JP5465992B2 - 水晶振動子、電子部品および水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明にかかる第1実施形態を、図1から図6を参照して説明する。図1は、第1実施形態にかかる水晶振動子1を複数一括して形成した状態を示す平面図であり、図2は図1のAA線における断面図、図3は図2の円Bを拡大した断面図、図4は図2の円Cを拡大した断面図、図5は水晶振動子1を支持部2から折り取った状態を示す断面図、図6は水晶振動子1をパッケージに実装した状態を示す平面図である。
(第2実施形態)
次に、本発明にかかる第2実施形態を、図8から図10を参照して説明する。第2実施形態においては、第1実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
2 支持部
3 枠部
4a 第1の溝
4b 第2の溝
5 駆動電極
6a 水晶振動子の第1の側面を構成する第1の傾斜面
6b 水晶振動子の第1の側面を構成する第2の傾斜面
7a 第1の溝4aを構成する支持部側の面
7b 第1の溝4aを構成する水晶片側の面
8a 第2の溝4bを構成する支持部側の面
8b 第2の溝4bを構成する水晶片側の面
9a 上面
9b 下面
10 水晶平板
11 水晶片形成用保護膜
12 支持部形成用保護膜
13 開口部
14 水晶片
21 パッケージ
22 実装電極
23 バンプ
101 従来の水晶振動子
102 支持部
103 枠部
104 溝
105 実装電極
106 パッケージ
107 導電性接着剤
108 パッケージ電極
Claims (11)
- 平面視略矩形である上面及び下面を有する平板状の水晶片と、前記上面及び前記下面に配置された導電性材料からなる駆動電極と、前記上面及び前記下面に設けられ、前記駆動電極に電気的に接続された実装電極と、
を備えた水晶振動子において、
前記上面又は前記下面の第1の短辺側の側面は、第1の傾斜面と第2の傾斜面とからなる切妻状に形成され、
前記第1の短辺と反対に位置する第2の短辺側の側面は、前記第1の短辺側の側面の少なくとも1つの傾斜面と略平行な傾斜面を有し、
前記駆動電極は、前記第2の短辺側に配置され、
前記第2の短辺側の側面は、前記駆動電極を配置する部分と異なる部分に第3の傾斜面と第4の傾斜面を有するとともに、前記駆動電極を配置する部分に前記第3の傾斜面及び前記第4の傾斜面と異なる面を有することを特徴とする水晶振動子。 - 前記第1の傾斜面は、前記上面となす角度が鈍角であり、
前記第2の傾斜面は、前記下面となす角度が鈍角であることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。 - 前記第3の傾斜面は、前記上面となす角度が鈍角であり、かつ前記第2の傾斜面と略平行に形成され、
前記第4の傾斜面は、前記下面となす角度が鈍角であり、かつ前記第1の傾斜面と略平行に形成されることを特徴とする請求項2に記載の水晶振動子。 - 前記第3の傾斜面と前記第4の傾斜面とが接続することを特徴とする請求項3に記載の水晶振動子。
- 前記第3の傾斜面の前記上面から前記第4の傾斜面までの長さと、前記第4の傾斜面の前記下面から前記第3の傾斜面までの長さと、が異なることを特徴とする請求項4に記載の水晶振動子。
- 請求項1から5のいずれか一つに記載の水晶振動子を用いた電子部品。
- 水晶平板の上面及び下面に開口部を有する保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記開口部に位置する前記水晶平板を除去し、平面視略矩形形状の水晶片と、前記水晶片の第2の短辺に接続する支持部と、前記支持部に接続する枠部と、を形成する工程と、前記第2の短辺と反対に位置する第1の短辺側の側面を第1の傾斜面と第2の傾斜面とからなる切妻状に形成する工程と、前記第2の短辺と前記支持部との境界に沿って、前記上面に形成された断面視略V字状の第1の溝と、前記下面に形成された断面視略V字状の第2の溝と、を形成する工程と、を備えた水晶片形成工程と、
前記上面及び前記下面に導電性材料からなる駆動電極を形成する電極形成工程と、
前記水晶片を前記支持部から分離する水晶片個片化工程と、
を備え、
前記水晶片形成工程において、前記第1の傾斜面及び前記第2の傾斜面の少なくとも一方が、前記第1の溝を構成する少なくとも1つの面と略平行に形成されることを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 前記水晶片形成工程は、前記水晶平板をフッ酸又はフッ化アンモニウムの少なくとも一方を含む水溶液に浸漬させ、前記水晶片と、前記支持部と、前記枠部と、前記第1の溝と、前記第2の溝と、を同時に形成することを特徴とする請求項7に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記水晶片形成工程において、前記第1の傾斜面及び前記第2の傾斜面の少なくとも一方が、前記第2の溝を構成する少なくとも1つの面と略平行に形成されることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記水晶片形成工程は、前記第1の溝を構成する1つの面と前記第2の溝を構成する1つの面とを略同一平面上に形成することを特徴とする請求項9に記載の水晶振動子の製造方法。
- 前記水晶片個片化工程は、前記水晶片を前記支持部から折り取った切り口と、前記第1の溝を構成する1つの面又は前記第2の溝を構成する1つの面と、を同一平面状に形成することを特徴とする請求項10に記載の水晶振動子の製造方法。
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