JPH04334108A - 水晶振動片用マスク - Google Patents
水晶振動片用マスクInfo
- Publication number
- JPH04334108A JPH04334108A JP10424391A JP10424391A JPH04334108A JP H04334108 A JPH04334108 A JP H04334108A JP 10424391 A JP10424391 A JP 10424391A JP 10424391 A JP10424391 A JP 10424391A JP H04334108 A JPH04334108 A JP H04334108A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal vibrating
- vibrating piece
- mask
- vibration piece
- cut crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＡＴカット水晶振動片
の製造方法に関し、特にマスクの改良に関するものであ
る。
の製造方法に関し、特にマスクの改良に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図３に、従来の水晶振動片用マスクの全
体図を示す。図４に、この水晶振動片用マスクの一部を
示す。水晶振動片の形状形成方法は、金属膜を形成させ
たウェハーに写真技術を利用し、フォトレジストを耐食
膜として金属膜を除去し、その後、露出した水晶部分を
エッチングにより除去するというものであった。
体図を示す。図４に、この水晶振動片用マスクの一部を
示す。水晶振動片の形状形成方法は、金属膜を形成させ
たウェハーに写真技術を利用し、フォトレジストを耐食
膜として金属膜を除去し、その後、露出した水晶部分を
エッチングにより除去するというものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図５は、従来の水晶振
動片用マスクを用いて製造したＡＴカット水晶振動片の
形状図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は上部端面形状
図である。前述の従来技術ではＡＴカット水晶振動片５
の先端部にエッチング液によるクワレ６，６’が発生し
、上部端面が平行四辺形になるため、スプリアスが発生
し、振動特性が悪くなるという問題点があった。
動片用マスクを用いて製造したＡＴカット水晶振動片の
形状図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は上部端面形状
図である。前述の従来技術ではＡＴカット水晶振動片５
の先端部にエッチング液によるクワレ６，６’が発生し
、上部端面が平行四辺形になるため、スプリアスが発生
し、振動特性が悪くなるという問題点があった。
【０００４】本発明は、この様な問題点を解決するもの
で、その目的とするところは、水晶振動片の形状形成時
にＡＴカット水晶振動片の先端部に発生するエッチング
液によるクワレを防止するための水晶振動片用マスクを
提供することにある。
で、その目的とするところは、水晶振動片の形状形成時
にＡＴカット水晶振動片の先端部に発生するエッチング
液によるクワレを防止するための水晶振動片用マスクを
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の水晶振動片用マ
スクは、振動片パターンの先端部から対向するフレーム
に接続する支持部のパターンが設けられたことを特徴と
する。
スクは、振動片パターンの先端部から対向するフレーム
に接続する支持部のパターンが設けられたことを特徴と
する。
【０００６】
【実施例】以下、本発明について実施例に基づき詳細に
説明する。
説明する。
【０００７】図１は、本発明の水晶振動片用マスクの一
部であり、ＡＴカット水晶振動片１の先端部の両端から
フレーム２に対し支持部３，３’が設けられている。な
お、ＡＴカット水晶振動片のサイドの延長線上と支持部
のエッヂが一致している。
部であり、ＡＴカット水晶振動片１の先端部の両端から
フレーム２に対し支持部３，３’が設けられている。な
お、ＡＴカット水晶振動片のサイドの延長線上と支持部
のエッヂが一致している。
【０００８】次に、このマスクを用いたＡＴカット水晶
振動片の製造工程であるが、所定の角度で切り出された
ウェハーを所定の厚さまで研磨後、水晶ウェハーに蒸着
あるいはスパッタ技術により金属膜を形成する。
振動片の製造工程であるが、所定の角度で切り出された
ウェハーを所定の厚さまで研磨後、水晶ウェハーに蒸着
あるいはスパッタ技術により金属膜を形成する。
【０００９】金属膜の形状形成は写真技術を利用し、ま
ず金属膜のついた水晶ウェハーの表面にフォトレジスト
を塗布する。次に、水晶振動片の形状を白・黒のパター
ンで形成した図１のフォトマスクを用い、フォトレジス
トを感光する。フォトレジストを現像し、残ったフォト
レジストを耐食膜として金属膜を除去する。
ず金属膜のついた水晶ウェハーの表面にフォトレジスト
を塗布する。次に、水晶振動片の形状を白・黒のパター
ンで形成した図１のフォトマスクを用い、フォトレジス
トを感光する。フォトレジストを現像し、残ったフォト
レジストを耐食膜として金属膜を除去する。
【００１０】水晶振動片の形状形成は、水晶ウェハー上
に残ったフォトレジストを耐食膜として露出した水晶部
分をエッチングにより除去する。エッチング液としては
、フッ酸とフッ化アンモニウムの混合液が使用される。
に残ったフォトレジストを耐食膜として露出した水晶部
分をエッチングにより除去する。エッチング液としては
、フッ酸とフッ化アンモニウムの混合液が使用される。
【００１１】図２は、本発明の実施例における以上の工
程により製造されたＡＴカット水晶振動片１の形状図で
あり、（ａ）は平面図、（ｂ）は上部端面形状図である
。本発明では、ＡＴカット水晶振動片の先端にエッチン
グ液によるクワレが発生せず、長方形のＡＴカット水晶
振動片の製造が可能になった。
程により製造されたＡＴカット水晶振動片１の形状図で
あり、（ａ）は平面図、（ｂ）は上部端面形状図である
。本発明では、ＡＴカット水晶振動片の先端にエッチン
グ液によるクワレが発生せず、長方形のＡＴカット水晶
振動片の製造が可能になった。
【００１２】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、マス
クのＡＴカット水晶振動片の先端部に支持部をつけたこ
とにより、支持部の耐食膜がＡＴカット水晶振動片の先
端部の保護膜として作用し、先端部に発生するエッチン
グ液によるクワレが防止でき、スプリアスが発生せず、
振動特性が良いＡＴカット水晶振動片が得られるという
効果を有する。
クのＡＴカット水晶振動片の先端部に支持部をつけたこ
とにより、支持部の耐食膜がＡＴカット水晶振動片の先
端部の保護膜として作用し、先端部に発生するエッチン
グ液によるクワレが防止でき、スプリアスが発生せず、
振動特性が良いＡＴカット水晶振動片が得られるという
効果を有する。
【図１】本発明の水晶振動片用マスクの一部を示す図。
【図２】本発明の実施例におけるＡＴカット水晶振動片
の形状図。（ａ）は平面図、（ｂ）は上部端面形状図。
の形状図。（ａ）は平面図、（ｂ）は上部端面形状図。
【図３】従来の水晶振動片用マスクの全体図。
【図４】従来の水晶振動片用マスクの一部を示す図。
【図５】従来の水晶振動片用マスクを用いて製造したＡ
Ｔカット水晶振動片の形状図。（ａ）は平面図、（ｂ）
は上部端面形状図。
Ｔカット水晶振動片の形状図。（ａ）は平面図、（ｂ）
は上部端面形状図。
１，５ ＡＴカット水晶振動片
２ フレーム
３，３’ 支持部
６，６’ クワレ
Claims (1)
- 【請求項１】振動片パターンの先端部から対向するフレ
ームに接続する支持部のパターンが設けられたことを特
徴とする水晶振動片用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10424391A JPH04334108A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 水晶振動片用マスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10424391A JPH04334108A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 水晶振動片用マスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04334108A true JPH04334108A (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=14375513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10424391A Pending JPH04334108A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 水晶振動片用マスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04334108A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011019213A (ja) * | 2009-06-12 | 2011-01-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の製造方法 |
| JP2013027009A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片の製造方法及び圧電振動片 |
| JP2021072588A (ja) * | 2019-11-01 | 2021-05-06 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-05-09 JP JP10424391A patent/JPH04334108A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011019213A (ja) * | 2009-06-12 | 2011-01-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の製造方法 |
| JP2013027009A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片の製造方法及び圧電振動片 |
| JP2021072588A (ja) * | 2019-11-01 | 2021-05-06 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及びその製造方法 |
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