JPH04130810A - Ａｔカット水晶振動片の製造方法 - Google Patents
Ａｔカット水晶振動片の製造方法Info
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- JPH04130810A JPH04130810A JP25226190A JP25226190A JPH04130810A JP H04130810 A JPH04130810 A JP H04130810A JP 25226190 A JP25226190 A JP 25226190A JP 25226190 A JP25226190 A JP 25226190A JP H04130810 A JPH04130810 A JP H04130810A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＡＴカット水晶振動片の製造方法に関する。
従来のＡＴ力、ト水晶振動片の製造方法は以下のようで
あった。
あった。
１）水晶原石を所定のカット角で切り出し、かつ所定の
厚みに研摩して水晶ウェハーを形成する工程。
厚みに研摩して水晶ウェハーを形成する工程。
１１）水晶ウェハーを水晶振動片の長さに切断する工程
。
。
ｍ ）水晶ウェハーを水晶振動片の巾寸法に切断する工
程。
程。
ｉｖ ）切断された振動片に金属膜からなる電極膜を形
成する工程。
成する工程。
しかし、前述の従来技術では、以下の課題な有する。
■ 水晶振動片の形成に切断という方法を用いるため、
切断面に加工傷が発生する。これを除去するため、微細
な砥粒（研摩剤）を用いた研摩が必要となる。長さ方向
、巾方向とも行うため、加工が煩雑である。
切断面に加工傷が発生する。これを除去するため、微細
な砥粒（研摩剤）を用いた研摩が必要となる。長さ方向
、巾方向とも行うため、加工が煩雑である。
■ 切断後は、振動片が個別となるため、電極膜形成は
個別対応となる。作業が極めて煩雑である。
個別対応となる。作業が極めて煩雑である。
そこで本発明はこのような課題を解決するもので、その
目的とするところは、水晶振動片の外形加工を、容易に
するところにある。また、水晶振動片の電極膜形成を、
容易にするところにある。
目的とするところは、水晶振動片の外形加工を、容易に
するところにある。また、水晶振動片の電極膜形成を、
容易にするところにある。
本発明のＡＴ力、ト水晶振動片の製造方法は、水晶原石
を所定のカット角で切シ出し、かつ所定の厚みに研摩し
て水晶ウエノ１−を形成する工程と、上記水晶ウエノ・
−の表裏に金属膜を形成する工程と、金属膜をおおよそ
水晶振動片の外形形状を残して、除去する工程と、水晶
をおおよそ金属膜が残っている形状を残して、除去する
工程と、残った金属膜を所定の形状を残して除去する工
程とからなることを特徴とする。
を所定のカット角で切シ出し、かつ所定の厚みに研摩し
て水晶ウエノ１−を形成する工程と、上記水晶ウエノ・
−の表裏に金属膜を形成する工程と、金属膜をおおよそ
水晶振動片の外形形状を残して、除去する工程と、水晶
をおおよそ金属膜が残っている形状を残して、除去する
工程と、残った金属膜を所定の形状を残して除去する工
程とからなることを特徴とする。
第１図は本発明の実施例における工程概念図であって、
第１図（α）は原石加工工程、第１図（ｈ）、（！Ｉ）
は、水晶ウェハー加工工程、第１図Ｃｅ）、（Ａ）は、
金属膜形成工程、第１図（ｄ）、（ｓ）は、金属膜形状
形成工程、第１図（ｅ）、（））は、水晶振動片形状形
成工程、第１図（１） 、 （＆）は、電極膜形状形成
工程である。
第１図（α）は原石加工工程、第１図（ｈ）、（！Ｉ）
は、水晶ウェハー加工工程、第１図Ｃｅ）、（Ａ）は、
金属膜形成工程、第１図（ｄ）、（ｓ）は、金属膜形状
形成工程、第１図（ｅ）、（））は、水晶振動片形状形
成工程、第１図（１） 、 （＆）は、電極膜形状形成
工程である。
第１図において、左図は平面図、右図は断面図である。
また、１は水晶原石、２は水晶ウエノ１−５は金属膜、
４は水晶振動片、５は電極膜である工程別に詳細な説明
を行う。
４は水晶振動片、５は電極膜である工程別に詳細な説明
を行う。
原石加工工程（α）では、水晶原石１を所定の角度でウ
ェハー状態に切り出す。通常パンドリーという機械が用
いられる。水晶ウェハー加工工程（ｈ）、（ｙ）では、
ウエノ・−状態となった水晶を所定の厚みに研摩する。
ェハー状態に切り出す。通常パンドリーという機械が用
いられる。水晶ウェハー加工工程（ｈ）、（ｙ）では、
ウエノ・−状態となった水晶を所定の厚みに研摩する。
金属膜形成工程（Ｃ）、（ｈ）では、水晶ウェハーに蒸
着あるいは、スパッタ技術により金属膜を形成する。金
属としては、クロムをベースに付は次に金あるいは銀と
いった金属が用いられる。
着あるいは、スパッタ技術により金属膜を形成する。金
属としては、クロムをベースに付は次に金あるいは銀と
いった金属が用いられる。
金属膜形状形成工程（’ ） ｅ （ｓ ）は、写真技
術を利用して行なう。まず、金属膜のついた水晶ウェハ
ーの表面にフォトレジストを塗布する。次に、水晶振動
片の形状を、白、黒のパターンで形成したフォトマスク
により、フォトレジストを感光する。次に、フォトレジ
ストを現像し、残ったフォトレジストを耐食膜として、
金属膜を除去する。
術を利用して行なう。まず、金属膜のついた水晶ウェハ
ーの表面にフォトレジストを塗布する。次に、水晶振動
片の形状を、白、黒のパターンで形成したフォトマスク
により、フォトレジストを感光する。次に、フォトレジ
ストを現像し、残ったフォトレジストを耐食膜として、
金属膜を除去する。
水晶振動片形状形成工程（ａ）、Ｃ））では、金属膜形
状形成工程（ｃｌ、ｌ）で、できた金属膜３を耐食膜と
して露出した部分の水晶をエツチングにより除去する。
状形成工程（ｃｌ、ｌ）で、できた金属膜３を耐食膜と
して露出した部分の水晶をエツチングにより除去する。
エツチング液としてはフッ酸とフッ化アンモニウムの混
合液を使用する。
合液を使用する。
電極膜形状形成工程（１）、Ｃｋ）では、金属膜形状形
成工程Ｃｄ）、Ｃｓ）で行った同様の写真技術により、
水晶振動片４に電界をかけるための電極膜５を形成する
。同時に外部端子への引き出し導通用電極も形成する。
成工程Ｃｄ）、Ｃｓ）で行った同様の写真技術により、
水晶振動片４に電界をかけるための電極膜５を形成する
。同時に外部端子への引き出し導通用電極も形成する。
水晶振動片４は、１水晶ウエノ・−内に多数個、同時に
形成することができる。また水晶振動片４は、タイバー
６と呼ばれる接続部により、つながっており、水晶振動
片４を形成したあとも、１ウエハーとして接続した状態
にある。外部端子に接続する時に、タイバー６部分を折
取って初めて個別の水晶振動片として使用する。
形成することができる。また水晶振動片４は、タイバー
６と呼ばれる接続部により、つながっており、水晶振動
片４を形成したあとも、１ウエハーとして接続した状態
にある。外部端子に接続する時に、タイバー６部分を折
取って初めて個別の水晶振動片として使用する。
第１図においては、矩形状ＡＴ振動子を示しているが、
形状は、丸形等でもよ（、本発明は、形状に関係な（使
用できる。
形状は、丸形等でもよ（、本発明は、形状に関係な（使
用できる。
本発明は、フォトリソグラフィー技術とエツチング技術
を用いて、水晶振動子を製造する方法であるが、この技
術はすでに、時計用音叉形水晶振動子で実施されている
。本発明はこの技術をＡＴ力、ト水晶振動子に応用して
、時計用音叉形水晶振動子と異なった格別の効果を出す
ことができる時計用音叉形水晶振動子では、Ｃ１値を確
保するために、表裏主平面の電極以外に、腕部に側面電
極が必要不可欠である。しかしながらＡＴカット水晶振
動子では、側面電極はそれほど大きな役割を果たさない
。実際、現在製造されているＡＴカット水晶振動子に側
面電極はない。これは、時計用音叉形水晶振動子の振動
形態が屈曲振動であるのに対して、ＡＴカット水晶振動
子では、厚みすべり振動であることによる。
を用いて、水晶振動子を製造する方法であるが、この技
術はすでに、時計用音叉形水晶振動子で実施されている
。本発明はこの技術をＡＴ力、ト水晶振動子に応用して
、時計用音叉形水晶振動子と異なった格別の効果を出す
ことができる時計用音叉形水晶振動子では、Ｃ１値を確
保するために、表裏主平面の電極以外に、腕部に側面電
極が必要不可欠である。しかしながらＡＴカット水晶振
動子では、側面電極はそれほど大きな役割を果たさない
。実際、現在製造されているＡＴカット水晶振動子に側
面電極はない。これは、時計用音叉形水晶振動子の振動
形態が屈曲振動であるのに対して、ＡＴカット水晶振動
子では、厚みすべり振動であることによる。
時計用音叉形水晶振動子では、側面電極を形成するため
に、水晶振動片の外形を形成したあとにスパッタ技術に
より側面に金属膜を形成する必要がある。
に、水晶振動片の外形を形成したあとにスパッタ技術に
より側面に金属膜を形成する必要がある。
本発明のＡＴ力、ト水晶振動子の製造方法は、側面電極
用のスパッタは必要な（、非常に簡略な工程でＡＴカッ
ト水晶振動子を製造できるところに特頒をもつ。
用のスパッタは必要な（、非常に簡略な工程でＡＴカッ
ト水晶振動子を製造できるところに特頒をもつ。
以上述べたように本発明によれば以下の効果を有する。
■ 水晶振動片の形状を、写真技術を利用して形成する
ため、水晶ウエノ・−一位で、作業を進めることができ
、煩雑な作業を必要としない。
ため、水晶ウエノ・−一位で、作業を進めることができ
、煩雑な作業を必要としない。
■ 水晶振動片を形成した金属膜をそのまま電極膜とし
て形成するため、作業工程が短く、容易に水晶振動片を
製造することができる。
て形成するため、作業工程が短く、容易に水晶振動片を
製造することができる。
さらに、水晶ウェハー状態で電極膜形成ができるため、
取り扱いがすこぶる簡略である。
取り扱いがすこぶる簡略である。
第１図は本発明のＡＴカット水晶振動片の製造方法の一
実施例を示す工程概念図で、 第１図（α）は原石加工工程、 第１図（ｂ）、（！Ｉ）は水晶ウエノ・−加工工程第１
図ＣＣ）、（Ａ）は金属膜形成工程、第１図（ｄ）、（
ｓ）は金属膜形状形成工程、）は水晶振動片形状形成工 図（１）、Ｃｋ）は電極膜形状形成工程。 ・・・・・・・・・水晶原石 ・・・・・・・・・水晶ウェハー ・・・・・・・・・金属膜 ・・・・・・・・・水晶振動片 ・・・・・・・・・電極膜 ・・・・・・・・・タイバー
実施例を示す工程概念図で、 第１図（α）は原石加工工程、 第１図（ｂ）、（！Ｉ）は水晶ウエノ・−加工工程第１
図ＣＣ）、（Ａ）は金属膜形成工程、第１図（ｄ）、（
ｓ）は金属膜形状形成工程、）は水晶振動片形状形成工 図（１）、Ｃｋ）は電極膜形状形成工程。 ・・・・・・・・・水晶原石 ・・・・・・・・・水晶ウェハー ・・・・・・・・・金属膜 ・・・・・・・・・水晶振動片 ・・・・・・・・・電極膜 ・・・・・・・・・タイバー
Claims (1)
- （１）ａ）少くとも水晶原石を所定のカット角で切り出
し、かつ所定の厚みに研摩して水晶ウエハーを形成する
工程と、 ｂ）上記水晶ウエハーの表面に金属膜を形成する工程と
、 ｃ）金属膜をおおよそ水晶振動片の外形形状を残して、
除去する工程と、 ｄ）水晶をおおよそ金属膜が残っている形状を残して、
除去する工程と、 ｅ）残った金属膜を所定の形状を残して除去する工程と
からなることを特徴とするＡＴカット水晶振動片の製造
方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25226190A JPH04130810A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Ａｔカット水晶振動片の製造方法 |
| EP91303877A EP0459631B1 (en) | 1990-04-27 | 1991-04-29 | AT-cut crystal oscillating element and method of making the same |
| DE69129957T DE69129957T2 (de) | 1990-04-27 | 1991-04-29 | In AT-Richtung geschnittenes Kristalloszillatorelement und sein Herstellungsverfahren |
| US07/860,667 US5376861A (en) | 1990-04-27 | 1992-03-30 | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| US07/901,287 US5304459A (en) | 1990-04-27 | 1992-06-19 | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| US07/901,293 US5314577A (en) | 1990-04-26 | 1992-06-19 | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25226190A JPH04130810A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Ａｔカット水晶振動片の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04130810A true JPH04130810A (ja) | 1992-05-01 |
Family
ID=17234773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25226190A Pending JPH04130810A (ja) | 1990-04-26 | 1990-09-21 | Ａｔカット水晶振動片の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04130810A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020074436A (ko) * | 2002-08-27 | 2002-09-30 | (주)빛샘정보통신 | 수정진동자 제조방법 |
| KR20030075258A (ko) * | 2002-03-18 | 2003-09-26 | 케이큐티 주식회사 | 고주파 기본파 수정진동자 및 그 제조방법 |
| JP2006186847A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Epson Toyocom Corp | 水晶片集合体とその製造方法、フォトマスク、及び水晶振動子 |
| JP2007325250A (ja) * | 2006-05-01 | 2007-12-13 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子およびその製造方法 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP25226190A patent/JPH04130810A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030075258A (ko) * | 2002-03-18 | 2003-09-26 | 케이큐티 주식회사 | 고주파 기본파 수정진동자 및 그 제조방법 |
| KR20020074436A (ko) * | 2002-08-27 | 2002-09-30 | (주)빛샘정보통신 | 수정진동자 제조방법 |
| JP2006186847A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Epson Toyocom Corp | 水晶片集合体とその製造方法、フォトマスク、及び水晶振動子 |
| JP4729924B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-07-20 | エプソントヨコム株式会社 | Ａｔカット水晶片集合体の製造方法 |
| JP2007325250A (ja) * | 2006-05-01 | 2007-12-13 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子およびその製造方法 |
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