JPH08162874A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPH08162874A JPH08162874A JP32150794A JP32150794A JPH08162874A JP H08162874 A JPH08162874 A JP H08162874A JP 32150794 A JP32150794 A JP 32150794A JP 32150794 A JP32150794 A JP 32150794A JP H08162874 A JPH08162874 A JP H08162874A
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- JP
- Japan
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- etching
- electrode
- crystal
- resist
- electrodes
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄い水晶板の厚み方向に分離した電極を容易
に形成することを目的としている。 【構成】 厚み方向に極性の異なる電極を形成するエッ
チングの深さが水晶板の厚み方向に数十ミクロン〜数百
ミクロン残す様にし、更にエッチングにて分離する方法
を用いることで目的を達成した。
に形成することを目的としている。 【構成】 厚み方向に極性の異なる電極を形成するエッ
チングの深さが水晶板の厚み方向に数十ミクロン〜数百
ミクロン残す様にし、更にエッチングにて分離する方法
を用いることで目的を達成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】エッチング法で成形する水晶振動
子の製造方法に関する。
子の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、複数個の水晶振動子を同時に
製造にするため、フオトエッチング法による製造方法が
広く利用されている。図８に従来からの音叉型水晶振動
子の音叉部の断面図を示す。音叉部の側面、即ちエツチ
ング加工で製作すると励振部のエッチング面に、厚み方
向に対して分割された電極を形成し，それを図８のよう
に対向する面に互いに極性の異なる励振電極になる様に
結線し励振する必要がある。水晶振動子の厚みが厚い場
合は、側面前面に電極膜を形成し、その後不要部分を機
械的または化学的に剥離して、必要な電極を作製でき
た。また、励振電極以外にも、基部の引きまわし電極部
においても極性の異なる電極を、側面に形成する必要が
ある。
製造にするため、フオトエッチング法による製造方法が
広く利用されている。図８に従来からの音叉型水晶振動
子の音叉部の断面図を示す。音叉部の側面、即ちエツチ
ング加工で製作すると励振部のエッチング面に、厚み方
向に対して分割された電極を形成し，それを図８のよう
に対向する面に互いに極性の異なる励振電極になる様に
結線し励振する必要がある。水晶振動子の厚みが厚い場
合は、側面前面に電極膜を形成し、その後不要部分を機
械的または化学的に剥離して、必要な電極を作製でき
た。また、励振電極以外にも、基部の引きまわし電極部
においても極性の異なる電極を、側面に形成する必要が
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の方法では、
振動子が小型化されるに伴い厚みが薄くなり、従来技術
の機械的又は化学的に電極の不要部分を剥離する方法で
は電極の形成が不可能なので、厚み方向に極性の異なる
電極を形成するエッチングの深さが水晶板の厚みの１／
５より少なく残し、エッチング面に電極を形成し、その
後エッチングの残りの部分を折り取ることにより、厚み
方向に分離された極性の異なる電極を形成しているが、
エッチングの残りの部分を折り取ることにより励振部の
破損が多いと言う課題があった。
振動子が小型化されるに伴い厚みが薄くなり、従来技術
の機械的又は化学的に電極の不要部分を剥離する方法で
は電極の形成が不可能なので、厚み方向に極性の異なる
電極を形成するエッチングの深さが水晶板の厚みの１／
５より少なく残し、エッチング面に電極を形成し、その
後エッチングの残りの部分を折り取ることにより、厚み
方向に分離された極性の異なる電極を形成しているが、
エッチングの残りの部分を折り取ることにより励振部の
破損が多いと言う課題があった。
【０００４】
【課題を解決する手段】課題を解決するために、前記の
厚み方向に極性の異なる電極を形成するエッチングの深
さが、エッチングの残りの厚みで、数十ミクロン〜数百
ミクロンとし、更に機械的に折り取るのをエッチングに
て分離する方法を用いることで課題を解決した。
厚み方向に極性の異なる電極を形成するエッチングの深
さが、エッチングの残りの厚みで、数十ミクロン〜数百
ミクロンとし、更に機械的に折り取るのをエッチングに
て分離する方法を用いることで課題を解決した。
【０００５】
（実施例１）水晶板から水晶振動子の外形を成形するた
めには、エッチング液に融解しないレジスト膜をエッチ
ングされない部分に形成しておき、エッチングを施す。
まず、水晶板にＣｒ（クロム）及びＡｕ（金）を蒸着
し、さらにレジストを塗布する。マスキングして水晶振
動子の外形に合わせて露光し、不要部分のレジストを除
去し、エッチングの残り部分が形成される。図２に、こ
の様にして出来た水晶振動子の励振部の断面図を示す。
励振部の側面を厚み方向に厚み方向にエッチングを行
い、中央の残す厚みが数十ミクロン〜数百ミクロンの間
になるように、両面からエッチングしてエッチングの残
り部分４を形成する。次に図３に示す様に、レジスト膜
を除去する。ここまでは、従来と同じである。また図４
に示す様に、エッチングの残りの部分にのみレジスト膜
を形成する。形成の方法の一例は、全体にレジスト膜を
形成し、残す部分のみ露光出来るマスクを介してレジス
ト膜を露光硬化させて、未硬化部分を剥離することで形
成できる。さらに図５に示す様に、全体にＣｒ（クロ
ム）とＡｕ（金）を蒸着等の手段で金属膜を形成する。
図６に示す様に、図４で形成したレジスト膜を剥離す
る。この状態で再度エッチングを実行すると、エッチン
グの残り部分を除去できる。図７に示す様に、この状態
では水晶片の厚み方向に分離された電極がほぼ全面に形
成されているので必要に応じて不必要な部分を剥離する
ことにより、水晶片の側面に厚み方向に分離された電極
を具備した薄型の水晶振動子が得られる。
めには、エッチング液に融解しないレジスト膜をエッチ
ングされない部分に形成しておき、エッチングを施す。
まず、水晶板にＣｒ（クロム）及びＡｕ（金）を蒸着
し、さらにレジストを塗布する。マスキングして水晶振
動子の外形に合わせて露光し、不要部分のレジストを除
去し、エッチングの残り部分が形成される。図２に、こ
の様にして出来た水晶振動子の励振部の断面図を示す。
励振部の側面を厚み方向に厚み方向にエッチングを行
い、中央の残す厚みが数十ミクロン〜数百ミクロンの間
になるように、両面からエッチングしてエッチングの残
り部分４を形成する。次に図３に示す様に、レジスト膜
を除去する。ここまでは、従来と同じである。また図４
に示す様に、エッチングの残りの部分にのみレジスト膜
を形成する。形成の方法の一例は、全体にレジスト膜を
形成し、残す部分のみ露光出来るマスクを介してレジス
ト膜を露光硬化させて、未硬化部分を剥離することで形
成できる。さらに図５に示す様に、全体にＣｒ（クロ
ム）とＡｕ（金）を蒸着等の手段で金属膜を形成する。
図６に示す様に、図４で形成したレジスト膜を剥離す
る。この状態で再度エッチングを実行すると、エッチン
グの残り部分を除去できる。図７に示す様に、この状態
では水晶片の厚み方向に分離された電極がほぼ全面に形
成されているので必要に応じて不必要な部分を剥離する
ことにより、水晶片の側面に厚み方向に分離された電極
を具備した薄型の水晶振動子が得られる。
【０００６】（実施例２）図１に本発明の他の実施例の
断面図を示す。図１のように上面下面（水晶板の主面）
に励振電極が不要な場合には、図には示さないが、まず
図７の工程後、励振部周辺にレジストを塗布しマスキン
グにより上面下面の部分を露光して硬化させ、露光しな
い部分のレジスト膜を除去しエッチングを施して、上面
下面の電極を除去し、さらにレジスト膜を除去すると図
１の電極ができる。
断面図を示す。図１のように上面下面（水晶板の主面）
に励振電極が不要な場合には、図には示さないが、まず
図７の工程後、励振部周辺にレジストを塗布しマスキン
グにより上面下面の部分を露光して硬化させ、露光しな
い部分のレジスト膜を除去しエッチングを施して、上面
下面の電極を除去し、さらにレジスト膜を除去すると図
１の電極ができる。
【０００７】（実施例３）図９にもう一つの他の実施例
の断面図を示す。図７の工程後励振部の周辺にレジスト
を施し、マスキングをして露光し除去すべきレジスト膜
を除きエッチング液で不要な電極部分を除去し、その後
レジスト膜を除き、図９の電極が形成できる。そして一
体成形されている各振動子を各々切断して水晶振動子が
出来る。なお、本実施例において、励振部分の電極を形
成する手段を示したが、励振部だけでなく他の部分の電
極で側面に電極を形成する際、極性の異なる電極を分離
するのに役立てることができる。さらに、音叉形振動子
の例を挙げたが、他の形状の水晶振動子であっても有効
である。
の断面図を示す。図７の工程後励振部の周辺にレジスト
を施し、マスキングをして露光し除去すべきレジスト膜
を除きエッチング液で不要な電極部分を除去し、その後
レジスト膜を除き、図９の電極が形成できる。そして一
体成形されている各振動子を各々切断して水晶振動子が
出来る。なお、本実施例において、励振部分の電極を形
成する手段を示したが、励振部だけでなく他の部分の電
極で側面に電極を形成する際、極性の異なる電極を分離
するのに役立てることができる。さらに、音叉形振動子
の例を挙げたが、他の形状の水晶振動子であっても有効
である。
【０００８】
【発明の効果】本発明により、水晶振動子が小型化、薄
型になっても、薄い水晶振動子の励振部等の側面に、厚
み方向に分割された電極が容易に形成出来るので、水晶
振動子の小型化、薄型化が容易になり製造工程での破損
が著しく減少したのでローコスト化が可能になった。
型になっても、薄い水晶振動子の励振部等の側面に、厚
み方向に分割された電極が容易に形成出来るので、水晶
振動子の小型化、薄型化が容易になり製造工程での破損
が著しく減少したのでローコスト化が可能になった。
【図１】図１は、本発明による電極を有する実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】図２は、本発明の両面からエッチングして、厚
み方向の中央の部分を残している状態の実施例を示す断
面図である。
み方向の中央の部分を残している状態の実施例を示す断
面図である。
【図３】図３は、図２のレジスト膜を剥離した状態の実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図４】図４は、本発明のエッチング溝にレジスト膜を
形成した状態の実施例を示す断面図である。
形成した状態の実施例を示す断面図である。
【図５】図５は、本発明の図５にＣｒ、Ａｕの電極を全
面に施した状態の実施例を示す断面図である。
面に施した状態の実施例を示す断面図である。
【図６】図６は、図４で形成したレジスト膜を剥離した
状態を示す断面図である。
状態を示す断面図である。
【図７】図７は、本発明の図６をエツチング溝の残りを
エッチングにより抜き切った状態を示す実施例の断面図
である。
エッチングにより抜き切った状態を示す実施例の断面図
である。
【図８】図８は、従来技術を示す断面図及び励振電極の
接続図である。
接続図である。
【図９】図９は、本発明による電極を有する他の実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１ 水晶 ２ 励振電極膜 ３ レジスト膜 ４ エッチングの残り部分
Claims (3)
- 【請求項１】 エッチング法で外形を形成する水晶振動
子の水晶板面の厚み方向のエッチング側面に、互いに極
性の異なる電極が配置される水晶振動子の製造方法にお
いて、 該水晶板の厚み方向にエッチングの残り部分を形成する
エッチング工程と、該水晶板の側面部に側面電極を形成
する工程と、該エッチングの残り部分にレジストを施
し、電極を形成する工程と、前記レジストを除去する工
程と、該エツチングの残り部分を除去する工程とからな
る水晶振動子の製造方法。 - 【請求項２】 エッチング法で外形を形成する水晶振動
子の水晶板面の厚み方向のエッチング側面に、互いに極
性の異なる電極が配置される水晶振動子の製造方法にお
いて、 該水晶板の厚み方向にエッチングの残り部分を形成する
エッチング工程と、該水晶板の側面部に側面電極を形成
する工程と、該エッチングの残り部分にレジストを施
し、電極を形成する工程と、前記レジストを除去する工
程と、該エツチングの残り部分を除去する工程と、励振
部にレジストを施し、励振部の電極の不要部分のレジス
トを除去する工程と、該電極の不要部分を除去する工程
と、レジストを除去する工程とからなる水晶振動子の製
造方法。 - 【請求項３】 該エッチングの残り部分が、該水晶板の
厚さ方向に数十ミクロン〜数百ミクロンであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の水晶
振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32150794A JPH08162874A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32150794A JPH08162874A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 水晶振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08162874A true JPH08162874A (ja) | 1996-06-21 |
Family
ID=18133343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32150794A Pending JPH08162874A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08162874A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE41152E1 (en) | 1996-08-06 | 2010-02-23 | Pinpoint Incorporated | Lempel-Ziv data compression technique utilizing a dictionary pre-filled with frequent letter combinations, words and/or phrases |
| US9083307B2 (en) | 2011-06-24 | 2015-07-14 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibrator element, electronic device, and method of manufacturing flexural vibrator element |
-
1994
- 1994-11-30 JP JP32150794A patent/JPH08162874A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE41152E1 (en) | 1996-08-06 | 2010-02-23 | Pinpoint Incorporated | Lempel-Ziv data compression technique utilizing a dictionary pre-filled with frequent letter combinations, words and/or phrases |
| US9083307B2 (en) | 2011-06-24 | 2015-07-14 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibrator element, electronic device, and method of manufacturing flexural vibrator element |
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