JP2007129513A - 圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス - Google Patents
圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】圧電ウエハのエッチング加工方法は、圧電ウエハの一方の面12および他方の面14に開口部16を有するマスク18を形成し、前記開口部16をエッチングして貫通溝を形成するものである。そして前記一方の面12に形成され前記開口部16に隣接する前記マスク18におけるZ’軸方向の端部を、前記他方の面14に形成され前記開口部16に隣接する前記マスク18におけるZ’軸方向の端部に対して、前記圧電ウエハの+Z’方向に前記圧電ウエハの板厚の50±10%ずらしている。
【選択図】図2
Description
また本発明は、このエッチング加工方法によって得られた圧電基板を利用する圧電デバイスを提供することを目的とする。
Claims (7)
- 圧電ウエハの一方の面および他方の面に開口部を有するマスクを形成し、前記開口部をエッチングして貫通溝を形成する圧電ウエハのエッチング加工方法において、
前記一方の面に形成された前記マスクにおける前記開口部に隣接するZ’軸方向の端部を、前記他方の面に形成された前記マスクにおける前記開口部に隣接するZ’軸方向の端部に対して、前記圧電ウエハの+Z’方向に前記圧電ウエハの板厚の50±10%ずらした、
ことを特徴とする圧電ウエハのエッチング加工方法。 - 前記一方の面に形成された前記マスクにおける前記開口部に隣接するX軸方向の前記端部を、前記他方の面に形成された前記マスクにおける前記開口部に隣接するX軸方向の前記端部に対して、前記圧電ウエハの+X方向に前記圧電ウエハの前記板厚の10±5%ずらしたことを特徴とする請求項1に記載の圧電ウエハのエッチング加工方法。
- 前記一方の面は、前記他方の面よりも+Y’方向にあることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電ウエハのエッチング加工方法。
- 前記マスクの前記開口部は、前記圧電ウエハの前記板厚に対して1.5倍以上の幅を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電ウエハのエッチング加工方法。
- 前記圧電ウエハは、ATカット水晶であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の圧電ウエハのエッチング加工方法。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載の圧電ウエハのエッチング加工方法を用いて前記圧電ウエハをチップ化し、このチップ化した圧電基板に電極パターンを設けたことを特徴とする圧電デバイス。
- 前記電極パターンが形成された前記圧電基板をパッケージに搭載したことを特徴とする請求項6に記載の圧電デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005320454A JP4825952B2 (ja) | 2005-11-04 | 2005-11-04 | 圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005320454A JP4825952B2 (ja) | 2005-11-04 | 2005-11-04 | 圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011055149A Division JP2011135614A (ja) | 2011-03-14 | 2011-03-14 | 圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007129513A true JP2007129513A (ja) | 2007-05-24 |
JP4825952B2 JP4825952B2 (ja) | 2011-11-30 |
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ID=38151805
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005320454A Expired - Fee Related JP4825952B2 (ja) | 2005-11-04 | 2005-11-04 | 圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4825952B2 (ja) |
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- 2005-11-04 JP JP2005320454A patent/JP4825952B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP4825952B2 (ja) | 2011-11-30 |
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