工程と、前記励振電極を形成した表面の表面露出部の一部をエッチングする工程とを、有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
- 請求項1記載の圧電振動子の製造方法において、前記表面露出部の一部をエッチングする工程は、ウェットエッチング法を用いて、前記表面露出部の一部を除去し、前記圧電振動子の前記共振周波数を調整することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
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