JPS6127929B2 - - Google Patents
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- JPS6127929B2 JPS6127929B2 JP12792577A JP12792577A JPS6127929B2 JP S6127929 B2 JPS6127929 B2 JP S6127929B2 JP 12792577 A JP12792577 A JP 12792577A JP 12792577 A JP12792577 A JP 12792577A JP S6127929 B2 JPS6127929 B2 JP S6127929B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は平面、側面電極を有する薄板圧電振動
子の製造法に関するもので、本発明の目的はフオ
トリソグラフイ技術によりクリスタルインピーダ
ンスの低減化、超小型化、ローコスト化の薄板圧
電振動子をを提供することにある。
子の製造法に関するもので、本発明の目的はフオ
トリソグラフイ技術によりクリスタルインピーダ
ンスの低減化、超小型化、ローコスト化の薄板圧
電振動子をを提供することにある。
近年腕時計の時間基準源として水晶振動子が用
いられ、その普及率にはめざましいものがある。
それらの水晶振動子も近年、超小型化、ローコス
ト化が急速に進んでおり、現在これらの水晶振動
子には一般にその振動モードが両端自由型、ある
いは音叉型の屈曲モードが使われている。それら
両者共にその人工水晶原石よりのカツト方位は
NT、+5゜×カツトが用いられ、振動子の加工方
法として超音波、ダイヤモンドホイール、ワイヤ
ーソー等が採られている。最近それらの加工法に
変わり新しい加工方法として、NT、+5゜×カツ
トの水晶ウエハーをフオトエツチング技術により
振動子外形加工、電極形成を行う方法がみられた
が、それらの加工法によれば一枚の水晶ウエハー
より大量に得られる為にバツヂ処理が可能であ
り、フオトリソグラフイ技術である為に超小型化
が可能と言う利点を有している反面、従来側面部
にあつた電型膜は、フオトリソグラフイ技術にて
形成することは実用化に於いて困難とされ、
NT、、+5°×カツトの両者振動子共に、その電
極膜は平面上に配置され、水晶の電気軸であるX
方向の有効な圧電効果が使用されず、クリスタル
インピーダンスが高く、発振回路との結合が困難
である等の欠点を有し、水晶腕時計用の振動子と
して完全なものに至つていない現状である。
いられ、その普及率にはめざましいものがある。
それらの水晶振動子も近年、超小型化、ローコス
ト化が急速に進んでおり、現在これらの水晶振動
子には一般にその振動モードが両端自由型、ある
いは音叉型の屈曲モードが使われている。それら
両者共にその人工水晶原石よりのカツト方位は
NT、+5゜×カツトが用いられ、振動子の加工方
法として超音波、ダイヤモンドホイール、ワイヤ
ーソー等が採られている。最近それらの加工法に
変わり新しい加工方法として、NT、+5゜×カツ
トの水晶ウエハーをフオトエツチング技術により
振動子外形加工、電極形成を行う方法がみられた
が、それらの加工法によれば一枚の水晶ウエハー
より大量に得られる為にバツヂ処理が可能であ
り、フオトリソグラフイ技術である為に超小型化
が可能と言う利点を有している反面、従来側面部
にあつた電型膜は、フオトリソグラフイ技術にて
形成することは実用化に於いて困難とされ、
NT、、+5°×カツトの両者振動子共に、その電
極膜は平面上に配置され、水晶の電気軸であるX
方向の有効な圧電効果が使用されず、クリスタル
インピーダンスが高く、発振回路との結合が困難
である等の欠点を有し、水晶腕時計用の振動子と
して完全なものに至つていない現状である。
第1図は従来の機械的加工法により得られた+
5゜×カツトの音叉型屈曲振動子の両枝断面図で
ある。この種の水晶振動子はZ板を電気軸である
X軸を中心に角度αだけ回転させ切り出したもの
で、一般に角度αは0゜〜10゜の範囲で使用され
る。この音叉水晶振動子の平面電極2、側面電極
3に仮に、の電圧を印加したならば電気軸で
あるX方向に矢印のごとく電界が印加され音叉の
片枝を中心にして水晶1の内部に歪が発生し、機
械軸であるY方向に伸び、縮みが起こり、音叉の
電極膜2,3に交流電圧を加えれば両枝は対称的
屈曲振動が励起される。この種の振動子には側面
電極3が形成されており、X軸方向に有効な電界
が印加される為にクリスタルインピーダンスが低
く、二次温度係数の頂点温度位置が自由に設定出
来、水晶腕時計に用いた際に発振回路との結合が
容易であり消費電力が少なく時間精度が高いなど
の長所を有している。しかしながら反面、この種
の振動子には側面電極を設けなければならず従来
電極分割に使用していた金属マスク等は精度的に
限定があること、また音叉の形状加工に使用して
いた超音波、ワイヤーソー、ダイヤモンドホイー
ル等は振動子の厚みが0.3mm以下に至つては加工
が困難である。すなわち超小型にあたつては従来
の機械的加工法は使用出来ない欠点を有してい
る。
5゜×カツトの音叉型屈曲振動子の両枝断面図で
ある。この種の水晶振動子はZ板を電気軸である
X軸を中心に角度αだけ回転させ切り出したもの
で、一般に角度αは0゜〜10゜の範囲で使用され
る。この音叉水晶振動子の平面電極2、側面電極
3に仮に、の電圧を印加したならば電気軸で
あるX方向に矢印のごとく電界が印加され音叉の
片枝を中心にして水晶1の内部に歪が発生し、機
械軸であるY方向に伸び、縮みが起こり、音叉の
電極膜2,3に交流電圧を加えれば両枝は対称的
屈曲振動が励起される。この種の振動子には側面
電極3が形成されており、X軸方向に有効な電界
が印加される為にクリスタルインピーダンスが低
く、二次温度係数の頂点温度位置が自由に設定出
来、水晶腕時計に用いた際に発振回路との結合が
容易であり消費電力が少なく時間精度が高いなど
の長所を有している。しかしながら反面、この種
の振動子には側面電極を設けなければならず従来
電極分割に使用していた金属マスク等は精度的に
限定があること、また音叉の形状加工に使用して
いた超音波、ワイヤーソー、ダイヤモンドホイー
ル等は振動子の厚みが0.3mm以下に至つては加工
が困難である。すなわち超小型にあたつては従来
の機械的加工法は使用出来ない欠点を有してい
る。
又第2図も従来のフオトエツチング技術により
得られる+5゜×カツトの音叉型屈曲振動子の両
枝断面でありこれらはZ板をX軸を中心に0゜〜
10゜回転し切り出した従来より公知の水晶ウエハ
ーを用いたものであり平面部に複数対の電極5,
6を有しており、仮に中央電極5、両端電極6に
、の電極を印加したならば矢印のごとく水晶
4の内部に平面的に電界が印加され片枝の中心と
して左右がY軸方向に伸び、縮みし、音叉の電極
膜5,6に交流電圧を印加したならば左右の技は
対称的屈曲振動が励起される。この種の振動子は
フオトエツチング技術により製造が可能であり、
従来のNTカツト音叉は水晶振動子に比べそのク
リスタルインピーダンスは多少良く、二次温度係
数の頂点温度位置が自由に設定出来るなどの多少
の利点はあるものの、それにても水晶腕時計に用
いる場合、クリスタルインピーダンスは従来の機
械的加工法により得られた+5゜×カツトの振動
子よく悪く、特に真空度の変化に対してクリスタ
ルインピーダンスの変動が激しく封止が困難であ
り、時計の温度サイクル試験に投入された場合、
真空度が水晶カプセル内部のガス発生により低下
し、クリスタルインピーダンスが増加してしまう
などのエージング特性が非常に悪く使用に耐えな
い特性的欠点を有している。また超小型化に伴つ
て両端電極6は極めて細くなる為に多少の水晶内
部の加工により発生する欠陥も電極の断線となつ
てしまい、その歩留は悪く従来の機械的加工法に
よる振動子よりコストアツプとなり、水晶腕時計
に使用する場合を限りフオトエツチング技術を利
用した価値は非常に薄いという欠点があつた。
得られる+5゜×カツトの音叉型屈曲振動子の両
枝断面でありこれらはZ板をX軸を中心に0゜〜
10゜回転し切り出した従来より公知の水晶ウエハ
ーを用いたものであり平面部に複数対の電極5,
6を有しており、仮に中央電極5、両端電極6に
、の電極を印加したならば矢印のごとく水晶
4の内部に平面的に電界が印加され片枝の中心と
して左右がY軸方向に伸び、縮みし、音叉の電極
膜5,6に交流電圧を印加したならば左右の技は
対称的屈曲振動が励起される。この種の振動子は
フオトエツチング技術により製造が可能であり、
従来のNTカツト音叉は水晶振動子に比べそのク
リスタルインピーダンスは多少良く、二次温度係
数の頂点温度位置が自由に設定出来るなどの多少
の利点はあるものの、それにても水晶腕時計に用
いる場合、クリスタルインピーダンスは従来の機
械的加工法により得られた+5゜×カツトの振動
子よく悪く、特に真空度の変化に対してクリスタ
ルインピーダンスの変動が激しく封止が困難であ
り、時計の温度サイクル試験に投入された場合、
真空度が水晶カプセル内部のガス発生により低下
し、クリスタルインピーダンスが増加してしまう
などのエージング特性が非常に悪く使用に耐えな
い特性的欠点を有している。また超小型化に伴つ
て両端電極6は極めて細くなる為に多少の水晶内
部の加工により発生する欠陥も電極の断線となつ
てしまい、その歩留は悪く従来の機械的加工法に
よる振動子よりコストアツプとなり、水晶腕時計
に使用する場合を限りフオトエツチング技術を利
用した価値は非常に薄いという欠点があつた。
本発明は従来のこれらの欠点を除去し、超小型
でしかも高性能で製造が容易で安価な薄板圧電振
動子を提供したことにある。
でしかも高性能で製造が容易で安価な薄板圧電振
動子を提供したことにある。
本発明を使用した実施例を第3図、第4図によ
り説明する、第3図は薄板音叉振動子の両枝部の
断面図であり、第4図はその薄板音叉振動子の斜
視図である。水晶ウエハーは原石よりX軸のまわ
りに0゜〜10゜、Y軸のまわりに70゜〜90゜回転
し切り出された+5゜×カツトの水晶片7に平面
電極8、側面電極9を形成し仮に平面電極8、側
面電極9に、の電圧を印加したならば矢印の
ごとく平面部から側面部に電界が生じY軸方向に
片枝の中央を境として左右に伸び、縮みを発生さ
せたもので音叉の電極膜8,9に交流電圧を印加
すれば左右の技は対称的屈曲振動が励起されるも
のである。第4図の接続部11は平面図に側面電
極膜を積層させ両サイドの側面電極9を連結した
もので特開昭51−100693に見られる接続法を用い
ている。
り説明する、第3図は薄板音叉振動子の両枝部の
断面図であり、第4図はその薄板音叉振動子の斜
視図である。水晶ウエハーは原石よりX軸のまわ
りに0゜〜10゜、Y軸のまわりに70゜〜90゜回転
し切り出された+5゜×カツトの水晶片7に平面
電極8、側面電極9を形成し仮に平面電極8、側
面電極9に、の電圧を印加したならば矢印の
ごとく平面部から側面部に電界が生じY軸方向に
片枝の中央を境として左右に伸び、縮みを発生さ
せたもので音叉の電極膜8,9に交流電圧を印加
すれば左右の技は対称的屈曲振動が励起されるも
のである。第4図の接続部11は平面図に側面電
極膜を積層させ両サイドの側面電極9を連結した
もので特開昭51−100693に見られる接続法を用い
ている。
次に本発明による薄板圧電振動子の製造法を第
5図に示すと第5図は第4図のA−A′断面を工
程順に列記したものである。
5図に示すと第5図は第4図のA−A′断面を工
程順に列記したものである。
工程aに於いて50〜300ミクロンと薄く研摩さ
れ水晶ウエハー7の表裏に電極用金属膜を例えば
Ni−Cr−Pd等により形成し両面フオトエツチン
グにて所定の平面電極膜8を設置する。次に工程
bにて電極膜8を覆い水晶ウエハー7の表裏に相
対して音叉状の振動子外形状を示す金属膜12を
フオトエツチングにより形成する合属膜12には
クロム、金等が用いられるが水晶エツチング時に
フツ酸等に犯されない安全な金属として金を用い
たものである。これらの金属膜は電極膜として用
いない為にその膜厚にこだわらずf調用金属膜と
して併用してもさしつかえない。次に工程cにて
金属膜12上にポジ型フオトレジストを保護膜1
3としてフオト処理する。この形状は音叉あるい
は接続部等を考慮したパターンとする。次に工程
dにて金属膜12にマスクされない水晶面をフツ
酸等により両面よりエツチングする。このときフ
オトレジスト13は何ら変化がない。更に工程e
にて側面部電極膜9用として例えばNi−Cr−Pd
等を3000オングストローム以下で平面部、側面部
に真空蒸着する。平面部は必要な場合金属マスク
等を用いてカツトしても良い。次に工程fにて側
面電極製造法として水晶振動子に応用したリフト
オフ法を用い、平面部のフオトレジスストによる
保護膜13と、フオトレジスト上に形成され側面
電極膜用金属膜9を除去するもので、方法として
金属膜9のピンホール、フオトレジスト13の断
面部よりフオトレジストの剥離液(例えばN−N
ジメチルホルムアミド)を浸透させて除去するも
のである。次に工程gにて平面部の金属膜12を
例えば、金、クロムの順にエツチングする。この
とき平面電極膜8と側面電極膜9は金属膜12と
材質的に異なる為にエツチヤントに犯されず安定
されている。
れ水晶ウエハー7の表裏に電極用金属膜を例えば
Ni−Cr−Pd等により形成し両面フオトエツチン
グにて所定の平面電極膜8を設置する。次に工程
bにて電極膜8を覆い水晶ウエハー7の表裏に相
対して音叉状の振動子外形状を示す金属膜12を
フオトエツチングにより形成する合属膜12には
クロム、金等が用いられるが水晶エツチング時に
フツ酸等に犯されない安全な金属として金を用い
たものである。これらの金属膜は電極膜として用
いない為にその膜厚にこだわらずf調用金属膜と
して併用してもさしつかえない。次に工程cにて
金属膜12上にポジ型フオトレジストを保護膜1
3としてフオト処理する。この形状は音叉あるい
は接続部等を考慮したパターンとする。次に工程
dにて金属膜12にマスクされない水晶面をフツ
酸等により両面よりエツチングする。このときフ
オトレジスト13は何ら変化がない。更に工程e
にて側面部電極膜9用として例えばNi−Cr−Pd
等を3000オングストローム以下で平面部、側面部
に真空蒸着する。平面部は必要な場合金属マスク
等を用いてカツトしても良い。次に工程fにて側
面電極製造法として水晶振動子に応用したリフト
オフ法を用い、平面部のフオトレジスストによる
保護膜13と、フオトレジスト上に形成され側面
電極膜用金属膜9を除去するもので、方法として
金属膜9のピンホール、フオトレジスト13の断
面部よりフオトレジストの剥離液(例えばN−N
ジメチルホルムアミド)を浸透させて除去するも
のである。次に工程gにて平面部の金属膜12を
例えば、金、クロムの順にエツチングする。この
とき平面電極膜8と側面電極膜9は金属膜12と
材質的に異なる為にエツチヤントに犯されず安定
されている。
以上述べた様に本発明を用いたことにより従来
不可能とされて来たフオトリングラフイ技術によ
り側面電極を形成することが可能となつたわけで
ある。これにより従来の機械的加工法により得ら
れた振動子に比べ何ら劣ることがなく、クリスタ
ルインピーダンスが低く、C0/C1が小さくトリ
コビリテイーの範囲が広いことなどの特性向上も
さることながら、超小型で安価な振動子が得られ
るものである。本発明を実施した第4図の音叉型
水晶振動子の真空度に対するクリスタルインピー
ダンスの関係を第6図に示す。これによれば従来
のフオトリソグラフイ技術により得られた平面電
極の音叉水晶振動子の関係グラフaに比べ本発明
を用いた平面、側面電極音叉水晶振動子の関係グ
ラフはbの様に低くなり、真空度に対してクリス
タルインピーダンスの変化量は少なく、水晶振動
子をカプセルに封止することが容易となる。第7
図に水晶振動子をカプセルに真空封止し、例えば
50℃〜70℃の温度試験を実施した場合のクリスタ
ルインピーダンスの変化を示す。
不可能とされて来たフオトリングラフイ技術によ
り側面電極を形成することが可能となつたわけで
ある。これにより従来の機械的加工法により得ら
れた振動子に比べ何ら劣ることがなく、クリスタ
ルインピーダンスが低く、C0/C1が小さくトリ
コビリテイーの範囲が広いことなどの特性向上も
さることながら、超小型で安価な振動子が得られ
るものである。本発明を実施した第4図の音叉型
水晶振動子の真空度に対するクリスタルインピー
ダンスの関係を第6図に示す。これによれば従来
のフオトリソグラフイ技術により得られた平面電
極の音叉水晶振動子の関係グラフaに比べ本発明
を用いた平面、側面電極音叉水晶振動子の関係グ
ラフはbの様に低くなり、真空度に対してクリス
タルインピーダンスの変化量は少なく、水晶振動
子をカプセルに封止することが容易となる。第7
図に水晶振動子をカプセルに真空封止し、例えば
50℃〜70℃の温度試験を実施した場合のクリスタ
ルインピーダンスの変化を示す。
横軸にエージング日数、縦軸にクリスタルイン
ピーダンス(C1値)を示す。
ピーダンス(C1値)を示す。
aは従来のフオトリソグラフイ技術による平面
電極の水晶振動子、bは本発明による側面電極の
振動子である。常温において2dayまでは両者共
に変化しないものの2day以降50℃〜70℃の温度
試験に投入した場合aのクリスタルインピーダン
スは増加しつずけるが、bの本発明による水晶振
動子は変化がない。これは第6図に明記した通り
真空度に対してクリスタルインピーダンスの変動
が少ない原因であり50℃〜70℃に投入されカプセ
ル内部から発生したガス発生による真空度の低下
がaの様な関係グラフになるものである。また本
発明による振動子は平面部に一本の電極であるこ
と、側面電極部にはリフトオフ法の採用によりエ
ツチングを用いておらず断線等も少ないなどの利
点があり、その振動子製造の歩留は高く本発明に
よる効果は大である。以上本発明は音叉型水晶振
動子を例としたが、フオトリソグラフイ技術によ
り得られる他の圧電振動子の側面電極に用いるこ
とが出来ることは言うまでもない。
電極の水晶振動子、bは本発明による側面電極の
振動子である。常温において2dayまでは両者共
に変化しないものの2day以降50℃〜70℃の温度
試験に投入した場合aのクリスタルインピーダン
スは増加しつずけるが、bの本発明による水晶振
動子は変化がない。これは第6図に明記した通り
真空度に対してクリスタルインピーダンスの変動
が少ない原因であり50℃〜70℃に投入されカプセ
ル内部から発生したガス発生による真空度の低下
がaの様な関係グラフになるものである。また本
発明による振動子は平面部に一本の電極であるこ
と、側面電極部にはリフトオフ法の採用によりエ
ツチングを用いておらず断線等も少ないなどの利
点があり、その振動子製造の歩留は高く本発明に
よる効果は大である。以上本発明は音叉型水晶振
動子を例としたが、フオトリソグラフイ技術によ
り得られる他の圧電振動子の側面電極に用いるこ
とが出来ることは言うまでもない。
第1図は従来の機械的加工法による音叉水晶振
動子の枝断面図、第2図は従来のフオトリソグラ
フイによる音叉水晶振動子の枝断面図、第3図は
本発明を実施した音叉水晶振動子の枝断面図、第
4図は本発明を実施した音叉水晶振動子の斜視
図、第5図は本発明の製造過程を第4図のA−
A′断面により示した工程断面図、第6図は真空
度C1値の関係グラフ、第7図は温度試験に投入
した場合のC1値の経時変化関係グラフである。 7……水晶、8……平面電極、9……側面電
極、12……金属膜、13……フオトレジスト。
動子の枝断面図、第2図は従来のフオトリソグラ
フイによる音叉水晶振動子の枝断面図、第3図は
本発明を実施した音叉水晶振動子の枝断面図、第
4図は本発明を実施した音叉水晶振動子の斜視
図、第5図は本発明の製造過程を第4図のA−
A′断面により示した工程断面図、第6図は真空
度C1値の関係グラフ、第7図は温度試験に投入
した場合のC1値の経時変化関係グラフである。 7……水晶、8……平面電極、9……側面電
極、12……金属膜、13……フオトレジスト。
Claims (1)
- 1 薄板水晶基板よりホトエツチングにより打ち
抜いてなる音叉型部材の平面部及び側面部に電極
を備えて成る薄板音叉型水晶振動子の製造方法に
おいて、前記薄板水晶基板の表裏に相対してPd
又はPdを主要要素とする金属より成る平面部電
極膜をフオトエツチングにより形成する工程と、
該平面部電極膜を覆い前記薄板水晶基板の表裏に
相対しAu又はAuを主要々素とする金属より成り
音叉状の振動子外形をきめる外形パターン金属膜
をフオトエツチングにより形成する工程と、更に
該外形パターン金属膜の上に、前記薄板水晶基板
上にははみ出すことなく前記平面部電極膜を平面
的に包含する音叉状のポジ型フオトレジストより
成る保護膜をフオト処理により取りつける工程
と、前記薄板水晶基板の露出している部分を弗化
水素を含む溶液によりエツチングし音叉型部材を
打ち抜く工程と、更に該音叉型部材の表裏及び側
面部に真空蒸着等によりPd又はPdを主要要素と
する金属膜を形成する工程と、前記保護膜及び保
護膜の上に形成されたPd又はPdを主要要素とす
る金属膜をリフトオフ法により除去する工程と、
更に前記外形パターン金属膜を選択的にエツチン
グして除去する工程とにより前記音叉型部材の平
面部及び側面部に夫々電極膜を残したことを特徴
とする薄板音叉型水晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12792577A JPS5460883A (en) | 1977-10-25 | 1977-10-25 | Manufacture of thin plate piezoelectric oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12792577A JPS5460883A (en) | 1977-10-25 | 1977-10-25 | Manufacture of thin plate piezoelectric oscillator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5460883A JPS5460883A (en) | 1979-05-16 |
JPS6127929B2 true JPS6127929B2 (ja) | 1986-06-27 |
Family
ID=14972016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12792577A Granted JPS5460883A (en) | 1977-10-25 | 1977-10-25 | Manufacture of thin plate piezoelectric oscillator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5460883A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000005812A1 (fr) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Seiko Epson Corporation | Oscillateur piezoelectrique et son procede de production |
WO2020244396A1 (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 江苏和成显示科技有限公司 | 一种液晶组合物及液晶显示器件 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4096787B2 (ja) * | 2003-04-11 | 2008-06-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波素子の製造方法 |
JP5155620B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2013-03-06 | セイコーインスツル株式会社 | 厚み滑り振動片の製造方法 |
-
1977
- 1977-10-25 JP JP12792577A patent/JPS5460883A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000005812A1 (fr) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Seiko Epson Corporation | Oscillateur piezoelectrique et son procede de production |
US6961981B2 (en) | 1998-07-24 | 2005-11-08 | Seiko Epson Corporation | Method of producing a piezoelectric resonator |
WO2020244396A1 (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 江苏和成显示科技有限公司 | 一种液晶组合物及液晶显示器件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5460883A (en) | 1979-05-16 |
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