JP3442517B2 - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】エッチング法で成形する水晶振動
子の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、複数個の水晶振動子を同時に
製造にするため、フオトエッチング法による製造方法が
広く利用されている。図８に従来からの音叉型水晶振動
子の音叉部の断面図を示す。音叉部の側面、即ちエツチ
ング加工で製作すると励振部のエッチング面に、厚み方
向に対して分割された電極を形成し，それを図８のよう
に対向する面に互いに極性の異なる励振電極になる様に
結線し励振する必要がある。水晶振動子の厚みが厚い場
合は、側面前面に電極膜を形成し、その後不要部分を機
械的または化学的に剥離して、必要な電極を作製でき
た。また、励振電極以外にも、基部の引きまわし電極部
においても極性の異なる電極を、側面に形成する必要が
ある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来技術の方法では、
振動子が小型化されるに伴い厚みが薄くなり、従来技術
の機械的又は化学的に電極の不要部分を剥離する方法で
は電極の形成が不可能なので、厚み方向に極性の異なる
電極を形成するエッチングの深さが水晶板の厚みの１／
５より少なく残し、エッチング面に電極を形成し、その
後エッチングの残りの部分を折り取ることにより、厚み
方向に分離された極性の異なる電極を形成しているが、
エッチングの残りの部分を折り取ることにより励振部の
破損が多いと言う課題があった。

【０００４】

【課題を解決する手段】課題を解決するために、前記の
厚み方向に極性の異なる電極を形成するエッチングの深
さが、エッチングの残りの厚みで、数十ミクロン〜数百
ミクロンとし、更に機械的に折り取るのをエッチングに
て分離する方法を用いることで課題を解決した。

【０００５】

【実施例】

（実施例１）図２に断面図を示す水晶振動子の励振部を
作る手順は、水晶板から水晶振動子１の外形を成形する
ために、エッチング液に融解しないレジスト３をエッチ
ングされない部分に形成しておき、エッチングを施す。
まず、水晶板にＣｒ（クロム）及びＡｕ（金）２を蒸着
し、さらにレジスト３を塗布する。マスキングして水晶
振動子の外形に合わせて露光し、不要部分のレジストを
除去し、Ｃｒ、Ａｕの金属膜を剥離してエッチングを行
うとエッチングの残り部分４が形成される。図２に、こ
の様にして出来た水晶振動子の励振部の断面図を示す。
励振部の側面を厚み方向にエッチングを行い、中央の残
す厚みが数十ミクロン〜数百ミクロンの間になるよう
に、両面からエッチングしてエッチングの残り部分４を
形成する。次に図３に示す様に、レジスト３及び金属膜
を除去する。また図４に示す様に、全面に励振電極２に
相当する金属、即ち水晶板にＣｒ（クロム）及びＡｕ
（金）２を蒸着し、さらに全面にレジスト３を塗布す
る。マスキングしてエッチングの残り部分４に合わせて
露光硬化させて、未硬化部分を剥離することでエッチン
グの残り部分４の金属膜が露出される。さらに図５に示
す様に、エッチングの残り部分４の金属膜が露出してい
るので、この金属膜を剥離し、更にエッチングの残り部
分４を再度エッチングを実行してエッチングの残り部分
が除去できる。図６に示す様に、エッチングの残り部分
４を除去した断面図を示す。図７に示す様に、図６のレ
ジスト３を剥離した状態の断面図を示す。この状態では
水晶片の厚み方向に分離された電極２がほぼ全面（主面
及び側面部）に形成されているので必要に応じて不必要
な部分を剥離することにより、水晶片の側面に厚み方向
で分離された電極を具備した薄型の水晶振動子が得られ
る。また、エッチングの残り部分４がなくなるので複数
個の振動子を分離することが同時に出来る。

【０００６】（実施例２）図１に本発明の他の実施例の
断面図を示す。図１のように上面下面（水晶板の主面）
に励振電極２が不要な場合には、図には示さないが、ま
ず図７の工程後、励振部周辺にレジスト４を塗布しマス
キングにより上面下面の部分を露光して硬化させ、露光
しない部分のレジスト４を除去しエッチングを施して、
上面下面の電極を除去し、さらにレジスト４を除去する
と図１の電極ができる。

【０００７】（実施例３）図９にもう一つの他の実施例
の断面図を示す。図７の工程後励振部の周辺にレジスト
４を施し、マスキングをして露光し除去すべきレジスト
４を除きエッチング液で不要な電極部分を除去し、その
後レジスト４を除き、図９の電極２が形成できる。そし
て一体成形されている各振動子を各々切断して水晶振動
子が出来る。なお、本実施例において、励振部分の電極
２を形成する手段を示したが、励振部だけでなく他の部
分の電極２で側面に電極を形成する際、又は用途の異な
る振幅制御のためのフイードバック用電極２’を分離す
るのに役立てることができる。さらに、音叉形振動子の
例を挙げたが、他の形状の水晶振動子であっても有効で
ある。

【０００８】

【発明の効果】本発明により、水晶振動子が小型化、薄
型になっても、薄い水晶振動子の励振部等の側面に、厚
み方向に分割された電極が容易に形成出来るので、水晶
振動子の小型化、薄型化が容易になり製造工程での破損
が著しく減少したのでローコスト化が可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明による電極を有する実施例を示
す断面図である。

【図２】図２は、本発明の両面からエッチングして、厚
み方向の中央の部分を残している状態の実施例を示す断
面図である。

【図３】図３は、図２のレジスト膜と金属膜を剥離した
状態の実施例を示す断面図である。

【図４】図４は、図３の全面に電極の金属膜とレジスト
膜を形成した状態の実施例を示す断面図である。

【図５】図５は、図４のエッチング残り部のレジストを
除去した状態の実施例を示す断面図である。

【図６】図６は、図５のエッチング残り部の金属膜を剥
離してエッチングを行いエッチング残り部を除去した状
態を示す断面図である。

【図７】図７は、図６のレジスト膜を除去した状態を示
す実施例の断面図である。

【図８】図８は、従来技術を示す断面図及び励振電極の
接続図である。

【図９】図９は、本発明による電極を有する他の実施例
を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 水晶 ２ 励振電極 ３ レジスト ４ エッチングの残り部分

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数個を同時にエッチング法で外形を形
   成する水晶振動子の水晶板面の厚み方向のエッチング側
   面に、互いに極性の異なる電極が配置される水晶振動子
   の製造方法において、 該水晶板の厚み方向にエッチングの残り部分を形成する
   エッチング工程と、該水晶板の少なくとも主面及び側面
   部に電極を形成する工程と、該エッチングの残り部分以
   外にレジストを施し、該エッチングの残り部分をエツチ
   ングして除去する工程と、該レジストを除去する工程と
   からなる水晶振動子の製造方法。
2. 【請求項２】 複数個を同時にエッチング法で外形を形
   成する水晶振動子の水晶板面の厚み方向のエッチング側
   面に、互いに極性の異なる電極が配置される水晶振動子
   の製造方法において、 該水晶板の厚み方向にエッチングの残り部分を形成する
   エッチング工程と、少なくとも該水晶板の主面及び側面
   に電極を形成する工程と、該エッチングの残り部分以外
   にレジストを施し、該エッチングの残り部分をエツチン
   グして除去する工程と、該レジストを除去する工程と、
   励振部にレジストを施し、該励振部の電極の不要部分の
   レジストを除去する工程と、該励振部電極の不要部分を
   除去する工程と、レジストを除去する工程とからなる水
   晶振動子の製造方法。
3. 【請求項３】 該エッチングの残り部分が、該水晶板の
   厚さ方向に数十ミクロン〜数百ミクロンであることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の水晶
   振動子の製造方法。