JP2011019213A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ATカットの水晶ウェハをエッチングして矩形状とした多数の水晶片3を支持部7によって枠部6に連結し、前記水晶片3を枠部6から機械的に切り取ってなる水晶振動子の製造方法において、前記水晶片3の+X軸となる一端部両側には少なくとも外側面が−X軸方向を頂点とした3角形状の傾斜面を有する平面視先細の突起10を有し、前記突起10の先端は+X軸方向として前記エッチングによる加工痕を有する製造方法とする。
【選択図】図2
Description
水晶振動子の中でも代表的なATカットは周波数帯を約2〜100MHz(基本波)とし、各種の電子機器に周波数源として内蔵される。近年では、フォトリソグラフィック及びエッチング(フォトエッチング)を用いた水晶ウェハからの水晶片の量産加工によって、生産性を高めることが求められている。
第6図乃至及び第8図は一従来例を説明する図であり、第6図はATカットとした水晶板(ATカット板あるいはAT板)の切断方位図、第7図は一部破断のマスクを設けた水晶ウェハの平面図、第8図は第7図の点線枠で示す枠付き水晶片の拡大図である。
しかしながら、上記構成(製造方法)による水晶振動子では、第9図に示したように、エッチングの異方性によって、水晶片3の一端部両側のそれぞれ反対面に斜対称となって、頂点を−X軸側とした三角形状の傾斜面P1、P2が形成される。なお、第9図は水晶片3の一端側から見た斜視図(第8図でのA−A断面方向の斜視図)である。
本発明はエッチングの異方性による傾斜面を小さくすると同時に角部での欠損を防止した水晶振動子(水晶片)の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の請求項2では、請求項1において、前記第1マスクの突出部は前記枠部に連結して前記支持部の幅よりも狭くする。これにより、水晶ウェハのエッチング時には支持部は枠部に連結した状態で、突出部が枠部から分離して各角部の先端側を頂点とした三角形状の傾斜面を形成しながらエッチングされる。したがって、水晶片のエッチング後では、水晶片(矩形状)の一端部両側の傾斜面は小さくなる。
上記実施形態では、枠部6に結合した第1及び第2突出部9(ab)とするマスク5によって水晶片3の一端側の両端部に突起10を形成したが、例えば第5図(a)に示したようにしてもよい。すなわち、第1及び第2突出部11(ab)は、枠部6とは連結することなく、予め枠部6から離間して単に突出したマスク5としてもよい。この場合でも、エッチング後に実施形態と同様に概ねで平面視3角形状とした突起10を得る。そして、水晶片3の一端部両側はマスク5の形状によっては平面視3角形状ではなく、単に3角形状の傾斜面を有する突起10とすることもできる。
Claims (6)
- 矩形状とした多数の水晶片及び支持部によって前記水晶片に連結して前記水晶片を取り囲む枠部に相当したマスクをATカットとした水晶ウェハの両主面に形成してエッチングし、多数の水晶片が支持部によって枠部に連結した水晶ウェハを得た後、前記水晶片を枠部から機械的に切り取ってなる水晶振動子の製造方法において、前記マスクは前記水晶片及び支持部を含む枠部とともに前記水晶片の+X軸となる一端側の両端部に+X軸方向に延出した突出部を有し、前記エッチングによって多数の水晶片が支持部によって枠部に連結した水晶ウェハを得るとともに、前記マスクに相当した水晶片の突出部は少なくとも前記エッチング後には前記枠部から離間し、一端部両側間で互いに反対面となる各角部の先端側を頂点として三角形状の傾斜面を形成しながらエッチングされたことを特徴とする水晶振動子の製造方法とする。
- 請求項1において、前記第1マスクの突出部は前記枠部に連結して前記支持部の幅よりも狭くした水晶振動子の製造方法。
- 請求項1において、前記第1マスクの突出部は前記枠部から予め離間する。この場合でも、突出部の設けられた一端部両側の各角部の先端側を頂点とした三角形状の傾斜面を形成しながらエッチングされた水晶振動子の製造方法。
- 請求項1において、前記水晶片の+X軸となる一端部両側には前記突出部がエッチングされて各角部を頂点とした3角形状の傾斜面を有する平面視先細の突起を残存させた水晶振動子の製造方法。
- 請求項1において、前記水晶片の+X軸となる一端部両側の前記突出部はエッチングされて前記各角部を頂点とした3角形状の傾斜面は前記水晶片の矩形状領域内に形成された水晶振動子の製造方法。
- 請求項1において、前記水晶片は+X軸となる一端部の中央部が前記枠部に連結した水晶振動子の製造方法。
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